技术总结
本实用新型公开了一种用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置，所述反应釜本体的顶部设置有开口，并在开口上安装有液封盖，所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部，并在转轴前端设置设置有夹持件，所述的夹持件设置于生长液盛放槽内部，生长液盛放槽通过若干支杆连接在反应釜本体的内壁，所述的反应釜本体内底部通过支撑座连接有搅拌装置，所述的搅拌装置上设置有加热丝，在反应釜本体外底部设置有底座，所述的反应釜本体内腔内设置有温度感应器。通过装置上的设计大大提升了IGBT碳化硅晶体籽料在生长过程中，使得籽料生长均匀稳定，整个装置操作稳定，使用方便，可被进一步推广应用。
技术研发人员：张新峰
受保护的技术使用者：张新峰
文档号码：201620581900
技术研发日：2016.06.15
技术公布日：2016.11.30