一种硅片盒充气口以及充气装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种硅片盒充气口，包括充气管道、弹簧以及外壳。所述充气管道穿过所述外壳，所述弹性元件设置于所述外壳与充气管道之间，且沿所述充气管道的轴向伸缩。根据本实用新型的另一面，还提供了一种充气装置，包括所述硅片盒充气口以及与硅片盒充气口相连接的充气管道。本实用新型不仅避免了在操作过程中引入外界杂质，而且提高了充气效率，节省人力财力。同时，这种硅片盒充气口以及充气装置，结构简单，易于实现。
【专利说明】一种硅片盒充气口以及充气装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造【技术领域】，特别涉及一种硅片盒充气口以及充气装置。
【背景技术】
[0002]随着人类科学技术的高度快速发展，现代高科技制造技术达到了空前状态。而在其发展过程中，使用频率最高的当然是半导体。由于半导体制造工艺变得越来越复杂，且大多用于集成方面，所以半导体生产工艺的复杂性和器件的集成性使得半导体对于环境的敏感度越来越高。
[0003]大多数半导体生产商选择硅片盒用于承载生产出来的硅片，如果方式得当，可以确保硅片在运输和储存的过程中不被损坏和污染，并使后续清洁和处理硅片的过程变得非常方便。由于硅片用作生产的频繁性，生产工艺的复杂性以及所生产器件的集成性，导致硅片对硅片盒内部环境的要求也不断提高。这可以通过对硅片盒内部填充惰性气体，例如高纯度氮气，使硅片盒的内部环境得以改善。不仅避免外界杂质进入，在提高硅片保存时间的同时，也不会对硅片造成损坏。然而目前半导体工厂所使用的高纯惰性气体填充装置全部采用手动操作完成，不仅充气效率低，在操作过程中易发生漏气引入杂质，而且容易发生错误操作导致硅片盒以及硅片的损坏。
【发明内容】
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片盒充气口以及充气装置，以解决手动操作装置充气效率低、容易引入外界杂质以及其他不可避免的损坏的问题。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]一种硅片盒充气口，其特征在于，包括充气管道、弹性元件以及外壳，所述充气管道穿过所述外壳，所述弹性元件设置于所述外壳与充气管道之间，且沿所述充气管道的轴向伸缩。
[0007]可选的，在上述的娃片盒充气口中，所述外壳包括第一外壳以及与所述第一外壳连接的第二外壳。
[0008]可选的，在上述的硅片盒充气口中，所述第一外壳的一端具有一圆孔，其尺寸与所述充气管道的外径相匹配；所述第一外壳的另一端为敞口，所述敞口的外壁设置有外螺纹。
[0009]可选的,在上述的娃片盒充气口中，所述第二外壳的一端具有一圆孔，其尺寸与所述充气管道的外径相匹配；所述第二外壳的另一端为敞口，所述敞口内壁设置有内螺纹；所述第二外壳的内螺纹与所述第一外壳的外螺纹相匹配。
[0010]可选的，在上述的硅片盒充气口中，所述充气管道的一端作为充气嘴，另一端作为进气接头。
[0011]可选的，在上述的硅片盒充气口中，所述充气管道的外壁固定连接一弹性元件限位卡口，所述弹性元件限位卡口靠近所述充气嘴的位置。[0012]可选的，在上述的硅片盒充气口中，所述充气嘴与一硅片盒进气嘴相匹配，所述充气嘴外壁具有一削角度。
[0013]另外，根据本实用新型的另一面，还提供了一种充气装置，所述充气装置包括所述的硅片盒充气口以及与所述硅片盒充气口的进气接头相连接的进气管道。
[0014]本实用新型所提供的硅片盒充气口以及充气装置具有如下有益效果:
[0015]1.本实用新型提供的硅片盒充气口，在所述外壳与充气管道之间设置有弹性元件，使硅片盒充气口具有自适应功能，一方面，保证在充气过程中避免引入外界杂质，提高硅片保存时间；另一方面，这种具有自适应功能的硅片盒充气口可提高充气效率，节省人力财力。
[0016]2.本实用新型提供的硅片盒充气口，所述充气管道两端分别连接充气嘴和进气接头，所述充气嘴外侧的所述充气管道上具有一削角度，可以保证充气嘴与硅片盒进气嘴相匹配，连接吻合。
[0017]3.本实用新型提供的硅片盒充气口以及充气装置，结构简单，易于实现。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]本实用新型的硅片盒充气口由以下的实施例及附图给出。
[0019]图1是本实用新型实施例的硅片盒充气口的结构示意图；
[0020]图2是本实用新型实施例的硅片盒充气口的截面图；
[0021]图3是本实用新型实施例的硅片盒充气口的充气管道结构示意图；
[0022]图4是本实用新型实施例的硅片盒充气口的充气管道截视图；
[0023]图中，1-充气管道，11-充气嘴，12-进气接头，13-弹性元件限位卡口，14-第一充气管道，15-第二充气管道,2-弹性兀件,3-外壳,31-第一外壳,32-第二外壳。
【具体实施方式】
[0024]以下将对本实用新型的硅片盒充气口及充气装置进行进一步的详细描述。
[0025]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做详细的说明。
[0026]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
[0027]请参阅图1至图4，这种硅片盒充气口，包括充气管道I，弹性元件2，外壳3，所述充气管道I穿过所述外壳3，所述弹性元件2设置于所述外壳3与充气管道I之间，且沿所述充气管道I的轴向伸缩。
[0028]本实施例中，所述外壳3包括第一外壳31以及与所述第一外壳连接的第二外壳32,所述第一外壳31和第二外壳32均为中空的圆柱形。
[0029]具体地说，所述第一外壳31的上端具有一圆孔，其尺寸与所述充气管道I的外径相匹配；所述第一外壳31的下端为敞口，所述敞口外壁设置有外螺纹。所述第二外壳32的下端具有一圆孔，其尺寸与所述充气管道I的外径相匹配；所述第二外壳32的上端为敞口，在敞口内壁设置有内螺纹，所述内螺纹与所述第一外壳31的外螺纹相匹配。所述第一外壳31的外径与第二外壳32的内径相匹配,并通过所述第一外壳31的外螺纹与所述第二外壳32的内螺纹连接。
[0030]为了限定所述弹性元件2的位置，所述充气管道I的外壁上还固定连接一弹性元件限位卡口 13。所述弹性元件限位卡口 13的形状为圆环形，用于承载所述第一外壳31。本实施例中，所述弹性元件限位卡口 13与充气管道I是一体成型的，制作工艺简单。
[0031]其中，所述充气管道I包括第一充气管道14以及与第一充气管道14垂直连接的第二充气管道15。所述第一充气管道14的上端作为充气嘴11，用于连接硅片盒充气口 ；所述弹性元件限位卡口 13设置于靠近充气嘴11的位置。所述第二充气管道15的末端作为进气接头12，用于连接外部充气管道。
[0032]为保证在充气过程中，充气嘴11与硅片盒进气嘴相匹配，所述充气嘴11的外壁设置一削角度。
[0033]所述充气管道I优选采用镜面不锈钢材料，确保高纯气体充入时不引入其它杂质。
[0034]本实施例中，所述弹性元件2是弹簧，所述弹簧缠绕于充气管道I的外壁上，且沿所述充气管道I的轴向伸缩。可根据弹簧的自然长度，设置弹性元件限位卡口 13到第二外壳32下端的距离。所述弹性元件2可以为等刚度的圆柱形螺旋弹簧，也可以为变刚度的锥形螺旋弹簧。
[0035]下面结合图1至图4详细说明本实用新型的工作原理。
[0036]当充气管道I的充气嘴11连接于硅片盒的充气嘴时，将充气管道I向下压，弹性元件限位卡口 13也伴随着充气管道I 一起向下移动，使得弹性元件2被压缩。由于弹性元件2的反抗作用，使充气嘴11紧密的连接于硅片盒的进气嘴上，达到自适应充气的功能。确保在充气过程中不漏气，避免外界杂质的引入，不会对硅片造成损害。
[0037]根据本实用新型的另一面，还提供一种充气装置，该充气装置包括所述的硅片盒充气口以及与所述硅片盒充气口相连接的进气管道，两者通过硅片盒充气口的进气接头相连，所述进气管道与所述硅片盒充气口的充气管道相匹配，以通过所述硅片盒充气口的充气管道向硅片盒供气。该充气装置能提高硅片盒充气效率，节省人力财力。同时，保证在硅片盒充气过程中避免引入外界杂质，提高硅片保存时间。
[0038]本实用新型虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。
【权利要求】
1.一种硅片盒充气口，其特征在于，包括充气管道、弹性元件以及外壳，所述充气管道穿过所述外壳，所述弹性元件设置于所述外壳与充气管道之间，且沿所述充气管道的轴向伸缩。
2.根据权利要求1所述的娃片盒充气口，其特征在于，所述外壳包括第一外壳以及与所述第一外壳连接的第二外壳。
3.根据权利要求2所述的娃片盒充气口，其特征在于,所述第一外壳的一端具有一圆孔，其尺寸与所述充气管道的外径相匹配；所述第一外壳的另一端为敞口，所述敞口的外壁设置有外螺纹。
4.根据权利要求2所述的娃片盒充气口，其特征在于，所述第二外壳的一端具有一圆孔，其尺寸与所述充气管道的外径相匹配；所述第二外壳的另一端为敞口，所述敞口内壁设置有内螺纹；所述第二外壳的内螺纹与所述第一外壳的外螺纹相匹配。
5.根据权利要求1所述的硅片盒充气口，其特征在于，所述充气管道的一端作为充气嘴，另一端作为进气接头。
6.根据权利要求5所述的硅片盒充气口，其特征在于，所述充气管道的外壁固定连接一弹性元件限位卡口，所述弹性元件限位卡口靠近所述充气嘴的位置。
7.根据权利要求5所述的硅片盒充气口，其特征在于，所述充气嘴与一硅片盒进气嘴相匹配，所述充气嘴外壁具有一削角度。
8.一种充气装置，包括一进气管道，其特征在于，还包括如权利要求1至7中任意一项所述的硅片盒充气口，所述硅片盒充气口与所述进气管道连接。
【文档编号】B65D81/20GK203793958SQ201420198061
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】袁海岭, 李炯 申请人:上海华力微电子有限公司