带有含金属氧化物的膜的物品的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及带有含金属氧化物的膜的物品。本申请基于2013年1月18日申请 的日本国专利申请2013-7940号主张优先权，将该申请的全部内容作为参照并入本说明书 中。
【背景技术】
[0002] 为了赋予表面保护、外观性等，在手机、个人电脑（PC)等各种电子设备、照相机、 体育/保健用品、汽车内装构件等物品的表面实施树脂涂覆、镀覆处理等表面加工。这些表 面加工根据其表面加工对象物而需要具有规定的强度、耐久性、轻量性等性能，以满足这些 性能为前提来实施多种多样的设计。其中，对于电子设备、汽车内装构件等，对表面设计的 要求特别强烈，例如，对于高级商品，强烈要求重视质感（例如高级感）的表面设计。但是， 树脂涂覆、镀覆处理等以往的表面加工技术中，存在材料、加工等的限制，对质感的提高有 限。若能对这些物品的表面赋予与以往不同的质感，则能够做出顾客满意度更高的商品，是 有益的。
[0003] 另外，在半导体制造装置等工业用途中，为了防止侵蚀等，一直以来进行了在这些 制品的表面形成由氧化铝等金属氧化物制成的膜的处理。作为公开了这种现有技术的技术 文献，可举出专利文献1。另外，专利文献2提出了可以以规定的研磨速度研磨蓝宝石、氮化 镓等硬质材料的研磨组合物。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1 :日本专利申请公开2006-144094号公报
[0007] 专利文献2 :国际公开第2012/115020号
【发明内容】
[0008] 发明要解决的问题
[0009] 本发明人等在对各种物品的表面赋予含金属氧化物的物质（例如陶瓷）所具有的 特有的质感的构思下，进行了深入研宄，结果完成了本发明。即，本发明目的在于提供具备 与以往不同的质感的新型表面的物品。相关的其它目的在于提供具备上述新型表面的物品 的制造方法。相关的其它目的还包括提供能够实现上述新型表面的研磨组合物试剂盒。
[0010] 用于解决问题的方案
[0011] 为了达成上述目的，根据该说明书，提供带有含金属氧化物的膜的物品。该带有含 金属氧化物的膜的物品具备基材、以及在该基材的表面设置的含金属氧化物的膜。另外，前 述含金属氧化物的膜的维氏硬度为350以上、表面粗糙度Ra为300nm以下、且20°光泽度 值为50以上。上述膜包含金属氧化物，因此具有与树脂、镀覆等膜不同的质感。此处，质感 是指含金属氧化物的物质特有的质感，例如可以表现重量感、存在感，能够得到显示出与金 属、树脂不同的色调的物品。另外，上述质感与例如金属、塑料物品不同，其包含深度、温和、 独特的光泽感，这些能够对观看者、触摸者赋予例如陶瓷器所具有的那样的美观、高级感。 上述含金属氧化物的膜还具有20°光泽度值为50以上的光泽，因此具有与以往物品表面 设置的膜不同的光泽性的质感。具有上述光泽的表面虽与例如作为工艺品、美术品的陶瓷 器所具有的表面不同，但也能够具有毫不逊色、或者更优异的美观、高级感。另外，具有平滑 性高的表面的物品也能够成为触感也优异、耐冲击性等强度方面也优异的物品。
[0012] 此处公开的技术的优选的一个方式中，前述含金属氧化物的膜是通过喷镀法、化 学气相沉积法（CVD法：Chemical Vapor Deposition)或物理气相沉积法（PVD法：Physical Vapor Deposition)形成的。通过采用上述方法，可以在基材的表面适宜地形成含金属氧化 物的膜。
[0013] 此处公开的技术的优选的一个方式中，前述含金属氧化物的膜为孔隙率1~20% 的多孔膜。根据此处公开的技术，对于具有上述孔隙率的多孔膜，能够适宜地实现表面粗糙 度Ra为300nm以下、且20°光泽度值为50以上。
[0014] 此处作为公开的技术的优选的一个方式中，前述含金属氧化物的膜的厚度为 10~1000 μm。含金属氧化物的膜的厚度过小时，存在难以实现规定的光泽的倾向，上述厚 度过大时存在生产率降低的倾向。另外，从轻量性的观点来看，上述厚度理想的是1000 μm 以下。
[0015] 另外，根据该说明书，提供一种带有含金属氧化物的膜的物品的制造方法。该制造 方法包括：在物品的基材表面上形成维氏硬度为350以上的含金属氧化物的膜的工序、以 及研磨前述形成的含金属氧化物的膜的表面的研磨工序。另外，前述研磨工序后的含金属 氧化物的膜的特征在于，其表面粗糙度Ra为300nm以下、且20°光泽度值为50以上。根据 该制造方法，可以通过对具有规定以上的硬度的含金属氧化物的膜进行研磨来实现具有规 定的光泽的表面。进一步而言，可实现在表面形成有虽与例如作为工艺品、美术品的陶瓷器 具有的表面不同，但能够具有毫不逊色或者更优异的美观、高级感的含金属氧化物的膜的 物品的生产。
[0016] 此处公开的制造方法的优选的一个方式中，前述含金属氧化物的膜的形成通过喷 镀法、化学气相沉积法或物理气相沉积法进行。另外，作为其它适宜的方式，前述含金属氧 化物的膜为孔隙率1~20%的多孔膜。另外，前述含金属氧化物的膜的厚度优选为10~ 1000 μ m〇
[0017] 此处公开的制造方法的优选的一个方式中，前述研磨工序包括：使用第1研磨组 合物对前述形成的含金属氧化物的膜的表面进行研磨的第1研磨工序；以及使用第2研磨 组合物对前述第1研磨工序后的含金属氧化物的膜的表面进行研磨的第2研磨工序。如上 所述，通过对具有规定以上的硬度的含金属氧化物的膜进行至少上述的2阶段研磨，可以 高效地实现具有规定的光泽的表面。进一步而言，可以大量生产在表面形成有虽与例如作 为工艺品、美术品的陶瓷器具有的表面不同，但能够具有毫不逊色或者更优异的美观、高级 感的含金属氧化物的膜的物品。
[0018] 此处公开的制造方法的优选的一个方式中，前述第1研磨组合物包含磨粒（Al)， 前述第2研磨组合物包含比前述磨粒（Al)的平均二次粒径小的磨粒（A2)，该磨粒（A2)的 平均二次粒径为500nm以下。通过使用具有上述组成的2种研磨组合物，可以高效地实现 具有规定的光泽的含金属氧化物的膜表面。
[0019] 此处公开的制造方法的优选的一个方式中，前述磨粒（Al)的平均二次粒径为1~ 10ym。通过使用包含这样的粒径的磨粒（Al)的第1研磨组合物进行研磨，能够实现高研 磨效率。
[0020] 此处公开的制造方法的优选的一个方式中，前述磨粒（Al)的平均二次粒径？1与 前述磨粒（A2)的平均二次粒SP 2之比（P1A32)为2~200。通过使磨粒（Al)与磨粒（A2) 的平均二次粒径之比（P 1A32)为上述范围，可以高效地实现具有规定的光泽的表面。
[0021] 另外，根据该说明书，提供用于此处公开的任意制造方法的、用于含金属氧化物的 膜的研磨组合物试剂盒。该研磨组合物试剂盒具备前述第1研磨组合物和前述第2研磨组 合物。另外，前述第1研磨组合物包含磨粒（Al)。进而，前述第2研磨组合物包含比前述磨 粒（Al)的平均二次粒径小的磨粒（A2)，该磨粒（A2)的平均二次粒径为500nm以下。进而， 通过使用该研磨组合物试剂盒进行的研磨，通过对具有规定以上的硬度的含金属氧化物的 膜进行至少包括使用第1研磨组合物的第1研磨工序和使用第2研磨组合物的第2研磨工 序这2阶段的研磨，可以高效地实现具有规定的光泽的表面。
[0022] 进而，根据该说明书，提供一种用于含金属氧化物的膜的研磨组合物试剂盒。使用 该研磨组合物试剂盒进行研磨的对象物为包含金属氧化物、且维氏硬度为350以上的含金 属氧化物的膜。并且，该研磨组合物试剂盒用于使含金属氧化物的膜的表面粗糙度Ra为 300nm以下、且20°光泽度值为50以上的研磨。该研磨组合物试剂盒具备：向前述含金属 氧化物的膜供给的第1研磨组合物、以及在该第1研磨组合物的供给后向该含金属氧化物 的膜供给的第2研磨组合物。另外，前述第1研磨组合物包含磨粒（Al)。进而，前述第2研 磨组合物包含比前述磨粒（Al)的平均二次粒径小的磨粒（A2)，该磨粒（A2)的平均二次粒 径为500nm以下。
【附图说明】
[0023] 图1为表示例3的研磨中的含金属氧化物的膜的表面粗糙度Ra的变化的图。
[0024] 图2为表示图1的A点的表面粗糙度Ra的测定结果（截面曲线）的图表（纵倍 率：X 1000. 00、横倍率：X 20. 00)。
[0025] 图3为表示图1的B点的表面粗糙度Ra的测定结果（截面曲线）的图表（纵倍 率：X 1000. 00、横倍率：X 20. 00)。
[0026] 图4为表示图1的C点的表面粗糙度Ra的测定结果（截面曲线）的图表（纵倍 率：X 1000. 00、横倍率：X 20. 00)。
[0027] 图5为表示图1的B点的表面粗糙度Ra的测定结果（截面曲线）的图表，为将图 3沿纵方向放大的图（纵倍率：X 10000. 00、横倍率：X 20. 00)。
[0028] 图6为表示图1的C点的表面粗糙度Ra的测定结果（截面曲线）的图表，为将图 4沿纵方向放大的图（纵倍率：X 10000. 00、横倍率：X 20. 00)。
【具体实施方式】
[0029] 以下说明本发明的适宜的实施方式。需要说明的是，对于本说明书中特别言及的 事项以外的、且为本发明的实施所必要的事项可以作为基于该领域的现有技术的、本领域 技术人员的惯用手段来把握。本发明可以基于本说明书中公开的内容和该领域中的技术常 识来实施。
[0030] 《带有含金属氧化物的膜的物品》
[0031] <物品>
[0032] 此处公开的技术的优选的一个方式的带有含金属氧化物的膜的物品具备基材、以 及在该基材的表面设置的含金属氧化物的膜。物品可以是手机、游戏机、PC、各种家电用品、 各种音频制品等电子设备、照相机、光学用品、办公用品、事务用品、体育/保健用品、汽车 内装构件、照明器具、家具、室内装饰品、烹调器具、杂货等。典型的可以是面向一般消费者 的物品（商品或制品）。应用含金属氧化物的膜作为这种面向一般消费者的物品的表面，可 以作为此处公开的技术的特征之一来把握。
[0033] 其中，由于电子设备、照相机、光学用品、汽车内装构件大幅倾向于要求重视质感 (尤其是高级感）的表面设计，因此是此处公开的技术优选的应用对象。对于根据功能等而 具备不同价格区间等的多个级别的商品的物品，特别优选应用此处公开的技术。例如，通过 对这些物品之中的高级商品（例如功能、性能为高规格的商品）应用此处公开的技术，使该 物品的功能/性能与该物品表面的质感（典型的是高级感）相关联，可做出客户满意度更 尚的商品。
[0034] 另外，此处公开的技术的优选的一个方式中，物品优选为手持使用的物品。这是因 为，含金属氧化物的膜所具有的特有的质感也能够作为在手持时的触感、温度感来把握。需 要说明的是，温度感是实际上在手持时的可以进行体感的触感的一种，