一种制备氮化铝的方法与流程

文档序号:12686048阅读:3055来源:国知局

本发明涉及一种两段法制备氮化铝的工艺,属于材料科学技术领域。



背景技术:

氮化铝以其高的热导率、可靠的电绝缘性、耐高温、耐腐蚀、低的介电常数以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列的优良特点,成为理想的电路基板材料和电子器件封装材料。氮化铝的合成方法主要有铝粉直接氮化法、碳热还原法、化学气相沉积法、自蔓延燃烧合成法和微波合成法等。铝粉直接氮化法和碳热还原法实现了工业化生产。碳热还原法具有原料来源广、价格低、工艺过程简单的特点,合成粉末在纯度、粒度以及稳定性等方面占较大优势。

碳热还原法是在1600~1800℃下,将氧化铝和碳的混合物在氮气流中反应4~10h,得到含有过量碳的氮化铝粉末,反应为:

Al2O3(s)+3C(s)+N2(g)=2AlN(s)+3CO(s)

然后在600~900℃保温10~16h,脱碳后得到氮化铝。

中国专利CN1435371A、CN 101973532 B和CN 101973534 A采用硝酸铝等含铝化合物作为铝源、葡萄糖等含碳有机物或炭黑等作为碳源,适当加入添加剂,制备前驱物,再进行氮化,可以降低反应温度。但在制备前驱物的过程中,会产生大量含氮废气或其他废气。



技术实现要素:

本发明提供了一种氮化铝的制备方法,该方法采用两段法制备氮化铝粉体,能够降低制备温度,缩短制备时间,制得的氮化铝粉体中的碳含量低,可以缩短或省去后续的除碳步骤,不会产生除一氧化碳以外的其他废气,容易实现工业化。

本发明方法具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝原料和碳原料以质量比2.8:1~3:1的比例配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于5Pa,升温到1300~1600℃,保温20~50分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开反应炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)的反应产物研磨后,作为氮化原料置于碳质坩埚中或者将反应产物与碳原料按质量比1:0.05~1:0.2的比例混匀研磨,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)氮化原料置于反应炉中,反应炉充入氮气,升温到1400℃~1700℃,保温80~300分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为0.1~1.5L/min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即为低碳含量的氮化铝粉末。

本发明中碳原料可以为石墨、炭黑或木炭等。

所述碳质坩埚为石墨坩埚。

本发明的制备原理如下:

第一段,Al2O3与C反应生成以Al4O4C、Al4C3为主的固态产物,如反应(1)所示;

Al2O3+C→Al4O4C、Al4C3等+CO(g) (1)

第二段,Al4O4C、Al4C3与N2反应形成AlN,如反应(2)所示,反应所需温度比氧化铝直接碳热还原氮化明显降低,相同温度下所需反应时间大幅缩短。

Al4O4C、Al4C3+N2→AlN+CO(g) (2)

第二段需要过量的碳保证氮化完全,但碳不需要与原料直接接触,就可以参与反应,因此,第二段氮化反应在碳质坩埚中进行,不足的少量碳可以由碳质坩埚补充,从而得到低碳含量的氮化铝;或者也可以添加少量碳保证氮化。

本发明的有益效果:

(1)与氧化铝直接碳热还原氮化法相比,两段法制备氮化铝所需温度明显降低;

(2)与氧化铝直接碳热还原氮化法相比,在相同的制备温度下,两段法制备氮化铝,所需总反应时间大幅缩短;

(3)与氧化铝直接碳热还原氮化法相比,两段法制备氮化铝不需要加入过量的碳,得到的氮化铝粉末含碳量低,可以缩短或省去后续的除碳步骤;

(4)不会产生除一氧化碳以外的其他废气;

(5)容易实现工业化。

具体实施方式

下面通过实施例对本发明作进一步说明,但本发明保护范围不局限于所述内容。

实施例1:本实施例氮化铝粉末的制备方法,具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝粉和石墨粉以质量比2.8:1的比例配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于5Pa,升温到1300℃,保温50分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开反应炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)的反应产物研磨置于石墨坩埚中,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)的装有氮化原料的石墨坩埚置于反应炉中,反应炉充入氮气,升温到1400℃,保温300分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为1.5L/min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即得氮化铝粉末。

实施例2:本实施例氮化铝粉末的制备方法,具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝粉和石墨粉以质量比2.8:1的比例配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于3Pa,升温到1400℃,保温40分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开真空炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)的反应产物研磨置于石墨坩埚中,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)的装有氮化原料的石墨坩埚置于反应炉中,反应炉充入氮气,升温到1500℃,保温240分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为1L/ min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即得氮化铝粉末。

实施例3:本实施例氮化铝粉末的制备方法,具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝粉和炭黑以质量比2.9:1的比例配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于1Pa,升温到1500℃,保温30分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开反应炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)的反应产物研磨置于石墨坩埚中,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)的装有氮化原料的石墨坩埚置于反应炉中,反应炉充入氮气,升温到1600℃,保温180分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为1L/ min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即得氮化铝粉末。

实施例4:本实施例所述氮化铝粉末的制备方法,具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝粉和木炭粉以质量比3:1配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于0.1Pa,升温到1600℃,保温20分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开反应炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)的反应产物研磨置于石墨坩埚中,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)的装有氮化原料的石墨坩埚置于反应炉中,将反应炉充入氮气,升温到1700℃,保温80分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为0.1L/ min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即得氮化铝粉末。

实施例5:本实施例所述氮化铝粉末的制备方法,具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝粉和炭黑以质量比2.9:1的比例配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于0.1Pa,升温到1500℃,保温30分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开反应炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)反应产物与炭黑按质量比1: 0.1的比例混匀研磨,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)氮化原料置于反应炉中,反应炉充入氮气,升温到1650℃,保温120分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为0.5L/ min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即得氮化铝粉末。

实施例6:本实施例氮化铝粉末的制备方法,具体步骤如下:

第一段,真空下碳热还原氧化铝制备碳化铝、碳氧化铝为主的固态产物

(1)将氧化铝粉和石墨粉以质量比2.8:1的比例配比,混合均匀得到混合原料;

(2)将步骤(1)的混合原料置于反应炉中,将反应炉抽真空至压力低于2Pa,升温到1400℃,保温40分钟,保温过程中持续抽真空;

(3)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止抽真空,打开真空炉,取出反应产物,该产物主要由碳化铝和碳氧化铝组成;

第二段,氮化制备氮化铝

(4)将步骤(3)反应产物与石墨粉按质量比1: 0.2的比例混匀研磨,作为氮化原料;

(5)将步骤(4)氮化原料置于反应炉中,反应炉充入氮气,升温到1500℃,保温240分钟,保温过程中持续通氮气,氮气流速为1L/ min;

(6)保温完成后开始降温,温度降至室温后,停止通氮气,打开反应炉,取出反应产物,即得氮化铝粉末。

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