一种两工位聚晶金刚石复合片类抛光机的制作方法

文档序号:14048060阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种两工位聚晶金刚石复合片类抛光机,解决了现有抛光机因结构不合理而导致抛光质量不可靠及抛光效率低的问题。本发明包括抛光轮底座、聚晶金刚石复合片夹具座,抛光轮底座内设置有抛光轮组,抛光轮组包括与抛光轮底座固定连接的驱动壳体,驱动壳体的底侧设置有若干个偏心轴,各个偏心轴通过偏心轴座传动连接,偏心轴座内设置有做行星运动的抛光轮驱动轴,抛光轮驱动轴的上端固定设置抛光轮,抛光轮的外周设置有防水冷却壳体,防水冷却壳体与抛光轮之间设置有迷宫式密封结构,防水冷却壳体与抛光轮之间构成封闭循环冷却腔,所述聚晶金刚石复合片夹具座具有多个自由度。本发明结构新颖、抛光便捷可靠,具有很好的推广应用前景。

技术研发人员:王文胜;杨兴文;吴文静;付哲
受保护的技术使用者:中原工学院
技术研发日:2017.12.27
技术公布日:2018.03.30
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