基板移送装置的制作方法

专利名称：基板移送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于移送在制造电子组件中使用的基板的基板移送装置。
背景技术：
太阳能电池(Solar Cell)、半导体元件、显示装置等(以下，称为“电子组件”)需要通过多种工序制造。这样的制造工序包括在用于制造电子组件的基板(Substrate)上沉积导体、半导体、电介质等薄膜的沉积工序；为了将沉积的薄膜形成为规定图案而进行的蚀刻工序；去除异物等的清洗工序等。这些工序分别在不同的工艺腔室内进行。为了将在工艺腔室之间的基板移送时间等最小化而提高生产率，并且为了便于维护管理工艺腔室， 利用了工艺腔室一体化的基板处理装置。这种基板处理装置根据工艺腔室的配置形式，分为集中式和直列式。图1是集中式基板处理装置的概略图，图2是直列式基板处理装置的概略图。参照图1，集中式基板处理装置100是以移送腔室101为中心配置多个工艺腔室 102的结构。S卩，工艺腔室102围绕移送腔室101配置。参照图2，直列式的基板处理装置100是沿X轴方向长长地形成移送腔室101，而工艺腔室102沿X轴方向隔开规定间距配置。在直列式基板处理装置100中，工艺腔室102 以移送基板101为基准配置在移送腔室101的两侧(Y轴方向)。这样如图1所示的集中式的基板处理装置100和如图2所示的直列式的基板处理装置100中，在移送腔室101内设置用于移送基板(未图示)的基板移送装置103。基板移送装置103反复进行将基板装载到与工序流程所对应的工艺腔室102内， 在该工艺腔室102内的作业结束时卸载基板，之后向下一个工序流程所对应的工艺腔室 102装载的工序。基板移送装置103包括为了装载或卸载基板而支承基板的臂1031。基板移送装置103使臂1031在工艺腔室102和移送腔室101之间移动，从而执行对基板的装载工序和卸载工序。臂1031具有足够长的长度，以使整个基板能够位于工艺腔室102内部， 或整个基板能够位于工艺腔室102外部。因此，基板移送装置103整体具有相当大的尺寸。参照图1，集中式的基板处理装置100中，基板移送装置103以旋转轴为中心旋转以使臂1031朝向装载或卸载基板的工艺腔室102。因此，集中式基板处理装置100中，为了防止基板移送装置103旋转时与工艺腔室102碰撞，移送腔室101需要形成较大尺寸。当移送腔室101的尺寸变大时，臂1031也要移动较长行程(stroke)，所以基板移送装置103 也应形成为更大尺寸。这样，不仅增加用于制造基板移送装置103和移送腔室101的制造费用，还增加基板移送装置103执行对基板的装载工序和卸载工序的过程中基板的移动距离，从而存在作业时间延长的问题。参照图2，直列式的基板处理装置100中，基板移送装置100向X轴方向移动以使臂1031位于用于装载或卸载基板的工艺腔室102侧。然后，基板移送装置103以旋转轴为中心旋转，从而使臂1031朝向配置在移送腔室101两侧的工艺腔室102中的一个。因此， 在直列式的基板处理装置100，为了防止基板移送装置103旋转时与工艺腔室102碰撞，而且能够沿X轴方向移动，移送腔室101需要形成较大尺寸。当移送腔室101的尺寸变大时， 臂1031也要移动较长行程(Stroke)，所以基板移送装置103也应形成为更大尺寸。这样， 不仅增加用于制造基板移送装置103和移送腔室101的制造费用，还增加基板移送装置103 执行对基板的装载工序和卸载工序的过程中基板的移动距离，从而存在作业时间延长的问题。

发明内容
本发明是为了解决如上所述问题而提出，本发明的目的在于提供一种基板移送装置，可降低整体尺寸的同时，为了执行对基板的装载工序和卸载工序能够移动较长行程 (Stroke)0本发明涉及的基板移送装置可以包括底架，设有底部齿条；移动臂，结合有与所述底部齿条啮合的移动小齿轮，并且可移动地结合在所述底架上；驱动单元，为了转动所述移动小齿轮而移动所述移动臂；连接机构，结合有随着所述移动小齿轮的旋转而移动的连接齿条及随着所述连接齿条的移动而旋转的连接小齿轮，当所述移动臂从所述底架突出地移动时，向所述移动臂突出的方向移动而从所述移动臂突出；以及支承臂，用于支承基板， 并且结合有随着所述连接小齿轮的旋转而移动的支承齿条。当所述连接机构从所述移动臂突出地移动时，所述支承臂可以从所述连接机构向所述连接机构突出的方向突出地移动。 为了使所述连接机构和所述支承臂以所述底架为基准向第一方向和与所述第一方向相反的第二方向突出，所述驱动单元可以使所述移动臂向所述第一方向和所述第二方向移动。根据本发明的基板移送装置可以包括底架；臂机构，用于移动基板，并且包括在从所述底架突出的第一位置及相互重叠地层叠在所述底架的第二位置之间移动的多个臂 (Arm)；驱动单元，移动所述臂中的某一个，使所述臂位于所述第一位置或所述第二位置中的某一位置；以及联动机构，结合在所述臂上，并且通过所述驱动单元移动所述臂中的某一个而使其余臂联动地移动。所述联动机构可以包括多个小齿轮，用于将所述驱动单元的直线运动转换成旋转运动；以及多个齿条，与所述小齿轮啮合，将所述小齿轮的旋转运动转换成直线运动。所述驱动单元可以移动所述臂中的某一个，以使所述臂机构以所述底架为基准向第一方向和与所述第一方向相反的第二方向突出。


图1是集中式的基板处理装置的概略图。图2是直列式的基板处理装置的概略图。图3及图4是本发明涉及的基板移送装置的概略立体图。图5是本发明涉及的基板移送装置的概略侧视图。图6是本发明涉及的基板移送装置的概略分解立体图。图7及图8是用于说明本发明涉及的基板移送装置的动作关系的概念图。图9及图10是用于说明本发明涉及的辅助小齿轮的动作关系的概念图。图11是本发明涉及的第一连接小齿轮的概略立体图。图12是表示本发明涉及的引导机构的结合关系的概略主视图。图13是本发明涉及的第一游隙补偿机构和第二游隙补偿机构的概略立体图。
图14及图15是用于说明本发明涉及的第一游隙补偿机构和第二游隙补偿机构的动作关系的概念图。
具体实施例方式下面，参照附图详细说明本发明涉及的基板移送装置的优选实施例。参照图3至图5，本发明涉及的基板移送装置1包括臂机构2，用于移动基板(未图示)；联动机构3 (在图5中示出)，用于相互联动地移动所述臂机构2所具有的多个臂 (Arm)21、22、23 ；以及驱动单元4，提供用于移动所述臂机构2的驱动力。所述臂机构2结合在底架Ia上。所述基板是用于制造太阳能电池(Solar Cell)、半导体元件、显示装置等电子组件时使用。例如，所述基板可以是玻璃(Glass)基板、金属(Metal)基板、塑料 (Plastic)基板等。所述臂21、22、23可以通过所述驱动单元4和所述联动机构3从所述底架Ia突出地移动。由此，所述臂21、22、23各自可以分担实现用于执行装载工序和卸载工序的行程。 因此，本发明涉及的基板移送装置1可以使所述臂21、22、23移动较长行程(Stroke)，以便执行对所述基板的装载工序和卸载工序。所述臂21、22、23可以通过所述驱动单元4和所述联动机构3在所述底架Ia上相互重叠而层叠地移动。所以，本发明涉及的基板移送装置 1可以形成为与所述臂21、22、23实现的行程相比相对小的尺寸。因此，本发明涉及的基板移送装置1能够减小整体尺寸的同时，为了执行对基板的装载工序和卸载工序可以将所述臂机构2移动较长行程。本发明涉及的基板移送装置1由所述联动机构3来联动地移动所述臂21、22、23。 所述联动机构3可以包括分别与所述臂21、22、23结合的小齿轮(Pinion Gear)和齿条 (Rack Gear)。所述小齿轮将所述驱动单元4的直线运动转换成旋转运动，所述齿条将所述小齿轮的旋转运动转换成直线运动。由此，当所述臂21、22、23中的某一个通过所述驱动单元4进行直线运动时，所述小齿轮将直线运动转换成旋转运动，而所述齿条将所述旋转运动转换成直线运动，从而所述臂21、22、23可以相互联动而进行直线运动。这样，所述臂21、 22,23能够通过所述联动机构3联动地移动而从所述底架Ia突出，或能够通过所述联动机构3联动地移动从而在所述底架Ia上相互重叠地层叠。为了移动所述臂21、22、23可以利用带(Belt)式、线(Wire)式、滚珠丝杠(Ball screw)式、缸(Cylinder)式，但本发明涉及的基板移送装置1通过利用小齿轮和齿条的联动机构3来联动移动所述臂21、22、23，从而可获得如下的作用效果。首先，为了移动所述臂21、22、23而利用带式时，存在如下问题。对所述基板的沉积工序、蚀刻工序等是在大致80°C 180°C的高温下进行。即，用于执行所述沉积工序、蚀刻工序等的工艺腔室(未图示)内部被设定成相当高的高温环境，根据工序类型所述各工艺腔室可以设定为不同温度。所以，当用于移动所述臂21、22、23的带子在所述工艺腔室之间移动时，随着温度变化所述带子进行伸缩。因此，根据所述工艺腔室内部的温度、所述臂 21、22、23在所述工艺腔室中滞留的时间等，所述带子的伸缩程度不同，而且根据所述带子的伸缩程度，所述臂21、22、23的移动距离也变化。因此，利用带式的臂21、22、23存在不能将所述基板移动恒定距离的问题。为了移动所述臂21、22、23而利用线式时，也存在如下问题，由于所述线根据温度变化发生收缩、膨胀等引起的变形，所以不能将所述基板移动恒定距离。因此，为了移动所述臂21、22、23而利用带式或线式时，存在降低所述装载工序和卸载工序的准确性的问题。与此不同，本发明涉及的基板移送装置1采用了利用小齿轮和齿条的联动机构3， 所以即使执行对所述基板的装载工序和卸载工序的过程中温度发生变化，也能够将所述基板移动恒定距离。因此，本发明涉及的基板移送装置1能够提高所述装载工序和卸载工序的准确性。其次，为了移动所述臂21、22、23而利用滚珠丝杠式时，需要在每个所述臂21、22、 23上结合滚珠丝杠的同时，要具备用于旋转所述滚珠丝杠的电机。即，需要与所述臂21、 22,23的数量相当的多个电机。由此，材料费用增加的同时，存在执行所述装载工序和卸载工序的过程中难以控制所述电机的问题。而且，所述电机分别与所述臂21、22、23结合时， 增加所述臂21、22、23的重量，从而存在执行所述装载工序和卸载工序的过程中所述臂21、
22、23发生下垂的问题。与此相反，本发明涉及的基板移送装置1通过利用小齿轮和齿条的联动机构3来联动移动所述臂21、22、23，因此能够利用一个驱动单元4来移动所述臂21、22、23，从而能够降低材料费的同时，在执行所述装载工序和卸载工序的过程中可便于控制所述臂21、22、
23。而且，本发明涉及的基板移送装置1可减轻所述臂21、22、23的重量，从而能够防止在执行所述装载工序和卸载工序的过程中所述臂21、22、23发生下垂的问题。其次，为了移动所述臂21、22、23而利用缸式时，需要在每个所述臂21、22、23上结合缸体。由此，材料费增加的同时，存在在执行所述装载工序和卸载工序的过程中难以控制所述缸体的问题。而且，通过所述缸体分别与所述臂21、22、23结合，可增加所述臂21、22、 23具有的重量，从而存在在执行所述装载工序和卸载工序的过程中所述臂21、22、23可能发生下垂的问题。与此不同，本发明涉及的基板移送装置1通过利用小齿轮和齿条的联动机构3来联动移动所述臂21、22、23，因此能够利用一个驱动单元4来移动所述臂21、22、23，从而能够降低材料费用的同时，在执行所述装载工序和卸载工序的过程中可便于控制所述臂21、 22、23。而且，本发明涉及的基板移送装置1可减轻所述臂21、22、23具有的重量，从而能够防止在执行所述装载工序和卸载工序的过程中所述臂21、22、23发生下垂的问题。下面参照附图详细说明所述臂机构2、所述联动机构3以及所述驱动单元4的优选实施例。参照图3至图5，所述臂机构2包括移动臂21、连接机构22以及支承臂23。所述移动臂21可移动地结合在所述底架Ia上。以图5为基准时，所述移动臂21 位于所述底架Ia的上侧，所述连接机构22位于所述移动臂21的上侧，所述支承臂23位于所述连接机构22的上侧。如图4所示，所述移动臂21、所述连接机构22以及所述支承臂 23能够以从所述底架Ia突出的方式移动。所述连接机构22可以从所述移动臂21向所述移动臂21从所述底架Ia突出的方向突出地移动。所述支承臂23可以从所述连接机构22 向所述移动臂21从所述底架Ia突出的方向突出地移动。所以，所述移动臂21、所述连接机构22以及所述支承臂23能够分担实现用于执行所述装载工序和卸载工序的行程。因此， 本发明涉及的基板移送装置1为了执行对所述基板的所述装载工序和卸载工序，能够使所述移动臂21、所述连接机构22以及所述支承臂23移动较长行程。
如图3及5所示，所述移动臂21、所述连接机构22以及所述支承臂23可相互重叠而层叠位于所述底架Ia上。所以，与所述移动臂21、所述连接机构22以及所述支承臂23 所实现的行程相比，本发明涉及的基板移送装置1可以形成为较小的尺寸。因此，本发明涉及的基板移送装置1可减小整体尺寸的同时，能够为了执行对基板的装载工序和卸载工序将所述臂机构2移动较长行程。由此，能够减小基板处理装置(未图示)中设置本发明涉及的基板移送装置1的移送腔室(未图示)的尺寸。因此，本发明涉及的基板移送装置1 不仅能够降低用于制造移送腔室的制造费用，还能够缩短在执行对所述基板的装载工序和卸载工序的过程中所述基板的移动距离，从而缩短作业时间。本发明涉及的基板移送装置 1均可适用于集中式基板处理装置(未图示)和直列式基板处理装置(未图示)。所述移动臂21可以向第一方向(A箭头方向)和与所述第一方向相反的第二方向 (B箭头方向)移动。所述移动臂21可以从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。当所述移动臂21从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动时，所述连接机构 22从所述移动臂21向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。而且，所述支承臂23从所述连接机构22向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。即，随着所述移动臂21向所述第一方向(A箭头方向)移动，所述连接机构22及所述支承臂23从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。所述移动臂21可以从所述底架Ia向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。当所述移动臂21从所述底架Ia向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动时，所述连接机构 22从所述移动臂21向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。而且，所述支承臂23从所述连接机构22向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。即，随着所述移动臂21向所述第二方向(B箭头方向)的移动，所述连接机构22及所述支承臂23从所述底架Ia向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。这样，所述连接机构22及所述支承臂23可以以所述底架Ia为基准，沿着所述移动臂21的移动方向向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)中的任一方向突出地移动。因此，当本发明涉及的基板移送装置1适用于直列式基板处理装置时，本发明涉及的基板移送装置1也不必旋转即可执行对于配置在移送腔室两侧的工艺腔室的装载工序和卸载工序。所以，本发明涉及的基板移送装置1所适用的直列式基板处理装置， 不必在所述移送腔室中确保所述基板移送装置1旋转所需的空间，从而进一步减小所述移送腔室的尺寸，还可以缩短执行所述装载工序和卸载工序所需的作业时间。所述移动臂21整体可以形成为矩形板状。所述底架Ia可以形成为与所述移动臂 21的尺寸大致相同，或者比所述移动臂21的尺寸大。所述底架Ia整体可以形成为矩形板状。参照图3至图5，所述连接机构22位于所述移动臂21与所述支承臂23之间。所述连接机构22可移动地结合在所述移动臂21上。在所述连接机构22上可移送地结合有所述支承臂23。如图4所示，所述连接机构22可以从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。如图5所示，所述连接机构22可以移动为，在所述底架Ia上相互重叠而层叠地位于所述移动臂21和所述支承臂23之间。参照图3至图5，所述连接机构22可以包括多个连接臂221、222。所述连接臂221、222可以通过所述联动机构3相互联动地移动。例如，所述连接机构22可以包括第一连接臂221及第二连接臂222。所述第一连接臂221可移动地结合在所述移动臂21上。所述第一连接臂221可以通过所述联动机构3而随着所述移动臂21的移动而联动移动。当所述移动臂21从所述底架Ia突出地移动时，所述第一连接臂221从所述移动臂21向所述移动臂21突出的方向突出地移动。所述第二连接臂222设在所述第一连接臂221和所述支承臂23之间。所述第二连接臂222与所述第一连接臂221可移动地结合。所述第二连接臂 222可以通过所述联动机构3而随着所述第一连接臂221的移动而联动移动。当所述第一连接臂221从所述移动臂21突出地移动时，所述第二连接臂222从所述第一连接臂221向所述第一连接臂221突出的方向突出地移动。所述支承臂23可移动地结合在所述第二连接臂222。所述支承臂23可以通过所述联动机构3而随着所述第二连接臂222的移动而联动移动。当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动时，所述支承臂23从所述第二连接臂222向所述第二连接臂222突出的方向突出地移动。虽然未图示，所述连接机构22也可以包括一个连接臂221。此时，所述连接臂221 面向所述底架Ia的一面可以与所述移动臂21可移动地结合。所述连接臂221面向所述支承臂23的另一面上可移动地结合有所述支承臂23。虽然未图示，所述连接机构22也可以包括三个以上的连接臂221。此时，所述连接臂221可以通过所述联动机构3相互联动地移动。在所述连接臂221中位于最接近所述底架Ia的连接臂可以与所述移动臂21可移动地结合。在所述连接臂221中位于最接近所述支承臂23的连接臂可以与所述支承臂23可移动地结合。参照图5及图6，所述连接臂221、222可以分别包括两个连接架221a、221b、22h、 222b。所述连接架221a、221b、22h、222b分别形成为沿所述移动臂21的移动方向的长条状。在所述连接架221a、221b、22h、222b上分别结合有所述联动机构3。所以，所述连接架 221a、221b、22^i、222b可以通过所述联动机构3相互联动地移动。所述连接架221a、221b、 22h、222b分别在与所述移动臂21的移送方向相垂直的方向(C轴方向)隔开规定间距。 因此，能够减少所述连接臂221、222各自所具有的重量，从而能够防止所述连接臂221、222 各自重量引起的下垂现象。当所述连接臂221、222分别包括两个连接架221a、221b、22h、222b时，虽然能够减少所述连接臂221、222各自所具有的重量，但相应地降低用于支承所述支承臂23的支承力。因此，可能发生所述支承臂23下垂的现象。当所述支承臂23上支承有基板时，所述支承臂23发生下垂的可能性高。为了防止发生这种所述支承臂23下垂，在所述连接臂221、 222中至少一个可以包括用于增强支承力的加固部件22a。所述加固部件22a与所述连接臂221、222各自所具有的两个连接架221a、221b、 222a,222b连接，从而能够增强所述连接臂221、222具有的支承力。例如，所述连接机构22 包括所述第一连接臂221和所述第二连接臂222时，所述加固部件2 可以与所述第一连接臂221具有的两个连接架221a、221b连接。因此，所述加固部件2 可以增强所述第一连接臂221具有的支承力，从而能够增强用于支承所述支承臂23的第二连接臂222具有的支承力。虽然未图示，所述加固部件2 也可以仅形成在所述第二连接臂222上，也可以均形成在所述第一连接臂221和所述第二连接臂222上。所述加固部件2 可以沿所述移动臂21的移动方向形成为短于所述连接臂221、222的长度的长度。所述加固部件2 整体可以形成为矩形板状。虽然未图示，所述加固部件2 也可以追加形成在所述支承臂23上。参照图3至图5，所述支承臂23可移动地结合在所述连接机构22上。以图5为基准时，所述支承臂23位于所述连接机构22的上侧。如图4所示，所述支承臂23可以从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。所述支承臂23可以在所述底架Ia上与所述移动臂21及所述支承臂23相互重叠而层叠地移动。当所述连接机构22包括多个连接臂221、222时，所述支承臂23可移动地结合在所述连接臂221、222中位于最接近所述支承臂23的连接臂。例如，当所述连接机构22包括所述第一连接臂221和所述第二连接臂222时，所述支承臂23可以与所述第二连接臂222可移动地结合。所述支承臂23可以从所述第二连接臂222向所述第一连接臂221突出移动的方向突出地移动。参照图5及图6，所述支承臂23可以包括两个支承架23a、23b。所述支承架23a、 2 沿所述移动臂21的移动方向形成长条(Bar)状。在所述支承架23a、2!3b上可分别结合有所述联动机构3。因此，所述支承架23a、2!3b可以通过所述联动机构3相互联动地移动。 当所述第二连接臂222包括两个连接架22h、222b时，在两个连接架22h、222b上可移动地分别结合有所述支承架23a、23b。所述支承架23a、2!3b分别在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向)隔开规定间距。因此，能够减少所述支承臂23具有的重量，从而能够防止所述支承臂23的重量引起的下垂。所述支承臂23可以支承所述基板。以图5为基准时，所述基板被支承在所述支承臂23的上侧。所述支承臂23可以包括用于支承所述基板的支承部件231。如图4的放大图所示，所述支承部件231整体可以形成为圆盘状。所述支承部件231可以包括槽2311， 形成在中央部分；支承面2312，由所述槽2311形成为环形。所述基板被所述支承面2312接触支承。因此，所述支承臂23通过所述槽2311减少所述支承部件231与所述基板接触的面积，从而降低所述基板被损伤的机会，并且可以通过所述支承面2312用足够的支承力支承所述基板。所述槽2311可以形成为圆盘状。所述支承面2312可以形成为圆环状。所述支承臂23也可以包括多个所述支承部件231。此时，所述支承部件231可以沿着所述移动臂21的移动方向隔开规定间距设置多个。参照图5至图8，所述联动机构3可以相互联动地移动所述臂21、22、23。所述联动机构3可以与所述臂机构2结合。所述联动机构3包括多个小齿轮及多个齿条。当所述臂21、22、23中的某一个通过所述驱动单元4移动时，所述小齿轮将直线运动转换成旋转运动，所述齿条将所述小齿轮的旋转运动转换成直线运动。由此，所述臂21、22、23可以相互联动地移动。所述小齿轮分别以所述移动臂21的移动方向为基准，能够以位于各个所述臂 21、22、23的中间部分的方式与所述臂21、22、23结合。所述联动机构3可以包括底部齿条31，与所述底架Ia结合；移动小齿轮32，与所述移动臂21结合；连接齿条33和连接小齿轮34，与所述连接机构22结合；以及支承齿条 35，与所述支承臂23结合。所述底部齿条31设在所述底架Ia的面向所述移动臂21的面上。以图5为基准时，所述底部齿条31设在所述底架Ia的上面。所述底部齿条31可以沿所述移动臂21的移送方向形成为与所述底架Ia具有的长度相应的长度。所述联动机构3也可以包括多个底部齿条31。所述底部齿条31在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定间距设置。所述移动小齿轮32可旋转地结合在所述移动臂21上。所述移动小齿轮32与所述底部齿条31啮合地结合在所述移动臂21上。所述移动小齿轮32可以通过所述移动臂 21的移动与所述底部齿条31啮合而旋转。所述联动机构3也可以包括多个所述移动小齿轮32。例如，所述联动机构2可以包括两个移动小齿轮32。此时，所述移动小齿轮32可旋转地分别结合在所述移动臂21的两侧面上。所述移动臂21的两侧面是面向与所述移动臂 21的移动方向相垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)的两个侧面。所述联动机构3包括与所述移动小齿轮32数量相应的数量的所述底部齿条31。所述底部齿条31设在所述底架 Ia的能够与所述移动小齿轮32啮合的位置。所述移动小齿轮32可以向所述移动臂21的移动方向并以所述移动臂21的长度为基准，以位于所述移动臂21的中间部分的方式与所述移动臂21结合。所述连接齿条33与所述连接机构22结合。所述连接齿条33可以形成为沿所述移动臂21的移动方向具有与所述连接机构22的长度相应的长度。所述联动机构3也可以包括多个连接齿条33。此时，所述连接齿条33以在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定距离的方式结合在所述连接机构22上。所述连接小齿轮34可旋转地结合在所述连接机构22上。所述联动机构3也可以包括多个所述连接小齿轮；34。此时，所述连接小齿轮34可旋转地分别结合在所述连接机构22的两侧面上。所述连接机构22的两侧面是面向与所述移动臂21的移动方向相垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)的两个侧面。所述连接小齿轮34可以向所述移动臂21 的移动方向以所述连接机构22具有的长度为基准，以位于所述连接机构22的中间部分的方式与所述连接机构22结合。当所述连接机构22包括多个连接臂221、222时，所述联动机构3可以包括分别与所述连接臂221、222结合的多个连接齿条33和多个连接小齿轮34。例如，当所述连接机构 22包括所述第一连接臂221和所述第二连接臂222时，所述联动机构3可以包括第一连接齿条331、第一连接小齿轮341、第二连接齿条332、第二连接小齿轮342。所述第一连接齿条331与所述第一连接臂221结合。所述第一连接齿条331可以与所述移动小齿轮32啮合，并随着所述移动小齿轮32的旋转而移动。当所述第一连接齿条331随着所述移动小齿轮32的旋转而移动时，结合有所述第一连接齿条331的所述第一连接臂221也移动。所述第一连接齿条331设在所述第一连接臂221的面向所述移动臂21 的面上。以图5为基准时，所述第一连接齿条331设在所述第一连接臂221的底面。所述第一连接齿条331可以形成为，沿所述移动臂21的移动方向具有与所述第一连接臂221的长度相应的长度。所述联动机构3也可以包括多个第一连接齿条331。此时，所述第一连接齿条331在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定间距设置。当所述第一连接臂221包括两个连接架221a、221b时，所述第一连接齿条331分别设在所述连接架221a、221b上。所述联动机构3包括与所述移动小齿轮32数量相应的数量的所述第一连接齿条331。所述第一连接齿条331设在所述第一连接臂221 的与所述移动小齿轮32啮合的位置。所述第一连接小齿轮341可旋转地结合在所述第一连接臂221上。所述第一连接小齿轮341可以随着所述第一连接臂221的移动而旋转。所述联动机构3也可以包括多个所述第一连接小齿轮341。所述联动机构3可以包括两个第一连接小齿轮341。此时，所述第一连接小齿轮341可旋转地分别结合在所述第一连接臂221的两侧面上。所述第一连接臂221的两侧面是面向与所述移动臂21的移动方向相垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)的两个侧面。当所述第一连接臂221包括两个连接架221a、221b时，所述第一连接小齿轮341分别设在所述连接架221a、221b上。所述第一连接小齿轮341可以向所述移动臂 21的移动方向以所述第一连接臂221具有的长度为基准，以位于所述第一连接臂221的中间部分的方式与所述第一连接臂221结合。所述第二连接齿条332与所述第二连接臂222结合。所述第二连接齿条332可以与所述第一连接小齿轮341啮合，并随着所述第一连接小齿轮341的旋转而移动。当所述第二连接齿条332随着所述第一连接小齿轮341的旋转而移动时，结合有所述第二连接齿条332的所述第二连接臂222也移动。所述第二连接齿条332设在所述第二连接臂222的面向所述第一连接臂221的面上。以图5为基准时，所述第二连接齿条332设在所述第二连接臂222的底面。所述第二连接齿条332可以形成为，沿所述移动臂21的移动方向具有与所述第二连接臂222的长度相应的长度。所述联动机构3也可以包括多个第二连接齿条 332。此时，所述第二连接齿条332在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定间距设置。当所述第二连接臂222包括两个连接架22h、222b 时，所述第二连接齿条332分别设在所述连接架22h、222b上。所述联动机构3包括与所述第一连接小齿轮341数量相应的数量的所述第二连接齿条332。所述第二连接齿条332 设在所述第二连接臂222的与所述第一连接小齿轮332啮合的位置。所述第二连接小齿轮342可旋转地结合在所述第二连接臂222上。所述第二连接小齿轮342可以随着所述第二连接臂222的移动而旋转。所述联动机构3也可以包括多个所述第二连接小齿轮342。所述联动机构3可以包括两个第二连接小齿轮342。此时，所述第二连接小齿轮342可旋转地分别结合在所述第二连接臂222的两侧面上。所述第二连接臂222的两侧面是面向与所述移动臂21的移动方向相垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)的两个侧面。当所述第二连接臂222包括两个连接架22h、222b时，所述第二连接小齿轮342分别设在所述连接架22h、222b上。所述第二连接小齿轮342可以向所述移动臂 21的移动方向以所述第二连接臂222具有的长度为基准，以位于所述第二连接臂222的中间部分的方式与所述第二连接臂222结合。在图5中示出了，当所述移动臂21、所述第一连接臂221、所述第二连接臂222以及所述支承臂23在所述底架Ia上相互重叠而层叠时，所述移动小齿轮32、所述第一连接小齿轮341以及所述第二连接小齿轮342并不位于同一垂直线上的情况，但所述移动小齿轮32、所述第一连接小齿轮341以及所述第二连接小齿轮 342可以位于同一垂直线上。参照图5至图8，所述支承齿条35结合在所述支承臂23上。所述支承齿条35可以与所述第二连接小齿轮342啮合，并随着所述第二连接小齿轮342的旋转而移动。当所述支承齿条35随着所述第二连接小齿轮342的旋转而移动时，结合有所述支承齿条35的所述支承臂23也移动。所述支承齿条35设在所述支承臂23的面向所述第二连接臂222 的面上。以图5为基准时，所述支承齿条35设在所述支承臂23的底面。所述支承齿条35 可以形成为，沿所述移动臂21的移动方向具有与所述支承臂23的长度相应的长度。所述联动结构3也可以包括多个支承齿条35。此时，所述支承齿条35在与所述移动臂21的移
12动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定间距设置。当所述第二支承臂 23包括两个支承架23a、2 时，所述支承齿条35分别设在所述支承架23a、2 上。所述联动机构3包括与所述第二连接小齿轮342数量相应的数量的所述支承齿条35。所述支承齿条35设在所述支承臂23的与所述第二连接小齿轮342啮合的位置。参照图5至图8，所述联动机构3可以包括移动齿条36。所述移动齿条36结合在所述移动臂21上。所述移动齿条36与所述第一连接小齿轮341啮合。所述第一连接小齿轮341分别与所述移动齿条36和所述第二连接齿条332啮合。因此，当所述第一连接臂 221移动时，所述第一连接小齿轮341随着所述移动齿条36旋转的同时使所述第二连接齿条332移动。当所述第二连接齿条332随着所述第一连接小齿轮341的旋转而移动时，结合有所述第二连接齿条332的所述第二连接臂222也移动。所述移动齿条36设在所述移动臂21面向所述底架Ia的面的相反面上。以图5为基准时，所述移动齿条36设在所述移动臂21的上面。所述移动齿条36可以形成为沿所述移动臂21的移动方向具有与所述移动臂21的长度相应的长度。所述联动结构3也可以包括多个移动齿条36。此时，所述移动齿条36在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定间距设置。所述联动机构3包括与所述第一连接小齿轮341数量相应的数量的所述移动齿条36。所述移动齿条36设在所述移动臂21的与所述第一连接小齿轮341啮合的位置。参照图5至图8，所述联动机构3可以包括第三连接齿条333。所述第三连接齿条 333结合在所述第一连接臂221上。所述第三连接齿条333与所述第二连接小齿轮342啮合。所述第二连接小齿轮342分别与所述第三连接齿条333和所述支承齿条35啮合。因此，当所述第二连接臂222移动时，所述第二连接小齿轮342随着所述第三连接齿条333旋转的同时使所述支承齿条35移动。当所述支承齿条35随着所述第二连接小齿轮342的旋转而移动时，结合有所述支承齿条35的所述支承臂23也移动。所述第三连接齿条333设在所述第一连接臂221的设有所述第一连接齿条331的面相反的另一面上。以图5为基准时，所述第三连接齿条333设在所述第一连接臂221的上面。所述第三连接齿条333可以形成为，沿所述移动臂21的移动方向具有与所述第一连接臂221的长度相应的长度。所述联动结构3也可以包括多个第三连接齿条333。此时，所述第三连接齿条333在与所述移动臂21的移动方向垂直的方向(C轴方向，在图6中示出)相互隔开规定间距设置。所述联动机构3包括与所述第二连接小齿轮342数量相应的数量的所述第三连接齿条333。所述第三连接齿条333设在所述第一连接臂221的与所述第二连接小齿轮342啮合的位置。下面，参照图5至图8详细说明所述臂机构2与所述联动机构3的动作关系。首先，如图5所示，所述臂机构2所具有的臂21、22、23在所述底架Ia上处于相互重叠而层叠的状态。在这种状态下，所述驱动单元4(在图4中示出)向所述第一方向(A 箭头方向)移动所述臂21、22、23中的某一个。例如，所述驱动单元4可以向所述第一方向 (A箭头方向)移动所述移动臂21。其次，当所述移动臂21向所述第一方向(A箭头方向)移动时，如图7所示，所述移动臂21从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。随着所述移动臂21 的移动，所述移动小齿轮32与所述底部齿条31啮合，并沿着所述底部齿条31进行旋转。当所述移动小齿轮32随着所述底部齿条31旋转时，与所述移动小齿轮32啮合的所述第一连接齿条331向所述第一方向(A箭头方向)移动。
其次，当所述第一连接齿条331向所述第一方向(A箭头方向)移动时，如图7所示，所述第一连接臂221从所述移动臂21向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。随着所述第一连接臂221的移动，所述第一连接小齿轮341与所述移动齿条36啮合，并沿着所述移动齿条36进行旋转。当所述第一连接小齿轮341随着所述移动齿条36旋转时，与所述第一连接小齿轮341啮合的所述第二连接齿条332向所述第一方向(A箭头方向)移动。其次，当所述第二连接齿条332向所述第一方向(A箭头方向)移动时，如图7所示，所述第二连接臂222从所述第一连接臂221向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。 随着所述第二连接臂222的移动，所述第二连接小齿轮342与所述第三连接齿条333啮合， 并沿着所述第三连接齿条333进行旋转。当所述第二连接小齿轮342随着所述第三连接齿条333旋转时，与所述第二连接小齿轮342啮合的所述支承齿条35向所述第一方向(A箭头方向)移动。其次，当所述支承齿条35向所述第一方向(A箭头方向)移动时，如图7所示，所述支承臂23从所述第二连接臂222向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动。如上所述，由于所述臂21、22、23通过所述联动机构3相互联动地移动，所以可以位于从所述底架 Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出的位置。所述臂21、22、23从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动的状态下，当所述驱动单元4(在图4中示出)向所述第二方向(B箭头方向)移动所述移动臂21时，如图5所示，所述臂21、22、23可以在所述底架Ia上相互重叠而层叠地移动。而且，当所述驱动单元4(在图4中示出)向所述第二方向(B箭头方向)进一步移动所述移动臂21时，如图8所示，所述臂21、22、23可以从所述底架Ia向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。参照图5、图9及图10，所述联动机构3所具有的小齿轮32、34中至少一个可以包括第一辅助小齿轮3a (在图9中示出)和第二辅助小齿轮3b (在图9中示出)。所述第一辅助小齿轮3a和所述第二辅助小齿轮北相互连接地形成。因此，所述第一辅助小齿轮3a 和所述第二辅助小齿轮北一同旋转。所述第一辅助小齿轮3a与所述联动机构3所具有的齿条31、33、35中的第一齿条3c (在图9中示出)啮合。所述第二辅助小齿轮北与所述联动机构3所具有的齿条31、33、35中的第二齿条3d(在图9中示出)啮合。所述第一齿条 3c和所述第二齿条3d结合在不同的臂21、22、23。所述第一辅助小齿轮3a与所述第一齿条3c啮合，可以沿着所述第一齿条3c旋转。所述第二辅助小齿轮北与所述第二齿条3d 啮合，可以使所述第二齿条3d移动。如图10所示，所述第一辅助小齿轮3a具有的第一直径Dl比所述第二辅助小齿轮北具有的第二直径D2小。所以，当所述第一辅助小齿轮3a和所述第二辅助小齿轮北以规定角度R旋转时，所述第二辅助小齿轮北比所述第一辅助小齿轮3a旋转的距离Ll旋转更长距离L2。因此，与所述第一辅助小齿轮3a沿着所述第一齿条3c旋转的距离相比，所述第二辅助小齿轮北能够移动所述第二齿条3d更长距离。所以，本发明涉及的基板移送装置 1能够缩短向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)移动所述臂21、 22,23时所需的时间，从而能够缩短执行所述装载工序和卸载工序时所需的作业时间。当将所述臂21、22、23在所述底架Ia上相互重叠而层叠的方向定义为垂直方向时，所述联动机构3所具有的小齿轮32、34中包括所述第一辅助小齿轮3a和所述第二辅助小齿轮北的小齿轮32、34可以设置在水平方向。所述第一辅助小齿轮3a和所述第二辅助小齿轮北在所述垂直方向相互隔开规定距离。也可以将所述联动机构3所具有的齿条31、 33、35中与所述第一辅助小齿轮3a和所述第二辅助小齿轮北啮合的所述第一齿条3c和所述第二齿条3d设置于水平方向。可以将所述联动机构3所具有的小齿轮32、34中不包括所述第一辅助小齿轮3a和所述第二辅助小齿轮北的小齿轮32、34，如图5所示的设置于所述垂直方向，将与此啮合的齿条31、33、35也设置于所述垂直方向。例如，如图11所示，所述第一连接小齿轮331可以包括第一辅助连接小齿轮331a 及第二辅助连接小齿轮331b。所述第一辅助连接小齿轮331a和所述第二辅助连接小齿轮 331b相互连接。所述第一辅助连接小齿轮331a与所述移动齿条36啮合。所述第二辅助连接小齿轮331b与所述第二连接齿条332啮合。所述第二辅助连接小齿轮331b直径比所述第一辅助连接小齿轮331a的直径大。由此，当结合有所述第一连接小齿轮331的第一连接臂221移动时，所述第二辅助连接小齿轮331b可以比所述第一辅助连接小齿轮331a旋转的距离旋转更长距离。因此，与所述第一连接小齿轮331随着所述移动齿条36旋转的距离相比，所述第二辅助连接小齿轮331b使所述第二连接齿条332移动更长距离，从而能够增加所述第二连接臂222的移动速度。所述第一辅助连接小齿轮331a和所述第二辅助连接小齿轮331b可以设在所述水平方向。所述第一辅助连接小齿轮331a和所述第二辅助连接小齿轮331b可以在所述垂直方向相互隔开规定距离。所述移动齿条36和所述第二连接齿条332可以设成在所述水平方向相互隔开规定距离。所述移动齿条36和所述第二连接齿条332可以设成分别与所述第一辅助连接小齿轮331a和所述第二辅助连接小齿轮331b啮合的部分对置。参照图4至图8，所述驱动单元4移动所述臂21、22、23中的某一个。所述驱动单元4可以移动所述臂21、22、23中的某一个，以便使所述臂机构2以所述底架Ia为基准向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)突出。所述驱动单元4可以结合在所述移动臂21上。由此，所述驱动单元4可以移动所述移动臂21。当所述驱动单元4移动所述移动臂21时，与所述移动臂21结合的移动小齿轮32旋转。由此，所述连接机构22和所述支承臂23可以联动地移动。虽然未图示，所述驱动单元4也可以结合在所述连接机构22或所述支承臂23上。此时，所述驱动单元4可以移动所述连接机构22或所述支承臂23。所述驱动单元4向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)移动所述移动臂21。当所述驱动单元4向所述第一方向(A箭头方向)移动所述移动臂21时， 结合在所述移动臂21的移动小齿轮32向顺时针方向旋转。由此，所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23向所述第一方向(A箭头方向)移动。当所述驱动单元4向所述第二方向(B箭头方向)移动所述移动臂21时，结合有所述移动臂21的移动小齿轮32向逆时针方向旋转。由此，所述连接机构22及所述支承臂23向所述第二方向(B箭头方向) 移动。所述驱动单元4移动所述移动臂21以使所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23位于第一位置和第二位置中的某一位置。所述第一位置是所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23从所述底架Ia突出的位置。例如，所述第一位置是如图7所示的所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23从所述底架Ia向所述第一方向(A箭头方向)突出的位置，以及如图8所示，所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23 从所述底架Ia向所述第二方向(B箭头方向)突出的位置。所述第二位置是如图5所示的所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23在所述底架Ia上重叠而层叠的位置。参照图4及图6，所述驱动单元4可以是直线电机(Linear motor)。此时，所述驱动单元4包括设在所述底架Ia上的线圈机构41及结合在所述移动臂21上的移动机构 42。所述线圈机构41固定设置在所述底架Ia上。所述移动机构42可移动地设在所述底架Ia上。在所述移动机构42上设有多个永久磁铁421。所述永久磁铁421设在所述移动机构42中面向所述线圈机构41的面上。所述永久磁铁421可以沿所述移动臂21的移动方向相邻地设置。所述移动机构42可以通过作用在所述线圈机构41与所述永久磁铁421 之间的电磁力向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)移动。随着所述移动机构42的移动，结合在所述移动机构42上的移动臂21可以向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)移动。虽然未图示，所述驱动单元4也可以利用使用液压缸或气缸的缸式、使用电机、齿条和小齿轮等的齿轮式、使用电机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠式、使用电机、滑轮和带子等的带式等来移动所述移动臂21。虽然未图示，所述驱动单元4可以包括结合在所述底架 Ia上的直线运动(Linear motion)导轨及结合在所述移动机构42上的直线运动(Linear motion)块。结合在所述移动机构42上的直线运动块可移动地结合在在所述底架Ia上结合的直线运动导轨上。因此，所述移动机构42可以通过所述直线运动导轨和所述直线运动块进行直线移动。参照图4及图6，本发明涉及的基板移送装置1也可以包括多个所述臂机构2。所述臂机构2可移动地分别结合在所述底架Ia上。所述臂机构2分别结合在所述驱动单元4 的两侧。因此，所述臂机构2可以通过所述驱动单元4一同移动。在所述驱动单元4上可以结合有所述臂机构4各自具有的移动臂21。所述移动臂21可分别结合在所述移动机构 42的两侧。因此，本发明涉及的基板移送装置1可获得如下的作用效果。第一，本发明涉及的基板移送装置1，当大型基板时，所述臂机构2分担支承所述基板，从而能够防止所述基板具有的重量引起的所述臂机构2下垂。第二，本发明涉及的基板移送装置1，通过一个驱动单元4来移动所述臂机构2，从而能够降低材料费用。第三，本发明涉及的基板移送装置 1，能够在执行所述装载工序和卸载工序的过程中容易控制所述臂机构2移动相同距离。参照图12，本发明涉及的基板移送装置1可以包括多个引导机构5。所述引导机构5分别引导所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23进行直线移动。所述引导机构5可以沿着所述移动臂21、所述连接机构22及所述支承臂23的移动方向长长地形成。本发明涉及的基板移送装置1可以包括第一引导机构51、第二引导机构52、第三引导机构53及第四引导机构M。所述第一引导机构51位于所述底架Ia和所述移动臂21之间。所述第一引导机构51结合在所述底架Ia上。所述移动臂21可移动地结合在第一引导机构51上。所述第一引导机构51引导所述移动臂21进行直线移动。本发明涉及的基板移送装置1也可以包括多个所述第一引导机构51。所述第一引导机构51可以是直线运动导轨。所述第二引导机构52位于所述移动臂21和所述第一连接臂221之间。以图12 为基准时，所述第二引导机构52结合在所述第一连接臂221的底面，并且与所述移动臂21的上面可移动地结合。所述第二引导机构52引导所述第一连接臂221进行直线移动。当所述第一连接臂221从所述移动臂21突出地移动时，所述第二引导机构52也从所述移动臂21突出地移动。由此，所述第二引导机构52能够加强用于支承从所述移动臂21突出的第一连接臂221的支承力。本发明涉及的基板移送装置1也可以包括多个所述第二引导机构52。所述第二引导机构52可以是直线运动导轨。虽然未图示，在所述移动臂21的上面也可以设置可移动地结合有所述第二引导机构52的直线运动块。所述第三引导机构53位于所述第一连接臂221和所述第二连接臂222之间。以图12为基准时，所述第三引导机构53结合在所述第二连接臂222的底面，并且与所述第一连接臂221的上面可移动地结合。所述第三引导机构53引导所述第二连接臂222进行直线移动。当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动时，所述第三引导机构 53也从所述第一连接臂221突出地移动。由此，所述第三引导机构53能够加强用于支承从所述第一连接臂221突出的第二连接臂222的支承力。本发明涉及的基板移送装置1也可以包括多个所述第三引导机构53。所述第三引导机构53可以是直线运动导轨。虽然未图示，在所述第一连接臂221的上面也可以设置可移动地结合有所述第三引导机构53的直线运动块。所述第四引导机构M位于所述第二连接臂222和所述支承臂23之间。以图12 为基准时，所述第四引导机构M结合在所述支承臂23的底面，并且与所述第二连接臂222 的上面可移动地结合。所述第四引导机构M引导所述支承臂23进行直线移动。当所述支承臂23从所述第二连接臂222突出地移动时，所述第四引导机构M也从所述第二连接臂 222突出地移动。由此，所述第四引导机构M能够加强用于支承从所述第二连接臂222突出的支撑臂23的支承力。本发明涉及的基板移送装置1也可以包括多个所述第四引导机构M。所述第四引导机构讨可以是直线运动导轨。虽然未图示，在所述第二连接臂222的上面也可以设置可移动地结合有所述第四引导机构M的直线运动块。参照图5、图13至图15，本发明涉及的基板移送装置1可以包括第一游隙补偿机构6。当所述支承臂23从所述连接机构22突出地移动时，所述第一游隙补偿机构 6能够防止在所述支承齿条35及与所述支承齿条啮合的连接小齿轮34之间产生游隙 (Backlash)。游隙(Backlash)是指当一对齿轮啮合时齿面之间产生的缝隙。一对齿轮顺利咬合旋转需要规定的游隙，当所述支承臂23从所述连接机构22突出地移动后，游隙可能导致所述支承臂23因振动等而晃动。因此，所述支承臂23从所述连接机构22突出地移动后，游隙可能成为降低所述装载工序和卸载工序的准确性的原因。所述第一游隙补偿机构6 防止所述支承臂23从所述连接机构22突出地移动后在所述支承齿条35及与所述支承齿条35啮合的连接小齿轮34之间产生游隙(Backlash)，从而能够防止所述支承臂23由于振动等原因晃动，由此能够提高所述装载工序和卸载工序的准确性。当所述连接机构22包括所述第一连接臂221和所述第二连接臂222时，所述第一游隙补偿机构6能够防止在所述支承齿条35及所述第二连接小齿轮342之间产生游隙。当所述支承臂23从所述第二连接臂222突出地移动时，在与所述支承臂23从所述第二连接臂222突出的方向相反的方向侧，所述支承齿条35和所述第二连接小齿轮342之间可能产生游隙。因此，所述第一游隙补偿机构6使所述支承臂23向与所述支承臂23从所述第二连接臂222突出的方向相反的方向移动，从而能够防止在所述支承齿条35及所述第二连接小齿轮342之间产生游隙。参照图5及图14，所述第一游隙补偿机构6可以包括第一外罩61、第一移动部件 62、第一弹性部件63及第一止动件64。所述第一外罩61结合在所述连接机构22上。当所述连接机构22包括所述第一连接臂221和所述第二连接臂222时，所述第一外罩61可结合在所述第二连接臂222上。 所述第一外罩61整体可以形成为长方体状。所述第一移动部件62与所述第一外罩61可移动地结合。所述第一移动部件62 的一端和另一端以所述第一外罩61为基准位于所述第一外罩61的外侧。所述第一移动部件62的一端和另一端之间的部分插入在所述第一外罩61内。所述第一外罩61包括用于插入所述第一移动部件62的贯穿孔(未图示)。所述第一移动部件62的一端和另一端的尺寸比在所述第一外罩61内形成的贯穿孔大。所述第一弹性部件63的一侧被所述第一外罩61支承，另一侧被所述第一移动部件62支承。由此，所述第一移动部件62可以通过所述第一弹性部件63进行弹性移动。所述第一弹性部件63可以是弹簧。所述第一止动件64结合在所述支承臂23上。当所述支承臂23从所述第二连接臂222突出地移动时，所述第一止动件64移动并接近所述第一移动部件62并与所述第一移动部件62接触。在此过程中，所述第一止动件64可以向所述支承臂23从所述第二连接臂222突出的方向推压所述第一移动部件62，从而压缩所述第一弹性部件63。当所述支承臂23从所述第二连接臂222突出移动结束了时，所述第一弹性部件63由于恢复力而被拉伸，从而将所述第一移动部件62向与所述支承臂23从所述第二连接臂222突出的方向相反的方向推出。由此，所述第一止动件64被所述第一移动部件62推压而向与所述支承臂 23从所述第二连接臂222突出的方向相反的方向移动。因此，当所述支承臂23从所述第二连接臂222突出地移动时，所述第一游隙补偿机构6使所述支承臂23向与所述支承臂23 从所述第二连接臂222突出的方向相反的方向移动，从而能够防止在所述支承齿条35及所述第二连接小齿轮342之间产生游隙。参照图5、图14及图15，所述支承臂23可以从所述第二连接臂222向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。因此，本发明涉及的基板移送装置1可以包括两个第一游隙补偿机构6、6'。任一第一游隙补偿机构6，如图14所示， 当所述支承臂23从所述第二连接臂222向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动后，将所述支承臂23向所述第二方向(B箭头方向)移动规定间距。由此，防止在所述支承齿条 35及所述第二连接小齿轮342之间产生游隙。另一个第一游隙补偿机构6'，如图15所示， 当所述支承臂23从所述第二连接臂222向所述第二方向(B箭头方向)突出地移动后，将所述支承臂23向所述第一方向(A箭头方向)移动规定间距。由此，防止在所述支承齿条 35及所述第二连接小齿轮342之间产生游隙。所述第一游隙补偿机构6、6'相互隔开规定间距设置。所述第一游隙补偿机构 6,6'分别包括所述第一外罩61、61'、所述第一移动部件62、62'、所述第一弹性部件63、 63'以及第一止动件64、64'。所述第一游隙补偿机构6、6'设置成使所述第一移动部件 62,62'及所述第一止动件64、64'位于相对称的方向。
参照图5、图13至图15，本发明涉及的基板移送装置1可以包括第二游隙补偿机构7。当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动时，所述第二游隙补偿机构7能够防止在所述第二连接齿条332及与所述第一连接小齿轮341之间产生游隙 (Backlash)。因此，本发明涉及的基板移送装置1能够防止所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动后，所述第二连接臂222由于振动等原因晃动，从而能够提高所述装载工序和卸载工序的准确性。当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动时，在与所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出的方向相反的方向侧，所述第二连接齿条332和所述第一连接小齿轮341之间可能产生游隙。因此，所述第二游隙补偿机构7使所述第二连接臂 222向与所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出的方向相反的方向移动，从而能够防止在所述第二连接齿条332和所述第一连接小齿轮341之间产生游隙。参照图5及图14，所述第二游隙补偿机构7可以包括第二外罩71、第二移动部件 72、第二弹性部件73及第二止动件74。所述第二外罩71结合在所述第二连接臂222上。所述第二外罩71整体可以形成为长方体状。所述第二移动部件72与所述第二外罩71可移动地结合。所述第二移动部件72 的一端和另一端以所述第二外罩71为基准位于所述第二外罩71的外侧。所述第二移动部件72的一端和另一端之间的部分插入在所述第二外罩71内。所述第二外罩71包括用于插入所述第二移动部件72的贯穿孔(未图示)。所述第二移动部件72的一端和另一端的尺寸比在所述第二外罩71内形成的贯穿孔大。所述第二弹性部件73的一侧被所述第二外罩71支承，另一侧被所述第二移动部件72支承。由此，所述第二移动部件72可以通过所述第二弹性部件73进行弹性移动。所述第二弹性部件73可以是弹簧。所述第二止动件74结合在所述第一连接臂221上。当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动时，所述第二移动部件72移动接近所述第二止动件74并与所述第二止动件74接触。在此过程中，所述第二外罩71可以向所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出的方向推压所述第二弹性部件72，从而压缩所述第二弹性部件73。 当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出移动结束了时，所述第二弹性部件73由于恢复力而被拉伸并将所述第二外罩71向与所述第二连接臂222从所述第一连接臂221 突出的方向相反的方向推出。由此，所述第二连接臂222向与所述第一连接臂221突出的方向相反的方向移动。因此，当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出地移动时， 所述第二游隙补偿机构7使所述第二连接臂222向与所述第二连接臂222从所述第一连接臂221突出的方向相反的方向移动，从而能够防止在所述第二连接齿条332及所述第一连接小齿轮341之间产生游隙。参照图5、图14及图15，所述第二连接臂222可以从所述第一连接臂221向所述第一方向(A箭头方向)和所述第二方向(B箭头方向)突出地移动。因此，本发明涉及的基板移送装置1可以包括两个第二游隙补偿机构7、7'。任一第二游隙补偿机构7，如图14 所示，当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221向所述第一方向(A箭头方向)突出地移动后，将所述第二连接臂222向所述第二方向(B箭头方向)移动规定间距。由此，防止在所述第二连接齿条332和所述第一连接小齿轮341之间产生游隙。另一个第二游隙补偿机构7'，如图15所示，当所述第二连接臂222从所述第一连接臂221向所述第二方向(B 箭头方向)突出地移动后，将所述第二连接臂222向所述第一方向(A箭头方向)移动规定间距。由此，防止在所述第二连接齿条332和所述第一连接小齿轮341之间产生游隙。所述第二游隙补偿机构7、7'相互隔开规定间距设置。所述第二游隙补偿机构 7、7'分别包括所述第二外罩71、71'、所述第二移动部件72、72'、所述第二弹性部件73、 73'以及第二止动件74、74'。所述第二游隙补偿机构7、7'设置成使所述第二移动部件 72,72'及所述第二止动件74、74'位于相对称方向。参照图5及图13至图15，所述第一游隙补偿机构6所具有的第一外罩6和所述第二游隙补偿机构7'所具有的第二外罩7'也可以形成为一体。而且，所述第一游隙补偿机构6'所具有的第一外罩6'和所述第二游隙补偿机构7所具有的第二外罩7也可以形成为一体。在图14及图15中示出了所述第一游隙补偿机构6、6'和所述第二游隙补偿机构 7,7'在所述垂直方向上并列设置的情况，但如图13所示，所述第一游隙补偿机构6、6'和所述第二游隙补偿机构7、7'也可以在所述水平方向上并列设置。如上所述，本发明能够减小整体大小的同时，也能够实现对基板执行装载工序和卸载工序时移动较长行程，从而能够降低材料费用的同时缩短执行装载工序和卸载工序时所需的时间。而且，本发明由于利用了小齿轮和齿条，所以即使在执行装载工序和卸载工序的过程中发生温度变化，也能够将基板移动确切距离，从而提高装载工序和卸载工序的准确性。以上说明的本发明并不限定于上述的实施例及附图，对于本发明所属技术领域的技术人员来说，在不脱离本发明技术思想的范围内可以进行多种替换、变形及变更。
权利要求
1.一种基板移送装置，其特征在于，包括 底架，设有底部齿条；移动臂，结合有与所述底部齿条啮合的移动小齿轮，并且可移动地结合在所述底架上；驱动单元，为了转动所述移动小齿轮而移动所述移动臂；连接机构，结合有随着所述移动小齿轮的旋转而移动的连接齿条及随着所述连接齿条的移动而旋转的连接小齿轮，当所述移动臂从所述底架突出地移动时，从所述移动臂向所述移动臂突出的方向突出地移动；以及支承臂，用于支承基板，并且结合有随着所述连接小齿轮的旋转而移动的支承齿条； 当所述连接机构从所述移动臂突出地移动时，所述支承臂从所述连接机构向所述连接机构突出的方向突出地移动，为了使所述连接机构和所述支承臂以所述底架为基准向第一方向和与所述第一方向相反的第二方向突出，所述驱动单元使所述移动臂向所述第一方向和所述第二方向移动。
2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述驱动单元移动所述移动臂，以使所述移动臂、所述连接机构及所述支承臂位于第一位置和第二位置中的某一位置，所述移动臂、所述连接机构及所述支承臂在位于所述第一位置时从所述底架突出，而在位于所述第二位置时，在所述底架上相互重叠地层叠。
3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述驱动单元包括设在所述底架上的线圈机构及结合在所述移动臂上且设有多个永久磁铁的移动机构，所述移动臂随着所述移动机构的移动而移动，该移动机构通过作用在所述线圈机构与所述永久磁铁之间的电磁力而移动。
4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述驱动单元使所述移动臂向所述第一方向移动，从而使所述移动小齿轮向顺时针方向旋转，而且使所述移动臂向所述第二方向移动，从而使所述移动小齿轮向逆时针方向旋转；所述连接机构随着所述连接齿条的移动而移动； 所述支承臂随着所述支承齿条的移动而移动。
5.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述连接机构包括设在所述移动臂与所述支承臂之间的第一连接臂，及设在所述第一连接臂和所述支承臂之间的第二连接臂；在所述第一连接臂上结合有与所述移动小齿轮啮合并随着所述移动小齿轮的旋转而移动的第一连接齿条，及随着所述第一连接臂的移动而旋转的第一连接小齿轮；在所述第二连接臂上结合有与所述第一连接小齿轮啮合并随着所述第一连接小齿轮的旋转而移动的第二连接齿条，及随着所述第二连接臂的移动而旋转的第二连接小齿轮； 所述支承齿条与所述第二连接小齿轮啮合并随着所述第二连接小齿轮的旋转而移动。
6.根据权利要求5所述的基板移送装置，其特征在于，在所述移动臂上结合有与所述第一连接小齿轮啮合的移动齿条，所述第一连接小齿轮包括与所述移动齿条啮合的第一辅助连接小齿轮，及与所述第一辅助连接小齿轮连接并与所述第二连接齿条啮合的第二辅助连接小齿轮； 所述第二辅助连接小齿轮的直径比所述第一辅助连接小齿轮的直径大。
7.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，包括第一游隙补偿机构，用于防止在所述支承齿条和与所述支承齿条啮合的连接小齿轮之间产生游隙，当所述支承臂从所述连接机构突出地移动后，所述第一游隙补偿机构使所述支承臂向所述支承臂从所述连接机构突出的方向的相反方向移动。
8.根据权利要求7所述的基板移送装置，其特征在于，所述第一游隙补偿机构包括 第一外罩，结合在所述连接机构；第一移动部件，可移动地结合在所述第一外罩上；第一弹性部件，一侧被所述第一外罩支承，另一侧被所述第一移动部件支承，以使所述第一移动部件弹性移动；以及第一止动件，结合在所述支承臂上，当所述支承臂从所述连接机构突出地移动时，与所述第一移动部件接触，以使所述第一移动部件向与所述支承臂突出的方向相反的方向移动。
9.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述连接机构包括设在所述移动臂与所述支承臂之间的多个连接臂， 所述连接臂中至少一个包括加强部件，用于增强支承力以防止从所述底架突出地移动的支承臂下垂。
10.一种基板移送装置，其特征在于，包括 底架；臂机构，用于移动基板，并且包括在从所述底架突出的第一位置及相互重叠地层叠在所述底架上的第二位置之间移动的多个臂；驱动单元，移动所述臂中的某一个，以使所述臂位于所述第一位置或所述第二位置中的某一位置；以及联动机构，结合在所述臂上，并且通过所述驱动单元移动所述臂中的某一个而使其余臂联动地移动；所述联动机构包括多个小齿轮，用于将所述驱动单元的直线运动转换成旋转运动； 以及多个齿条，与所述小齿轮啮合，将所述小齿轮的旋转运动转换成直线运动，所述驱动单元移动所述臂中的某一个，以使所述臂机构以所述底架为基准向第一方向和与所述第一方向相反的第二方向突出。
11.根据权利要求10所述的基板移送装置，其特征在于，所述小齿轮中至少一个包括具有第一直径的第一辅助小齿轮及与所述第一辅助小齿轮连接的第二辅助小齿轮，所述第二辅助小齿轮具有比所述第一直径大的第二直径。
12.根据权利要求10所述的基板移送装置，其特征在于， 包括多个所述臂机构，所述臂机构分别结合在所述驱动单元的两侧，并通过所述驱动单元一同移动。
全文摘要
本发明涉及基板移送装置，包括底架；臂机构，包括多个臂；驱动单元，移动所述臂中的某一个；联动机构，包括多个小齿轮和多个齿条，所述小齿轮为了使所述臂联动地移动而将所述驱动单元的直线运动转换成旋转运动，所述齿条与所述小齿轮啮合，并将所述小齿轮的旋转运动转换成直线运动。根据本发明，能够减小整体尺寸的同时实施用于执行对基板的装载工序和卸载工序而移动较长行程，通过利用小齿轮和齿条，即使在执行对基板的装载工序和卸载工序的过程中温度发上变化也能够将基板移动精确距离。
文档编号B65G49/07GK102556665SQ20111038515
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月28日 优先权日2010年11月26日
发明者裵光明, 郑贤应, 金孝元, 金玄东 申请人:未来产业株式会社