1.一种制备石英玻璃的烧结装置,用于对二氧化硅疏松体烧结,获得石英玻璃成品,其中,所述二氧化硅疏松体内具有气孔;其特征在于,所述装置包括:
炉体,所述炉体内具有用于容纳所述二氧化硅疏松体的烧结空间;
所述炉体内还具有为所述烧结空间加热的加热器;
所述炉体上还具连通所述烧结空间的抽真空通道,用于对所述烧结空间抽真空至负压环境。
2.根据权利要求1所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述烧结空间位于炉芯管内,
所述加热器位于所述炉体的炉壁与所述炉芯管之间的加热空间内,所述加热器通过所述炉芯管向所述烧结空间内加热。
3.根据权利要求2所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述炉芯管将所述烧结空间与所述加热空间隔离。
4.根据权利要求3所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述抽真空通道还与所述加热空间连通。
5.根据权利要求4所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述炉壁内还具有循环冷却液通道。
6.根据权利要求2所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述炉芯管的基体采用碳化硅、氮化硅、氧化铝、石墨或石英玻璃中至少一种制成。
7.根据权利要求6所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述炉芯管的基体的内壁和/或外壁上具有密封涂层。
8.根据权利要求7所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述密封涂层为碳化硅、氮化硅或氧化铝涂层。
9.根据权利要求1所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,还包括:
驱动所述二氧化硅疏松体在所述烧结空间中旋转的驱动装置。
10.根据权利要求1-9中任一所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,还包括:
与所述烧结空间连通的进气口,用于向所述烧结空间内通入气流;
所述抽真空通道作为出气口,使从所述进气口通入的气流流经所述二氧化硅疏松体后从所述出气口抽出。
11.根据权利要求2所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述炉芯管的工作段用于对位于烧结空间内的二氧化硅疏松体的有效区域全部或二氧化硅疏松体的整体进行同时受热烧结;
所述加热器环绕在所述炉芯管的整体工作段的外围。
12.根据权利要求11所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述加热器采用石墨电阻加热、感应加热、硅钼棒加热、硅碳棒加热或金属电阻丝加热。
13.根据权利要求12所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
在所述炉芯管的工作段的长度方向上,所述加热器具有M个加热分段,M为大于等于1小于等于10的正整数。
14.根据权利要求2所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
在所述加热器的发热体外具有保温层,所述保温层采用碳纤维毡、耐火砖、保温棉中的至少一种制成。
15.根据权利要求14所述的制备石英玻璃的烧结装置,其特征在于,
所述保温层的基体的内壁和/或外壁上具有碳化硅、氮化硅或氧化铝涂层。
16.一种制备石英玻璃的系统,其特征在于,包括:
低温化学气相沉积装置,用于将含硅原料经低温化学气相沉积合成制得二氧化硅疏松体,所述二氧化硅疏松体为高纯二氧化硅疏松体或掺杂二氧化硅疏松体,其中,所述高纯二氧化硅疏松体中二氧化硅的含量在99.99%以上;
制备石英玻璃的烧结装置,所述玻璃的烧结装置采用上述权利要求1-15中任一所述的制备石英玻璃的烧结装置;
抽真空机,其抽真空口与所述抽真空通道连接。