一种用于真空镀膜生产线的调温装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种用于真空镀膜生产线的调温装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。
[0003]在真空镀膜生产线中需要对基片进行调温，镀膜前加热室对溅射镀膜的真空度及工艺气氛平衡，及对玻璃基片进行加热升温。当基片在镀膜之前需要对基片加热，这样在镀膜腔内易于镀膜，而在镀膜完成后，需要使基片冷却，这样便于卸基片和保持基片不变形。然而在现有技术中，通常对基片的加热和冷却是分开的，当真空镀膜生产线中各腔室的位置调换时，基片的加热腔和冷却腔同时需要调换，这样浪费人力物力。因此，亟需一种可同时加热和冷却，但加热冷却互不影响的调温装置。
【发明内容】
[0004]针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种用于真空镀膜生产线的调温装置，该调温装置具有加热和冷却功能，加热和冷却互不影响。
[0005]为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下:
[0006]一种用于真空镀膜生产线的调温装置，包括:
[0007]一固定组件，固定组件包括一固定板和至少两个定位座，定位座固定在固定板上；
[0008]一调温组件，调温组件安装在固定组件上，调温组件包括一加热器、一冷却器和一控制器，加热器和冷却器与控制器连接，加热器和冷却器安装在固定组件的定位座上。
[0009]进一步，加热器进一步包括一加热管道和一加热件，加热件设置在加热管道内。
[0010]更进一步，加热管道进一步包括一第一加热管道端部、一第二加热管道端部和加热通管，加热通管连接第一加热管道端部和第二加热管道端部，第一加热管道端部和第二加热管道端部并排放置。
[0011]更进一步,加热件进一步包括一电阻丝、一绝缘元件和一加热器开关,绝缘元件包裹电阻丝，绝缘元件和电阻丝填充在加热管道内，加热器开关与电阻丝和控制器连接。
[0012]更进一步，加热器开关设置在第一加热管道端部，加热器开关控制电阻丝的通电状态。
[0013]更进一步，第一加热管道端部和第二加热管道端部内的电阻丝通过控制器与电源连接，填充在加热管道内的电阻丝通电后发热，对空气进行加热。
[0014]进一步，冷却器包括一冷却管道和一冷却件，冷却件与冷却管道连接。
[0015]更进一步，冷却管道包括一第一冷却管道端部、一第二冷却管道端部和冷却通管，冷却通管连接第一冷却管道端部和第二冷却管道端部，第一冷却管道端部和第二冷却管道端部并排放置。
[0016]更进一步，冷却件进一步包括一供水装置、一集水装置和一冷却开关，冷却开关设置在供水装置上，冷却开关控制供水装置的供水，冷却开关与控制器连接，供水装置与冷却管道的第一冷却管道端部连接，集水装置与第二冷却管道端部连接，供水装置提供水从第一冷却管道端部进入冷却管道中，经冷却通管流通，从第二冷却管道流出进入集水装置。
[0017]更进一步，为循环用水，集水装置与供水装置为连通的，集水装置聚集的水进入供水装置中循环利用。
[0018]进一步，控制器进一步包括一温度感应元件和一控制元件，温度感应元件与控制元件连接，控制元件与加热开关和冷却开关连接。
[0019]更进一步，控制器进一步包括一显示屏，显示屏与控制元件连接，显示屏显示温度感应元件感应的温度。
[0020]进一步，定位座包括至少一个安置槽和至少一个隔离桩，安置槽和隔离桩交叉放置，每两个安置槽中间为一隔离桩，每两个隔离柱中间为一安置槽。
[0021]进一步，加热管道和冷却管道安装在定位座的安置槽上。
[0022]更进一步，加热管道和冷却管道分层安装在定位座的安置槽上。
[0023]更进一步，加热管道和冷却管道在定位座的安置槽中安装高度一致。
[0024]更进一步，加热管道和冷却管道对应安装在定位座的安置槽上。
[0025]更进一步，加热管道和冷却管道错开安装在定位座的安置槽上。
[0026]与现有技术相比，本发明提供了一种用于真空镀膜生产线的调温装置，该调温装置设置在镀膜生产线的加热腔和冷却腔内，对真空镀膜生产线中的基片进行加热或冷却，利于基片镀膜，该调温装置中设有加热组件和冷却组件，通过控制器合适选择加热或冷却，该调温装置中加热和冷却互不影响，当镀膜流水线中各腔室的位置依据生产需要调换时，基片的加热腔和冷却腔不需要调换，节约人力物力，因此其应用前景十分广阔。
【附图说明】
[0027]图1为本发明提供的用于真空镀膜生产线的调温装置的主视图；
[0028]图2为本发明提供的用于真空镀膜生产线的调温装置的侧视图；
[0029]图3为本发明提供的用于真空镀膜生产线的调温装置的示意图；
[0030]图4为本发明提供的用于真空镀膜生产线的调温装置的加热管道剖视图。
【具体实施方式】
[0031 ] 下面结合实施方式及附图对本发明作进一步详细、完整地说明。
[0032]图1至图4，为本发明提供的用于真空镀膜生产线的调温装置的示意图，调温装置安装在真空镀膜生产线的加热腔室和冷却腔室中，对真空镀膜生产线中的基片进行加热或冷却。如图1至图4所示，用于真空镀膜生产线的调温装置包括一固定组件10和一调温组件20，调温组件20安装在固定组件10上。
[0033]固定组件10包括一固定板11和至少两个定位座12，定位座12固定在固定板11上。定位座12包括至少一个安置槽121和至少一个隔离桩122，安置槽121和隔离桩122交叉放置，每两个安置槽121中间为一隔离桩122，每两个隔离柱122中间为一安置槽121。
[0034]调温组件20安装在固定组件10上，调温组件20包括一加热器21、一冷却器22和一控制器23，加热器21和冷却器22与控制器23连接，加热器21和冷却器22安装在固定组件10的定位座12上。
[0035]加热器21进一步包括一加热管道211和一加热件212，加热件212设置在加热管道211内。
[0036]固定组件10进一步包括至少一个门镜面板13，门镜面板13设置在固定板11之后，门镜面板13的面积不小于固定板11的面积。
[0037]加热管道211进一步包括一第一加热管道端部2111、一第二加热管道端部2112和加热通管2113,加热通管2113连接第一加热管道端部2111和第二加热管道端部2112,第一加热管道端