连续型镀膜装置的制作方法

文档序号:12883537阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种连续型镀膜装置。该连续型镀膜装置包括依次紧靠设置并能够分别独立形成密封结构的上料机构、加热机构、缓冲机构、镀膜机构及出料机构,所述上料机构、所述加热机构、所述缓冲机构、所述镀膜机构及所述出料机构均与抽真空机构相连接;所述加热结构将加热处理的工件经所述第一传送通道传输到所述缓冲机构;所述缓冲机构具有第二腔室,所述第二腔室的一侧壁设有第二传送通道,所述第二传送通道与所述第一传送通道相连通,所述第二传送通道内安装有第二开合件;所述镀膜机构具有第三腔室,所述镀膜机构将离子沉积处理的工件经所述第五传送通道传输到所述出料机构。该连续型镀膜装置能够稳定持续地对螺丝、螺杆等工件进行PVD镀膜。

技术研发人员:谭志
受保护的技术使用者:维达力实业(深圳)有限公司
技术研发日:2017.07.12
技术公布日:2017.11.07
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