用于离子镀膜机上的加热器的调节装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜设备的机械领域，更具体地说，它涉及一种用于离子镀膜机上的加热器的调节装置。

背景技术：

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内，蒸发材料的原子被加热源离析出来，被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。

参考图1，真空泵13将真空箱体1内空气抽空，加热器2发热，使得固定在加热器上的靶材3被蒸发成分子或者原子，再通过辉光15放电，使得分子或者原子电离，进气管11进气，使得离子向出气口12流动，带动离子附着在基片上。当靶材3与基片14的相对位置不同时，使得靶材3上蒸发的离子流向基片14的角度不同，从而离子附着在基片14上的情况不同。由于靶材3固定在加热器2上，而现有技术加热器2的位置不能够调节，从而使得靶材3的位置不能够调节，导致靶材3上电离的离子不能够均匀的附着在基片14上，因此要需要设计一种能够调节加热器位置的装置。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于离子镀膜机上的加热器的调节装置，其优点是，能够对加热器的角度进行调节，从而使得靶材能够更好的对准基片，确保镀膜过程均匀进行。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于离子镀膜机上的加热器的调节装置，包括水平固定在真空箱体内的底座、竖直安装在底座上的加热器，所述加热器的下端设有滑移板，所述底座上水平设有两条供滑移板滑移的且平行的滑轨，所述滑移板上固定设有与所述滑轨平行的齿条，所述齿条上设有与齿条啮合的齿轮，所述齿轮上水平设有驱动齿轮转动且延伸出真空箱体外的连杆。

通过上述技术方案，在真空箱体内设置加热器，加热器工作时使得靶材被蒸发成分子或者原子，从而使得靶材在基片上形成一层膜。当连杆转动时，连杆带动齿轮转动，从而使得与齿轮啮合的齿条移动。齿条固定在滑板上，当齿条移动时，滑移板与齿条一起移动，从而调节加热器与基片之间的水平距离，使得靶材离子流向基片的角度不同，从而能够获得一个最佳的角度。底座上设置滑轨，滑移板在滑轨上滑移，滑轨对滑移板起到固定和导向的作用。连杆延伸出真空箱体，从而方便工作人员在真空箱体外调节滑移板。

本实用新型进一步设置为：所述加热器与所述滑移板之间设有用于驱动所述加热器前后转动的支架，所述支架包括竖直设置在滑移板上的竖轴、水平穿过竖轴的且固定在所述加热器下端的匚形架，所述匚形架的中间部位转动连接在所述竖轴上。

通过上述技术方案，竖轴固定在滑移板上，匚形架固定在加热器上，并且匚形架转动连接在竖轴上，从而使得加热器能够前后摆动，进一步调节靶材与基片的平行度，使得靶材离子能够均匀的流向基片。

本实用新型进一步设置为：所述匚形架的一侧设有固定轴，所述竖轴的平面上向外延伸出支撑块，所述滑移板上位于第一锥齿轮的下端竖直设有支撑块，所述支撑块上沿垂直于所述固定轴方向水平设有驱动杆，所述驱动杆的一端设有与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。

通过上述技术方案，第二锥齿轮转动，带动第一锥齿轮转动，从而使得固定轴与第一锥齿轮同时转动，固定轴与匚形架固定连接，从而使得匚形架同步转动，最终实现调节加热器与基片的平行度。第一锥齿轮与第二锥齿轮转动，使得将两个人相互垂直的向转动联系在一起，从而方便驱动杆的安装。

本实用新型进一步设置为：所述驱动杆包括插接在所述第二锥齿轮上的多棱柱、滑移连接在多棱柱上的锁紧柱，所述支撑块上设有与所述锁紧柱配合的锁紧孔。

通过上述技术方案，多棱柱插接在第二锥齿轮上，锁紧柱滑移连接在多棱柱上。当锁紧柱从锁紧孔中脱离时，此时转动多棱柱，从而使得多棱柱驱动第二直齿轮转动，当锁紧柱配合在锁紧孔中时，使得锁紧柱卡在锁紧孔中，多棱柱卡在锁紧柱，第二锥齿轮卡在多棱柱中，从而第二直齿轮被锁紧，防止加热器自传。

本实用新型进一步设置为：所述滑移板的两侧均水平设有若干个凸轴，所述凸轴上均设有连接在所述滑轨中的滚轮。

通过上述技术方案，滚轮的设置，使得滑移板滑移的更加顺畅，进一步方便转动连杆，使得连杆驱动齿轮转动时更加省力。

本实用新型进一步设置为：所述定位板的上表面转动连接有定位轮，所述定位轮与所述滑轨的侧壁相接触。

通过上述技术方案，定位轮与滑轨的侧壁接触，从而使得只能滑移板顺着滑轨的长度方向滑移，防止滑移板滑移过程中卡在两个滑轨之间，确保滑移板沿直线滑动，同时减小滑移板滑移过程中受到的阻力。

本实用新型进一步设置为：所述滑移板上沿竖直方向设有滑套，所述竖轴转动连接在所述滑套中。

通过上述技术方案，竖轴转动连接在滑套中，从而使得竖轴以及连接在竖轴上的匚形架和加热器沿竖轴的轴线转动，这样设置方便转动加热器，使得靶材对准真空箱体的开口，方便更换靶材。

本实用新型进一步设置为：所述滑套的侧壁上沿垂直于滑套的方向设有柱塞，所述竖轴上设有与所述柱塞配合的环槽，所述环槽中沿垂直于竖轴的轴向方向周向均布与所述柱塞的头部配合的4个圆槽。

通过上述技术方案，柱塞弹性接触在环槽中，既能够不影响竖轴转动，同时防止加热器上移。四个周向均布的圆槽，使得加热器每转动90°会停顿一下，防止加热器一次性转动的角度过大，使得转动的惯性也大，不方便加热器移动到最合适的位置。

本实用新型进一步设置为：所述柱塞内部设有弹簧，所述弹簧的头部设有活塞，所述活塞的头部设有球面。

通过上述技术方案，活塞能够在柱塞内滑动，活塞与环槽和圆槽弹性接触。当活塞配合在圆槽中时，继续转动加热器，此时需要克服弹簧对活塞的弹力，从而起到降低加热器转速的作用，使得加热器没转动90°时停顿一下。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、加热器既能够水平滑移，也能够前后摆动，从而进一步调节靶材与基片之间的角度，有利于提高基片镀膜过程中的均匀度；

2、驱动杆的设置，既能够驱动第二锥齿轮转动，同时能够对第二锥齿轮进行锁定。

附图说明

图1是本实施例的真空镀膜的结构示意图。

图2是本实施例与真空箱体位置关系的结构示意图。

图3是本实施例的整体的结构示意图。

图4是本实施例的支架的结构示意图。

图5是本实施例的滑套与竖轴的结构示意图。

图6是本实施例的柱塞的结构示意图。

附图标记：1、真空箱体；11、进气管；12、出气管；13、真空泵；14、基片；15、辉光放电；2、加热器；21、靶材；3、底座；31、滑轨；32、齿条；33、齿轮；34、连杆；35、限位座；4、支架；5、滑移板；51、匚形架；52、固定轴；53、第一锥齿轮；54、第二锥齿轮；55、支撑块；551、锁紧孔；56、凸轴；57、滚轮；58、定位轮；6、竖轴；61、环槽；62、圆槽；7、驱动杆；71、多棱柱；72、锁紧柱；8、滑套；81、柱塞；82、活塞；83、弹簧；84、球面。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：参考图2和图3，一种用于离子镀膜机上的加热器的调节装置，包括水平固定在真空箱体1（下文中出现真空箱体1全部参考图2）底部的底座3、水平设置在底座3上的两条平行的滑轨31，在滑轨31上滑移连接滑移板5，在滑移板5上竖直设置加热器2，在加热器2的侧面粘贴有靶材21。当加热器2工作时，将靶材21蒸发，再通过高压电将靶材21电离成离子状态，从而使得靶材21附着在基片14（下文中出现基片14全部参考图1）上，形成薄膜。当滑移在滑轨31中滑移时，此时靶材21距离基片14的距离不同，从而离子飞向基片14的角度不同，从而靶材21离子附着在基片14的均匀度不同，便于调节出靶材21离子最佳的飞行角度。

参考图3和图4，在滑移板5的上端面沿滑轨31的长度方向设置齿条32，在齿条32上设置与齿条32啮合的齿轮33，在齿轮33上水平安装用于驱动齿轮33转动的连杆34，当转动连杆34时，连杆34带动齿轮33转动，从而驱动齿条32移动，从而使得滑移板5与加热器2一起移动。在滑轨31上固定限位座35，连杆34穿过限位座35，使得连杆34转动时，连杆34与滑轨31之间不发生位移，滑移板5与滑轨31之间产生位移，从而能够调节加热器2与基片14之间的位置关系。连杆34延伸出真空箱体1的外侧，从而方便在真空箱体1外侧调节滑移板5的位置。

参考图3和图4，在滑移板5的两侧向外延伸有凸轴56，同一侧设置两个凸轴56，两个凸轴56分别位于滑移板5的前后两端。在凸轴56上设置滚轮57，滚轮57在滑轨31中滚动，从而将滑移板5与滑轨31之间的滑移摩擦力转化为滚轮57与滑轨31之间的滚筒摩擦，从而使得施加连杆34上很小的力就能驱动滑移板5移动。在滑移板5的上端面转动连接四个定位轮58，定位轮58均匀分布的滑移板5的两侧并且与滑轨31的侧壁贴合，这样避免滑移板5在滑移的过程中，卡在两个滑轨31之间，同时确保滑移板5沿直线滑动，减小滑移板5滑移过程中受到的阻力。

参考图4，在加热器2与滑移板5之间设置之间，支架4用于使得加热器2在竖直面内前后转动，进一步调节靶材21（参考图3）与基片14的角度，使得靶材21离子能够获得最佳的移动角度，保证靶材21均匀的附着在基片14的表面。支架4包括竖直设置在滑移板5上的竖轴 6、固定在加热器2下端的匚形架51，在竖轴 6上加工平行的两个端面，匚形架51的中间段垂直平面的方向穿过竖轴 6且转动连接在竖轴 6上。当匚形架51转动时，固定在匚形架51上的加热器2与匚形架51一起转动，从而使得加热器2通过匚形架51来调节与基片14之间的角度。

参考图4，在匚形架51的一侧设置固定轴52，固定轴52与匚形架51的中间段同轴并且固定轴52与匚形架51一体，在固定轴52上设置第一锥齿轮53，竖轴 6的平面上向外延伸出支撑块55，在支撑块55上沿垂直于支撑块55的方向设置驱动杆7且驱动杆7转动连接在支撑块55中，在驱动杆7的一端设置第二锥齿轮54，当驱动杆7转动时，带动第二锥齿轮54转动，进一步带动第一锥齿轮53转动，进一步带动固定轴52和匚形架51转动。第二锥齿轮54小于第一锥齿轮53，从能够更加准确的调节角度。

参考图4，在驱动杆7包括插接在第二锥齿轮54上的多棱柱71、滑移连接在多棱柱71上的锁紧柱72，在支撑块55上开设有与锁紧柱72配合的锁紧孔551，锁紧柱72为设有若干凸棱的圆柱，锁紧柱72内加工六边形内孔，多棱柱71为六边形柱，多棱柱71插接在锁紧柱72内。当锁紧柱72从锁紧孔551中脱离时，此时转动多棱柱71，从而使得多棱柱71驱动第二直齿轮33转动，当锁紧柱72配合在锁紧孔551中时，使得锁紧柱72卡在锁紧孔551中，多棱柱71卡在锁紧柱72，第二锥齿轮54卡在多棱柱71中，从而第二直齿轮33被锁紧，防止加热器2自传。

参考图5，在竖轴 6的下端插接有滑套8，滑套8竖直固定在滑移板5上，竖轴 6转动连接在滑套8中，从而使得竖轴 6和加热器2能够绕滑套8的轴线转动，这样设置方便转动加热器2，使得靶材21（参考图3）对准真空箱体1的开口，方便更换靶材21。在滑套8的侧壁上沿垂直于滑套8的轴线方向螺纹连接柱塞81，在竖轴 6的下端加工环槽61，柱塞81滑移连接在环槽61中，这样设置防止竖轴6上移。

参考图5和图6，在环槽61中沿垂直于竖轴 6的方向周向均布4个圆槽62，柱塞81的头部配合在圆槽62中，使得竖轴 6没转动90°后被限位。柱塞81包括位于柱塞81内的弹簧83、固定在弹簧83上的活塞82，活塞82的头部设置球面84，柱塞81通过弹簧83而弹性抵触在环槽61中，当竖轴 6转动90度时，会卡在圆槽62中，继续转动竖轴 6，此时需要克服弹簧83对活塞82的弹力，从而限制竖轴 6转动，球面84使得活塞82不会卡在圆槽62中，从而使得竖轴 6在大的外力条件下能够转动。这样既能够让竖轴 6转动，又能够对竖轴 6没转动90°后都能收到约束。

动作过程：首相将靶材21粘连在加热器2上，然后转动驱动杆7，调节加热器2与基片14的角度；接着关闭真空箱体1的门，在外部转动连杆34，从而调节加热器2与基片14之间的距离；最后，更换靶材21时，转动竖板，使得靶材21翻转180°，更换完成后，将靶材21转回原来的位置。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。