但是，涂布层5优选通过工业成本低、大量生产性优异的热喷涂形成，因而，此处 参照图4和图5来说明使用热喷涂的制造方法。
[0079] 首先，准备作为母材3的钼（或者钨钼合金、掺杂了镧或其氧化物的钼），成型为坩 锅形状（图4的S101)。
[0080] 接着，对母材3的内周（形成涂布层5的面）进行喷丸，调整表面粗糙度（图4的 S102)〇
[0081] 作为喷丸的条件，优选使用包含20目以上且小于60目的颗粒的颗粒、例如氧化铝 颗粒。这是因为，若颗粒小于20目，则涂布层5的表面粗糙度Ra超过20 y m，另一方面，仅 利用60目以上的颗粒时，涂布层5的表面粗糙度Ra无法达到5 y m以上。
[0082] 需要说明的是，作为氧化铝以外的材料，可以举出SiC(碳化硅）、WC、玻璃珠、玻璃 粉末、钢丸/钢砂、不锈钢切丝、钢切丝、钢珠、不锈钢珠、铁粉、陶瓷珠、高硬度石榴石、褐色 氧化铝、绿色碳化硅、黑色碳化硅等。
[0083] 需要说明的是，为了使涂布层5的表面粗糙度为上述值，用于喷丸的颗粒（在相同 的喷丸材质中种类因硬度而不同时）优选使用硬度比作为基底的母材3更高的材料且为未 使用的材料。
[0084] 另外，在喷丸时，优选所喷射的颗粒不残留于内周。这是因为，若颗粒残留于内周， 则在形成涂布层5时会形成在涂布层与母材3之间夹有颗粒的状态，由于颗粒的纯度或蓝 宝石单晶生长用坩锅1的使用温度的作用，颗粒有可能膨胀而在涂布层5形成膨出部、或者 涂布层5有可能从母材3剥离。颗粒的纯度越低，则该情况越显著。
[0085] 因此，优选进行将喷丸后残留于内周的颗粒除去的处理。
[0086] 另外，为了即使在残留有颗粒的情况下也防止涂布层5从母材3剥离，优选颗粒的 纯度尽可能高。
[0087] 除去所残留的颗粒的处理具体来说包括：（1)用化学药液溶解、除去母材3的表面 的方法；（2)用真空气氛炉进行热处理而使其与母材3的表面的钼一起蒸发的方法；（3)在 喷丸后利用超声波或干冰进行清洗的方法；等等，但未必限定于这些。
[0088] 下面，对上述处理进行更详细的说明。
[0089] 首先，在（1)用化学药液将母材3的表面溶解、除去的方法中，将母材3浸渍到王 水或氟、硝酸的混合液等中并保持10秒~30分钟。本申请人通过电子显微镜等可以确认， 若不浸渍10秒以上（优选1分钟以上），则喷丸无法被均匀地除去。此外，本申请人还确认 到：若不进行30分钟以内（优选20分钟以内）的化学药液处理，则表面的凹凸消失，无法 进行均匀的热喷涂。需要说明的是，化学药液只要是能够溶解钼的化学药液即可，对其种类 没有限定，例如包括Gunter Petzow著"金属工7千 > 夕技術（金属蚀刻技术）"、株式会社 AGNE、1977、p8-pl9、p56-p61所示的各种化学药液。
[0090] 接下来，在（2)用真空气氛炉进行热处理而与母材3的表面的钼一起蒸发的方法 中，例如通过在l〇 4Pa (1/10气压）以下的气压，于1500°C进行1分钟以上的热处理，从而可 以进行母材3的表面的除去，与此同时可以进行喷丸的除去。需要说明的是，还可以在更低 的气压（高真空度）下进行低温度、短时间的处理，有时还可以在最低为l〇〇〇°C的处理温度 进行。
[0091] 接着，（3)在喷丸后利用超声波或干冰进行清洗的方法中，本申请人确认到：在 利用超声波的情况下，例如可以使用SND Co.，Ltd.制造的投入型超声波清洗机SU-600B 等，利用装有所需要的水量的水槽，以40kHz的频率用纯水进行清洗。另外，本申请人确认 到：在利用干冰的情况下，使用不二制作所的干冰清洗机TDSD-2等，通过空气2m 3/分钟、 0. 3MPa的条件下的清洗，可以进行喷丸颗粒的除去。
[0092] 接着，对母材3的内周热喷涂钨，由此形成涂布层5(图4的S103)。
[0093] 具体来说，如图5所示，使母材3的底面保持于未图示的通用车床，以中心轴7为 中心使母材3旋转，同时利用公知的等离子体喷枪11等进行涂布层5的热喷涂。
[0094] 此时，作为热喷涂的条件，优选在65V、500A~80V、1000A的电流条件下使热喷涂 喷嘴的移动速度为10~300mm/秒，为了形成均匀的钨热喷涂层（涂布层5)，优选对同一区 域热喷涂2次以上，或者以150mm/秒以下的速度形成。另外，这些条件下的钨粉末的供给 量例如为10~200g/分钟。
[0095] 另外，为了在涂布层5形成上述个数的空孔，优选使热喷涂喷嘴前端至母材3间的 距离为10~150mm、更优选为20~60mm。
[0096] 这是因为，在距离小于10mm时，热喷涂时的块变大，而且气孔率极端减小，无法得 到上述个数的空孔，或者R部的涂布中等离子体喷枪的操作、动作变得极难。另外，超过 150_时，热喷涂的钨凝固、或者在空中形成块状，会产生膜的密合性降低、形成块状的热喷 涂膜发生剥离等问题，相对于所投入的钨原料的重量成品率极低。
[0097] 另外，关于涂布层5的堆积速度，1次扫描的热喷涂厚度为20~100 ym是适当。 为了增加厚度，可以通过进行多次扫描而得到均匀的热喷涂膜，并且可以进行适当调整，如 通过以25 ym的热喷涂厚度进行6次热喷涂，最终得到150 ym的热喷涂膜厚度等。
[0098] 另外，通过在热喷涂时进行减压热喷涂，可以降低涂布层5中的氧含量，但是为了 在工业上以低成本实行，也可以在大气中进行热喷涂。
[0099] 需要说明的是，关于热喷涂后的涂布层5的表面，工业上优选直接使用未进行研 磨等加工而通过热喷涂得到的表面，但是，如上所述，在HEM法中，由于底面3b是放置晶种 的部分，因此可以对底面3b实施研磨而使其变得光滑。
[0100] 接着，根据需要对坩锅进行用于脱气的热处理（图4的S104)。该热处理不是必须 的，但为了防止发生蓝宝石生长时气泡或氧化导致的不良情况，优选事先（至少在坩锅的 使用前）进行该热处理。
[0101] 需要说明的是，为了得到热处理所产生的脱气效果，需要在1000°c以上的温度下 进行热处理，气氛需要为Kripa以下的真空、或包含30%以上氢的气氛。这是因为，在真空 度低于该真空度（气压高）的情况下，涂布层5或钼坩锅（母材3)发生了氧化，而在还原 性的氢的情况下也可以混合氮等惰性气体，但为了确保还原性，需要30%以上的氢浓度。另 外，为了减少工业上的热处理装置的限制，热处理的温度优选为2200°C以下。处理时间若 为5分钟以上，则过冲的控制变得容易。另外，若时间长，则可以进行考虑到使用条件后的 充分扩散，但是在考虑到工业上的周期的情况下，10小时以内的周期是现实的，为了得到更 可靠的生产率，1小时以内的周期是现实的。因此，5分钟以上且10小时以下是适当的热处 理时间。
[0102] 以上为蓝宝石单晶生长用坩锅1的制造方法。
[0103] 这样，根据本实施方式，蓝宝石单晶生长用坩锅1具有坩锅形状的母材3和仅涂布 于母材3的内周的鹤的涂布层5,涂布层5的表面粗糙度Ra为5 ym以上且20 ym以下。
[0104] 因此，蓝宝石单晶生长用坩锅1按为得到蓝宝石单晶而进行了优化，并且可重复 利用。
[0105] 即，通过在适当的条件下在钼坩锅（母材3)的内面形成钨热喷涂层（涂布层5)， 尤其是在基于HEM法的钼坩锅中的蓝宝石生长中，迄今为止只能使用一次的钼坩锅变得可 以反复使用，蓝宝石结晶中的钥的沉积、吸收、混入等极端减少，材料的成品率提尚等等，可 以在经济上低成本且