专利名称：感光性树脂组合物、结构体的生产方法和液体排出头的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物、结构体的生产方法和液体排出头。
背景技术：
已知的微细加工技术包括光刻技术，所述光刻技术包含将负型感光性树脂进行曝光和显影从而形成图案化结构体，该技术广泛用于诸如半导体集成电路生产用途、半导体曝光用掩模生产用途和各种微机电系统(MEMS)的生产用途的应用中。在MEMS生产用途的一个实例中，将该技术用于液体排出头喷嘴的生产。具有i线光源的步进器(stepper)广泛地用作曝光装置，在该技术领域中，近年来已经要求更复杂和高精细形状的结构体的生产，因此，已经要求对来自光源的光显示高感光性和高成型精度的负型感光性树脂。作为该负型感光性树脂的实例，日本专利申请特开2008-256980讨论了包含多官能环氧树脂和阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物。美国专利6，155，673讨论了具有喷嘴的液体排出装置的结构的实例，所述结构中使得通过加热发热电阻器而产生的气泡与外部空气连通从而可以排出墨滴。然而，上述组合物由于以下原因在一些情况下不具有令人满意的性能。例如，当使用该负型感光性树脂组合物和i线光源形成复杂的结构如液体排出装置用锥形排出口时，会形成不期望的形状如部分圆形的边缘(partially-rounded edge)。
发明内容
本发明涉及一种感光性树脂组合物，用所述感光性树脂组合物使用i线光刻法能够形成具有高感光度和高成型精度的结构体。根据本发明的方面，提供一种感光性树脂组合物，其包括(a)在酸的存在下可聚合的化合物；和(b)包括具有由下式(bl)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎗盐的光酸产生剂，其中组分(b)吸收由感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的50%以上，[化学式I]
权利要求
1.一种感光性树脂组合物，其包括 (a)在酸的存在下可聚合的化合物；和 (b)包括具有由下式(bl)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎗盐的光酸产生剂， 其中组分(b)吸收由所述感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的至少50%，
2.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中所述组分(b)中的X表示磷原子。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中由R1至R3表示的所述组分(b)的结构包括至少两个噻吨酮骨架，Y表示单键，R4表示CF3或C2F5，和m为至少3。
4.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其进一步包括(c)在曝光后能够使由所述组分(b)产生的酸失活的化合物。
5.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其进一步包括(d)在其分子中包含两个或多个苯环或者稠环的低分子量化合物。
6.一种结构体的生产方法，所述方法依次包括 提供设置有用于形成结构体的感光性树脂组合物的层的基板，所述感光性树脂组合物包括 (a)在酸的存在下可聚合的化合物；和 (b)包括具有由下式(bl)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎗盐的光酸产生剂， 其中组分(b)吸收由所述感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的至少50%，
7.一种液体排出头，其包括 具有为排出液体而配置的排出口的排出口构件， 其中所述排出口构件由感光性树脂组合物的固化产物制成，所述感光性树脂组合物包括 (a)在酸的存在下可聚合的化合物；和 (b)包括具有由下式(bl)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎗盐的光酸产生剂， 其中组分(b)吸收由所述感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的至少50%， [化学式3]
全文摘要
一种感光性树脂组合物，其包括(a)在酸的存在下可聚合的化合物；和(b)包括具有由下式(b1)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎓盐的光酸产生剂，其中组分(b)吸收由所述感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的50%以上。
文档编号C09K3/00GK102754028SQ20118000812
公开日2012年10月24日 申请日期2011年2月1日 优先权日2010年2月5日
发明者下村雅子, 池龟健, 高桥表 申请人:佳能株式会社