一种闭式冷却装置的制作方法

技术总结
本实用新型提供了一种闭式冷却装置，它包括纯净水管闭合回路和冷却设备，所述纯净水管闭合回路用于对镀膜室进行冷却，所述冷却设备用于对所述纯净水管闭合回路进行冷却。该闭式冷却装置采用温度稳定的纯净水对镀膜室进行冷却，可以有效避免结垢，提高冷却效率，以保障各项真空、深冷捕集、腔室温度、粉粒集结的有序可控性。

技术研发人员：王军友;陈鸿杰;杨晓磊
受保护的技术使用者：郑州华晶新能源科技有限公司
技术研发日：2018.08.29
技术公布日：2019.06.11