专利名称：基板输送装置及包括该装置的基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板输送装置，更具体地，涉及一种经过结构改良，在承载基板的状态下容易旋转，从而提高基板输送效率的基板输送装置。
背景技术：
通常用于平板显示器(FPD；Flat Panel Display)、半导体晶片、液晶显示器(LCD)、掩膜板用玻璃等的基板通过一系列的处理线，经蚀刻、去膜、漂洗等过程之后，再被洗净。
这样的基板处理线通常包括，用于翻转基板的翻转部；用于从翻转部承接基板，再将其供向洗净部的装载机；用于依次洗净基板上的异物的洗净部；用于干燥基板的干燥部；用于卸载基板的卸载机。
对于上述基板处理线，有效地向各工序输送基板的输送装置是其重要因素。
即，这些输送装置有时需要，将从上一工序承接的基板向下一工序，继续沿相同方向，或者向其他方向(例如，垂直方向或反方向)输送。
但是，如上所述的现有输送装置都因上一工序及下一工序间的衔接不顺畅，存在不能自由转换基板输送方向的缺点。
即，当把所承接的基板向下一工序沿相同方向输送时，可以顺利进行输送作业，但，当把方向转换成垂直或反方向时，须另外配置翻转部。
而这些问题，随着基板的大型化趋势显得更为突出，更加使基板的输送难以进行，从而影响基板的质量，导致次品的增加。
发明内容
本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种，经过结构改良，能够在承载基板的状态下容易旋转，从而提高基板输送效率的基板输送装置。
为了实现上述目的，本发明基板输送装置包括可滑行地安装于框架轨道上的底板；安装于上述底板的上面，并在其上面承载基板的上板；可旋转地连接上述上板与底板的连接部件；将上述上板的旋转半径限制在一定范围内的旋转限制装置。
本发明所涉及的基板输送装置，通过结构改良，能够在承载基板的状态下容易旋转，从而提高了基板的输送效率。
图1是具备本发明基板输送装置的基板处理装置的立体图。
图2是图1中输送装置的立体放大图。
图3是图2中输送装置的立体分解图。
图4是图2中输送装置的侧视图。
图5是图3中输送装置的底板的立体放大图。
图6是图3中输送装置的上板在起始位置上的状态示意图。
图7是图3中输送装置的上板在以中心线为基准向逆时针方向旋转后的状态示意图。
图8是图3中输送装置的上板向逆时针方向旋转后停止在90度位置上的状态示意图。
具体实施例方式
以下，参照附图详细地说明本发明的实施例所涉及的用于输送基板的输送装置。
本发明所提出的基板输送装置适用于一般的基板处理线，下面以如图1所示的层叠型基板处理线进行说明。
如图1所示，具备本发明基板输送装置的基板处理线，包括框架3；可滑行地安装于上述框架3的轨道r上，在送入侧与送出侧间做往返运动，同时支撑基板G并使之能够自由旋转的用于输送基板的输送装置(Transfer)5；从上述输送装置5承接基板G之后下降的送入侧垂直输送部7；用于处理基板G的处理机组11；设置于处理机组11的送入侧及送出侧，用于输送基板G的第一输送部9及第二输送部13；将经过处理的基板G再次输送至输送装置5的送出侧垂直输送部15。
因此，由上一工序输送过来的基板G被置放于输送装置5的上面后，输送装置5就在承载该基板G的状态下沿着轨道r向前进，并将基板G输送至送入侧垂直输送部7，或者后退至送出侧垂直输送部15承接基板G。
另外，在这样的基板输送过程中，可根据需要，通过旋转输送装置5转换基板G的输送方向。
如图2至图4所示，上述输送装置5具体可包括可滑行地安装于框架3轨道r上的底板20；可旋转地安装于上述底板20的上面与之一起移动，并用于在其上面承载基板G的上板22；可旋转地连接上述上板22与底板20的连接部件30；将上述上板22的旋转角度限制在一定范围内的旋转限制装置。
具有上述结构的输送装置5中，在上述底板20的两侧分别突设第一延长部26a及第二延长部26b，而且该第一延长部26a及第二延长部26b的底面被设置于框架3的轨道r上。因此，上述底板20能够沿着轨道r滑行。
而且，上述上板22具有相互连接的多个连接条23，且其底面通过板材等材料封闭。在此上板22上以一定高度凸出形成有多个支撑销24，而且在其角隅部，分别具备基板固定托座25。
因此，可在多个支撑销24上放置基板G，且由基板固定托座25固定基板G的角部，从而能够稳定地放置基板G。
具有上述结构的上板22及底板20通过连接部件30相连接，由此具有上板22相对于底板20可旋转的结构。
上述连接部件30包括安装于底板20的板面29上的旋转气缸组装体36；凸出形成于上述气缸组装体36上的转轴38；从上述上板22的底面向下方凸出，并通过插入于上述转轴38而被固定的插入肋60。
上述气缸组装体36可适用通过油压或气压而旋转的旋转气缸，而该气缸与上述转轴38相啮合。
因此，当气缸旋转时，转轴38向顺时针或逆时针方向旋转。
其结果，当上述气缸组装体38驱动时，转轴38随之旋转，从而带动通过插入肋60被连接设置的上板22旋转。
另外，为了控制上板22的旋转角度而被设置的上述旋转限制装置包括安装于底板20上面的第一缓冲部32及第二缓冲部34；从上述上板22的底面向下方凸出，当上板22旋转时，有选择地与上述第一缓冲部32及第二缓冲部34接触，从而将上述上板22的旋转限制在一定范围内的制动器。
如图5及图6所示，具有上述结构的旋转限制装置中，上述第一缓冲部32和第二缓冲部34具有相同结构，并以连接部件30为中心相互对称配置。
上述第一缓冲部32包括，安装于内侧(连接部件方向)的第一内侧缓冲器40和安装于外侧的第一外侧缓冲器42。而且，在上述第一内侧缓冲器40的邻接位置上安装有第一气缸46，并且第一气缸46的活塞48被连接在第一外侧缓冲器42上。
此时，上述第一外侧缓冲器42可滑行地安装于轨道r1上。
由此，当上述第一气缸46驱动时，活塞48推开或拉动第一外侧缓冲器42，以使第一外侧缓冲器42能够向内侧或外侧移动。如此，由于上述第一外侧缓冲器42可移动，当上板22旋转时，可避免与经过第一外侧缓冲器42位置的第一制动器S1相接触。
另外，第二缓冲部34具有与第一缓冲部32相同的结构，且二者相互对称配置。
即，上述第二缓冲部34包括安装于内侧(连接部件方向)的第二内侧缓冲器52和安装于外侧的第二外侧缓冲器50。而且，在上述第二内侧缓冲器52的邻接位置上安装有第二气缸58，而第二气缸58的活塞59被连接在第二外侧缓冲器50上。
此时，上述第二外侧缓冲部50可滑行地安装于轨道r2上。
由此，当上述第二气缸58驱动时，活塞59推开或拉动第二外侧缓冲器50，以使第二外侧缓冲器50能够向内侧或外侧方向移动。如此，由于上述第二外侧缓冲器50可移动，当上板22旋转时，可避免与经过第二外侧缓冲器50位置的第二制动器S2相接触。
而且，设置于上述上板22的制动器，以一定长度从上板22的底面向下方凸出，因而当上板22旋转时，能够分别与设置在底板20上的第一缓冲部32和第二缓冲部34相接触。
更具体地说，上述制动器包括当上板22旋转时，可分别与上述第一外侧缓冲器42和第二外侧缓冲器50接触的一对外侧制动器；在上板22旋转时，可分别与上述第一内侧缓冲器40和第二内侧缓冲器52相接触的内侧制动器S3。
上述一对外侧制动器包括沿一定轨道顺时针或者逆时针方向旋转，当与第一外侧缓冲器42接触时，可使上板22停止于起始位置的第一制动器S1；和上述第一制动器S1对称配置，沿着一定的轨道向顺时针或者逆时针方向旋转，当与第二外侧缓冲器50接触时，可使上板22停止于起始位置的第二制动器S2。
第一制动器S1和第二制动器S2具有，当上板22从起始位置向顺时针或逆时针方向旋转90度之后再返回至起始位置时，使其停止于零度位置(原位)的功能。
即，当上板22停止在起始位置(如图6所示位置)时，第二制动器S2与第二外侧缓冲器50接触，由此能够保持停止状态。此时，由于第一外侧缓冲器42在气缸46的作用下处于向内侧移动的状态，因而第一制动器S1可旋转至第一外侧缓冲器42的位置。
而且，当上板22向顺时针或逆时针方向旋转90度之后，再返回至起始位置时，第二制动器S2重新与第二外侧缓冲器50接触。由此，上板22能够被第二制动器S2固定在起始位置即零度位置。
另外，上述内侧制动器S3沿一定轨道顺时针或者逆时针方向旋转，并与第一内侧缓冲器40和第二内侧缓冲器52交替接触，由此能够将上板22固定在旋转90度后的位置。
即，当上板22从起始位置逆时针方向旋转90度时，内侧制动器S3则与第一内侧缓冲器40接触，从而固定上板22；当从起始位置顺时针方向旋转90度时，所述内侧制动器S3则与第二内侧缓冲器52接触，从而固定上板22。
因此，上板22能够被内侧制动器S3固定在向逆时针或者顺时针方向旋转90度后的位置上。
如上所述，上板22可通过旋转限制装置，相对于底板20旋转一定角度(最好是向顺时针或者逆时针方向旋转90度)，或者返回至起始位置。
以下，参照附图更详细地说明根据本发明实施例的基板输送装置的工作过程。
如图6所示，当上板22在承载基板的状态下处于起始位置时，第一制动器S1处于第一外侧缓冲器42的位置上，而第二制动器S2则处于和第二外侧缓冲器50接触的状态。
此时，上述第一外侧缓冲器42已在气缸46的作用下移到内侧，因此可防止与第一制动器S1发生干扰。
在此状态下，如图7所示，连接部件30的气缸组装体36被驱动，让上板22在承载基板(G)的状态下沿着箭头方向逆时针旋转。
随着上板22的逆时针旋转，内侧制动器S3则向第一内侧缓冲器40方向接近。
此时，第一制动器S1处于已脱离第一外侧缓冲器42位置的状态，而第二制动器S2则接近基准线C/L。
在此状态下，向逆时针方向进一步旋转，则如图8所示，上板22从起始位置向逆时针方向旋转90度。
即，内侧制动器S3与第一内侧缓冲器40接触，从而使上板22旋转90度之后停止。此时，第一制动器S1和第二制动器S2位于基准线C/L上。
相反地，当上板22从逆时针方向旋转90度的位置返回至起始位置时，连接部件30的气缸组装体36向反方向驱动，从而使上板22向顺时针方向旋转。
而且，第二制动器S2旋转至第二外侧缓冲器50并与之接触，从而能够使上板22固定在起始位置。
此时，第一制动器S1移向第一外侧缓冲器42的位置，而所述第一外侧缓冲器42已在气缸46的作用下移到内侧，因此可防止与第一制动器S1发生干扰。
如此，上板22通过从起始位置向逆时针方向旋转90度，或者从逆时针方向返回至起始位置，转换基板G的输送方向。
另外，如图6所示，当上板22从起始位置顺时针方向旋转90度时，内侧制动器S3开始向顺时针方向旋转，从而向第二外侧缓冲器50方向移动。
此时，第二缓冲器50在气缸58的作用下移向内侧，由此可防止与将到达第二外侧缓冲器50位置上的内侧制动器S3发生干扰。
当上板22向顺时针方向进一步旋转时，内侧制动器S3与第二内侧缓冲器52相接触。
因此，上板22能够被固定在向顺时针方向旋转90度后的位置上。
相反地，当上板22从此位置返回至起始位置时，第一制动器S1旋转至第一外侧缓冲器42并与之接触，由此让上板22被固定在起始位置上。
如此，通过上板22的顺时针或逆时针旋转，能够转换基板G的输送方向。
上述说明只不过是本发明的较佳实施例，而本发明的保护范围不限于此，可在权利要求、发明内容以及附图的范围内进行各种修饰和变更，而这些也应该属于本发明的保护范围。
权利要求
1.一种基板输送装置，其特征在于包括，可滑行地安装于框架轨道上的底板；安装于上述底板的上面，并在其上面承载基板的上板；在底板上可旋转地连接上述上板的连接部件；将上述上板的旋转半径限制在一定范围内的旋转限制装置。
2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述连接部件包括安装于上述底板板面上的气缸组装体；凸出于上述气缸组装体的转轴；及从上述上板的底面向下方凸出，并通过插入于上述转轴而被固定的插入肋，其中，当上述气缸组装体驱动时，转轴随之旋转，从而带动通过插入肋被连接的上板旋转。
3.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，上述旋转限制装置包括安装于底板上面的第一缓冲部和第二缓冲部；从上述上板的底面向下方凸出，当上板旋转时有选择地与上述第一缓冲部及第二缓冲部接触，从而将上板的旋转限制在一定范围内的多个制动器。
4.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，上述第一缓冲部包括安装于内侧的第一内侧缓冲器；安装于外侧，可向内侧移动的第一外侧缓冲器；安装于上述第一内侧缓冲器的邻接位置，并与上述第一外侧缓冲器相连接，能够使第一外侧缓冲器移动的第一气缸。
5.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，上述第二缓冲部包括安装于内侧的第二内侧缓冲器；安装于外侧，可向内侧移动的第二外侧缓冲器；安装于上述第二内侧缓冲器的邻接位置，并与上述第二外侧缓冲器相连接，能够使第二外侧缓冲器移动的第二气缸。
6.根据权利要求4或5所述的基板输送装置，其特征在于，上述制动器包括在上板旋转时，有选择地与上述第一外侧缓冲器和第二外侧缓冲器相接触，从而将上板固定在起始位置上的一对外侧制动器；与上述第一内侧缓冲器和第二内侧缓冲器交替接触，从而将上板固定在90度旋转位置上的内侧制动器。
7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，上述一对外侧制动器包括可沿一定的轨道顺时针或者逆时针方向旋转，当接触第一外侧缓冲器时，使上板停止在起始位置上的第一制动器；和上述第一制动器对称配置，并沿一定的轨道顺时针或者逆时针旋转，当接触第二外侧缓冲器时，可使上板停止在起始位置上的第二制动器。
8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于当上述第一制动器经过上述第一外侧缓冲器的位置时，上述第一外侧缓冲器在气缸的作用下向内侧移动，从而可防止第一制动器与第一外侧缓冲器发生干扰；当上述第二制动器移至第二外侧缓冲器位置时，第二外侧缓冲器在气缸的作用下向内侧移动，从而可防止第二制动器与第二外侧缓冲器发生干扰。
9.一种基板处理装置，其特征在于，包括框架；可滑行地安装于框架轨道上，并在送入侧与送出侧间做往返运动，同时支撑基板并使之能够自由旋转的基板输送装置；从上述输送装置承接基板之后下降的送入侧垂直输送部；用于处理由上述送入侧垂直输送部所供给的基板的处理机组；重新将上述处理机组处理过的基板输送至上述输送装置的送出侧垂直输送部；以及设置于上述处理机组的送入侧与送出侧，并从送入侧垂直输送部承接基板后，将其输送至上述处理机组，再从处理机组承接基板后，将其输送至上述送出侧垂直输送部的输送部。
全文摘要
本发明涉及一种基板输送装置，该输送装置包括可滑行地安装于框架轨道上的底板；安装于上述底板的上面，并在其上面承载基板的上板；在底板上可旋转地连接上述上板的连接部件；将上述上板的旋转半径限制在一定范围内的旋转限制装置。
文档编号B65G37/00GK1955089SQ20061014995
公开日2007年5月2日 申请日期2006年10月19日 优先权日2005年10月24日
发明者崔万寿, 金正哲, 朴镐胤 申请人:显示器生产服务株式会社