技术总结
本发明公开了一种高纯磷化锌的制备方法，包括如下步骤：a、在清洁的石英管；b、取摩尔比为4:3的锌和磷放入石英管内，并充分混合；c、加热脱氧炉到200℃～280℃后，将石英管放入真空系统脱氧，在真空系统下将石英管封管，封管后停止脱氧；d、石英管放入合成炉中，以100℃～200℃/小时的速度缓慢升温至600℃～800℃，恒温1.5～2.5小时，后以100～200℃/小时的速度缓慢升温至1100～1200℃，再恒温2.5～3.5小时，以100-200℃/小时的速度缓慢降温至900℃～1050℃，停炉；e、破开石英管取出磷化锌产品，放入干燥容器内密封保存；通过本发明一方面防止生产过程中高纯磷蒸汽压过大产生炸管现象，另一方面使其缓慢升温保证其反应完全，使产品符合化学计量比要求。
技术研发人员：聂玉;周晴;陈建国
受保护的技术使用者：衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司
文档号码：201510832011
技术研发日：2015.11.25
技术公布日：2017.03.08