一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置的制作方法

文档序号:13335733阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,包括一个真空镀膜室,真空镀膜室的壁上安装有真空泵系统,使真空镀膜室形成真空,其特征在于,真空镀膜室的壁上还安装有激光发生系统,激光发生系统所发出的激光束穿过真空镀膜室的侧壁孔射在靶材上;靶材放置在靶座上,靶座安装在底盘上,底盘的靶座圆轨迹上均匀的布置有3-4个靶座,分别放置绝缘材料、金属材料和保护材料,底盘下部安装有底盘转动装置,真空镀膜室上部有基板架,基板架上安装有基板转动装置和基板升降装置。

2.根据权利要求1所述的一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,其特征在于,底盘转动装置包括底盘轴,底盘轴通过传动齿轮和步进电机相连。

3.根据权利要求1所述的一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,其特征在于,基板转动装置包括基板架内固定安装的基板转动电机,基板转动电机转轴下端连接有基座和基板。

4.根据权利要求1所述的一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,其特征在于,基板升降装置包括基板架上固定的升降螺杆,升降螺杆安装在真空镀膜室顶板上的升降螺母中,升降螺杆的上端有升降手柄。

5.根据权利要求1所述的一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,其特征在于,真空镀膜室的壁上还安装有进气系统。

6.根据权利要求1所述的一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,其特征在于, 激光发生系统是采用KrF248nm激光器。

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