技术总结
本实用新型公开了一种微分混合式化学气相沉积装置，由箱体、流道板、绝缘密封垫片、反应室、支柱、基座、加热系统和射频系统组成。流道板有两个气体入口，可分别进入两种不同的反应气体，两种气体分别在流道板的流场中经过微分分流作用后，均匀分布在流场空间内，并且分流后的两种气体可以进行分别混合，混合后经喷头喷出。本实用新型微分混合式流道能够提高气体混合的均匀性和气体分布的均匀性，使化学气相沉积薄膜更均匀，省去了气体混合装置，简化设备；采用电磁感应加热方式，加热速率快，并且提高了电能的利用率，降低成本；此外，本实用新型化学气相沉积装置对于已经混合好的反应气体，可以关闭一个入口，由一个入口进入，同样可以提高气体分布均匀性。
技术研发人员：杨卫民;刘海超;焦志伟;丁玉梅
受保护的技术使用者：北京化工大学
文档号码：201720273705
技术研发日：2017.03.21
技术公布日：2017.10.03