一种用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置的制作方法

文档序号:11836579阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置,包括反应釜本体、转轴、生长液盛放槽、搅拌装置、底座、温度感应器,其特征在于,所述反应釜本体的顶部设置有开口,并在开口上安装有液封盖,所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部,并在转轴前端设置设置有夹持件,所述的夹持件设置于生长液盛放槽内部,生长液盛放槽通过若干支杆连接在反应釜本体的内壁,所述的反应釜本体内底部通过支撑座连接有搅拌装置,所述的搅拌装置上设置有加热丝,在反应釜本体外底部设置有底座,所述的反应釜本体内腔内设置有温度感应器。

2.如权利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置,其特征在于,所述的反应釜本体外底部设置有若干横向的凸块,所述的底座上设置有若干凹槽,所述的凸块与凹槽相互卡合连接。

3.如权利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置,其特征在于,所述的支杆与生长液盛放槽螺栓连接。

4.如权利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置,其特征在于,所述反应釜本体的外侧壁设置有控制开关。

5.如权利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置,其特征在于,所述的夹持件与转轴前端铰接连接。

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