一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜生产线技术领域，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线用管道耦合装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，该技术属于物理气相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜，故真空镀膜也称真空金属化。真空镀膜具有多元化的功能应用，主要包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果，其次能在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能，还能让被镀件具有优异的电磁屏蔽和导电效果。正因为如此，真空镀膜技术在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业领域中都具有广泛的应用。
[0003]在真空镀膜时，由于腔室内更精密真空度的需要，会在个别腔室配置分子阀，因此相应的腔室门上安装一根较长的金属气体管道，该金属气体管道的一端连接在抽气阀的主管道上，另一端连接在设备底端。因此，当腔室的门开合时，气体管道会整体跟着门体一并移动。然而，由于波纹管壁很薄，开合时，由于波纹管整体处于固定连接状态，很容易造成波纹管与腔室门体本身的刮损，致使设备维护成本居高不下。为了降低损耗，技术人员一般会在开门时把波纹管直接人为拆卸下来，关门时再进行重新装配。这种重复拆装不仅耗时，也增大了人力成本。
[0004]在管道的耦合连接技术领域中，中国专利CN2806836Y公开了一种管道自动开闭泵，该专利主要解决的技术问题是采用能控制电机运转的温度传感器及控制器，以此控制泵的开启和关闭。中国专利CN88212613U公开了一种潜污泵快速自动耦合装置，该装置虽属于管道连接领域，但主要解决的技术问题是使潜污泵不用螺栓连接的前提下，便能让泵体与出水头连接并密封，使水泵检修时不用再下井拆卸。中国专利CN201574980U公开了一种潜水排污泵无渗漏自动耦合装置，该装置也属于管道连接领域，但该技术主要解决了管道的密封面连接处渗漏的问题。由此可见，在管道连接领域的现有技术中管道都是固定的，并不能进行管道中间端面分离或移动，不能解决真空镀膜领域中波纹管道在使用时易损坏的技术难题。因此，在管道连接领域，怎么使得管道能自由移动，又不至于过度拉伸致使管道损坏仍是一个技术难题。
【发明内容】
[0005]针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种可自动脱离，方便开合的真空镀膜生产线用管道耦合装置。
[0006]为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下:
[0007]—种真空镀膜生产线用管道耦合装置，包括上耦合件和下耦合件，上下耦合件活动连接并密封，上下耦合件分别固定连接同一管道；上下耦合件耦合密封时，管道连通；上下耦合件分离时，管道断开。
[0008]优选地，上耦合件包括上固定法兰和上管道接头，其中上固定法兰和上管道接头固定连接相通，且连接处密封。
[0009]优选地，下耦合件包括耦合法兰、波纹管、下固定法兰和下管道接头，其中耦合法兰、波纹管、下固定法兰和下管道接头依次连接相通，且各连接处均密封。
[0010]更优选地，波纹管与耦合法兰通过压块固定。
[0011]更优选地，连接处经焊接密封。
[0012]更优选地，上下耦合件经上固定法兰与耦合法兰耦合密封实现两者耦合密封。
[0013]更优选地，下固定法兰与一移动组件相连，且在移动组件作用下传动下固定法兰使得下耦合件运动；其中移动组件可采用现有技术中的转轴或金属臂等多种方式，在此不做赘述。
[0014]更优选地，为了实现该管道耦合装置的自动耦合或分离，管道耦合装置进一步包括至少一个气缸，气缸设置在耦合法兰和下固定法兰之间，使耦合法兰的上下运动，以实现耦合法兰与上固定法兰的分合。
[0015]更优选地，气缸为两个，分设于波纹管的两侧。
[0016]更优选地，气缸为薄型气缸。
[0017]更优选地，波纹管为可压缩金属波纹管。
[0018]更优选地，气缸包括一气管连接件，气缸通过气管连接件与耦合法兰连接。
[0019]更优选地，耦合法兰开口处设有滤网，以防止下耦合件内落入异物堵塞管道。
[0020]更优选地，各连接处均设有密封垫圈。
[0021 ] 与现有技术相比，本发明具有以下有益效果:通过气缸推动耦合法兰上下移动，使得耦合法兰与上固定法兰自动耦合或脱离，以此带动金属波纹管道自动开合；脱离后的管道能自由水平移动，在移动时并能与管道所在平面保持相对静止，避免了管道的剐损；在开合处的管道口设置有过滤网，能避免杂物滑落堵塞通道。因此，本发明具有广阔的市场应用前景。
【附图说明】
[0022]图1为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式结构图；
[0023]图2为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式开合时状态图；
[0024]图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式闭合时状态图。
【具体实施方式】
[0025]下面结合实施方式及附图对本发明作进一步详细、完整地说明。
[0026]图1至图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式示意图。真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线进一步包括至少7个腔室，7个腔室分别为进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，管道耦合装置应用于镀膜流水线的7个腔室中，用于控制I个腔室内真空环境。如图1至图3所示，真空镀膜生产线用管道耦合装置包括一上耦合件10和一下耦合件20，上下耦合件10、20活动连接并密封，上下耦合件10、20分别固定连接同一管道；上下耦合件10、20耦合密封时，管道连通；上下耦合件10、20分离时，管道断开。
[0027]图1为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式结构图。如图1所示，上耦合件10包括上固定法兰11和上管道接头12，其中上固定法兰11和上管道接头12固定连接相通，且连接处密封。下耦合件20包括耦合法兰21、波纹管22、下固定法兰23和下管道接头24，其中耦合法兰21、波纹管22、下固定法兰23和下管道接头24依次连接相通，且各连接处均密封。波纹管22与耦合法兰21通过压块固定。上耦合件10和下耦合件20中各连接处的密封优选采用焊接密封方式。
[0028]上下耦合件10、20经上固定法兰11与耦合法兰21耦合密封实现两者耦合密封。
[0029]下固定法兰23与一移动组件相连，且在移动组件作用下传动下固定法兰23使得下耦合件20运动；其中移动组件可采用现有技术中的转轴或金属臂等多种方式，在此不做赘述。
[0030]为了实现该管道耦合装置的自动耦合或分离，管道耦合装置进一步包括至少一个气缸30，气缸30设置在耦合法兰21和下固定法兰23间使耦合法兰21的上下运动，以实现耦合法兰21与上固定法兰11的分合。气缸30为两个，分设于波纹管22的两侧。气缸30优选为薄型气缸，波纹管22优选为可压缩金属波纹管。气缸30包括一气管连接件31，气缸30通过气管连接件31与耦合法兰21连接。耦合法兰21开口处设有滤网211，以防止下耦合件20内落入异物堵塞管道。各连接处均设有密封垫圈。
[0031]图2为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式开合时状态图；图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用管道耦合装置的一种优选实施方式闭合时状态图。如图2和图3所示，当真空镀膜腔室的室门处于关闭状态时，气缸30向上运动，气管连接件31随之向上运动，气管连接件31与耦合法兰21连接，带动耦合法兰21向上运动与上耦合件10的上固定法兰11相闭合，此时整个管道耦合装置连通，可从腔室内抽出空气，使腔室处于真空状态。当真空镀膜腔室的门准备开启时，气缸30向下运动，气管连接件31随之向下运动，带动耦合法兰21与上耦合件10的上固定法兰11分离，此时整个管道耦合装置断开，向腔室内注入空气，腔室门才能打开。
[0032]最后有必要在此说明的是:以上实施例只用于对本发明的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于，包括:一上耦合件和一下耦合件，所述上下耦合件活动连接并密封，所述上下耦合件分别固定连接同一管道；所述上下耦合件耦合密封时，管道连通；所述上下耦合件分离时，管道断开。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述上耦合件包括上固定法兰和上管道接头，其中所述上固定法兰和所述上管道接头固定连接相通，且连接处密封。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述下耦合件包括耦合法兰、波纹管、下固定法兰和下管道接头，其中所述耦合法兰、波纹管、下固定法兰和下管道接头依次连接相通，且各连接处均密封；耦合法兰与波纹管通过压块固定。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述上下耦合件经所述上固定法兰与所述耦合法兰耦合密封实现两者耦合密封。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述下固定法兰与一移动组件相连，且在所述移动组件作用下传动所述下固定法兰使得所述下耦合件运动。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述管道耦合装置进一步包括至少一个气缸，所述气缸设置在所述耦合法兰和所述下固定法兰之间。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述气缸为两个，分设于所述波纹管的两侧。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述气缸包括一气管连接件，所述气缸通过气管连接件与所述耦合法兰连接。
9.根据权利要求8所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述气缸为薄型气缸。
10.根据权利要求8所述的真空镀膜生产线用管道耦合装置，其特征在于:所述耦合法兰开口处设有滤网。
【专利摘要】本发明公开了一种真空镀膜生产线用管道耦合装置，包括上耦合件和下耦合件，上下耦合件活动连接并密封，上下耦合件分别固定连接同一管道；上下耦合件耦合密封时，管道连通；上下耦合件分离时，管道断开。通过气缸推动耦合法兰上下移动，使得耦合法兰与上固定法兰自动耦合或脱离，以此带动金属波纹管道自动开合；脱离后的管道能自由水平移动，在移动时并能与管道所在平面保持相对静止，避免了管道的刮损；在开合处的管道口设置有过滤网，能避免杂物滑落堵塞通道，因此，本发明具有广阔的市场应用前景。
【IPC分类】C23C14-22
【公开号】CN104711518
【申请号】CN201310690250
【发明人】黄国兴, 孙桂红, 祝海生, 黄乐, 梁红, 吴永光
【申请人】湘潭宏大真空技术股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2013年12月16日