部2111和第二加热管道端部2112并排放置。
[0038]图4为本发明提供的用于真空镀膜生产线的调温装置的加热管道剖视图。加热件212进一步包括一电阻丝2121、一绝缘元件2122和一加热器开关2123，绝缘元件2122包裹电阻丝2121，绝缘元件2122和电阻丝2121填充在加热管道211内，加热器开关2123与电阻丝2121和控制器23连接。绝缘元件2122优选采用氧化镁制成，使电阻丝2121与加热管道211无接触。
[0039]加热器开关2123设置在第一加热管道端部2111，加热器开关2123控制电阻丝2121的通电状态。
[0040]第一加热管道端部2111和第二加热管道端部2112内的电阻丝2121与电源连接，填充在加热通管2123内的电阻丝2121通电后发热，热量从绝缘元件2122和加热通管2123散发，对加热管道211外的空气加热。
[0041]冷却器22包括一冷却管道221和一冷却件222，冷却件222与冷却管道221连接。
[0042]冷却管道221包括一第一冷却管道端部2211、一第二冷却管道端部2212和冷却通管2213，冷却通管2213连接第一冷却管道端部2211和第二冷却管道端部2212，第一冷却管道端部2211和第二冷却管道端部2212并排放置。
[0043]冷却件222进一步包括一供水装置2221、一集水装置2222和一冷却开关2223，冷却开关2223设置在供水装置2221上，冷却开关2223控制供水装置2221的供水，冷却开关2223与控制器23连接，供水装置2221与冷却管道221的第一冷却管道端部2211连接，集水装置2222与第二冷却管道端部2212连接，供水装置2221提供水从第一冷却管道端部2211进入冷却管道221中，经冷却通管2213流通，从第二冷却管道2212流出进入集水装置2222。为循环用水，集水装置2222与供水装置2221为连通的，集水装置2222聚集的水进入供水装置2221中循环利用。
[0044]控制器23进一步包括一温度感应兀件231和一控制兀件232，温度感应兀件231与控制元件232连接，控制元件232与加热开关2123和冷却开关2223连接。控制器23上只有加热和冷却两项选择，只能选择加热或冷却中的一项，这样使用该调温装置时只能是加热或者只能是冷却，而不会同时出现加热和冷却的现象。
[0045]控制器23进一步包括一显示屏233 (图中未显示)，显示屏233与控制元件232连接，显示屏233显示温度感应元件231感应的温度。
[0046]加热管道211和冷却管道221安装在定位座12的安置槽121上。
[0047]加热管道211和冷却管道221分层安装在定位座12的安置槽121上。
[0048]加热管道211和冷却管道221的安装高度一致。
[0049]加热管道211和冷却管道221对应安装在安置槽121上。
[0050]加热管道211和冷却管道221错开安装在安置槽121上。
[0051]最后有必要在此说明的是:以上实施例只用于对本发明的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于，包括: 一固定组件，所述固定组件包括一固定板和至少两个定位座，所述定位座固定在所述固定板上；和 一调温组件，所述调温组件安装在所述固定组件上，所述调温组件包括一加热器、一冷却器和一控制器，所述加热器和冷却器与所述控制器连接，所述加热器和冷却器安装在所述固定组件的定位座上。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述加热器进一步包括一加热管道和一加热件，所述加热件设置在所述加热管道内。
3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述冷却器包括一冷却管道和一冷却件，所述冷却件与所述冷却管道连接。
4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述加热管道进一步包括一第一加热管道端部、一第二加热管道端部和加热通管，所述加热通管连接所述第一加热管道端部和第二加热管道端部，所述第一加热管道端部和第二加热管道端部并排放置。
5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述加热件进一步包括一电阻丝、一绝缘元件和一加热器开关，所述绝缘元件包裹所述电阻丝，所述绝缘元件和电阻丝填充在所述加热管道内，所述加热器开关与电阻丝和控制器连接，所述加热器开关设置在所述第一加热管道端部。
6.根据权利要求3所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述冷却管道包括一第一冷却管道端部、一第二冷却管道端部和冷却通管，所述冷却通管连接所述第一冷却管道端部和所述第二冷却管道端部，所述第一冷却管道端部和所述第二冷却管道端部并排放置。
7.根据权利要求6所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述冷却件进一步包括一供水装置、一集水装置和一冷却开关，所述冷却开关设置在供水装置上，所述冷却开关控制供水装置的供水，所述冷却开关与所述控制器连接，所述供水装置与所述冷却管道的第一冷却管道端部连接，所述集水装置与所述第二冷却管道端部连接。
8.根据权利要求1所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述控制器进一步包括一温度感应元件和一控制元件，所述温度感应元件与控制元件连接，所述控制元件与加热开关和冷却开关连接。
9.根据权利要求3所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述定位座包括至少一个安置槽和至少一个隔离桩，所述安置槽和所述隔离桩交叉放置，每两个安置槽中间为一隔离桩，每两个隔离柱中间为一安置槽。
10.根据权利要求9所述的用于真空镀膜生产线的调温装置，其特征在于:所述加热管道和所述冷却管道安装在所述定位座的安置槽上。
【专利摘要】本发明公开了一种用于真空镀膜生产线的调温装置，包括一固定组件和一调温组件，调温组件安装在固定组件上，固定组件包括一固定板和至少两个定位座，定位座固定在固定板上；调温组件包括一加热器、一冷却器和一控制器，加热器和冷却器与控制器连接，加热器和冷却器安装在固定组件的定位座上。与现有技术相比，该用于真空镀膜生产线的调温装置设置在镀膜生产线的加热腔和冷却腔内，对真空镀膜生产线中的基片进行加热或冷却，利于基片镀膜，设有加热组件和冷却组件，通过控制器合适选择加热或冷却，加热和冷却互不影响，当镀膜流水线中各腔室的位置依据生产需要调换时，基片的加热腔和冷却腔不需要调换，节约人力物力，因此其应用前景十分广阔。
【IPC分类】C23C14-00
【公开号】CN104711511
【申请号】CN201310690927
【发明人】黄国兴, 孙桂红, 祝海生, 黄乐, 梁红, 吴永光
【申请人】湘潭宏大真空技术股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2013年12月16日