基板取放设备的制作方法

文档序号:15180990发布日期:2018-08-14 19:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板取放设备,其特征在于,包括:

一承载平台,用以承载一基板;

一伸缩装置,包括:

一可折叠式支架,所述可折叠式支架设置于所述承载平台上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架伸出为展开状态时进入所述基板的区域范围,缩回为收起状态时退出所述基板的区域范围;

多个吸附结构,设置于所述可折叠式支架的底部,该些吸附结构平均分布于所述可折叠式支架于展开状态时的区域范围,用以吸附所述基板;

第一驱动单元,用以驱动所述可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及

第二驱动单元,用以驱动所述伸缩装置进行垂直方向的升降;以及

一输运装置,运作于所述承载平台与所述可折叠式支架之间,伸出时进入所述承载平台的区域范围,缩回时退出所述承载平台的区域范围。

2.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述承载平台为封闭不开孔的平面结构。

3.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述可折叠式支架于展开状态时为网格状结构。

4.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述吸附结构为真空吸嘴。

5.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述第一驱动单元为马达。

6.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述第一驱动单元为油压缸。

7.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述第二驱动单元为马达。

8.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述第二驱动单元为油压缸。

9.如权利要求1所述的基板取放设备,其特征在于,所述输运装置为机械手臂。

10.一种基板取放设备,其特征在于,包括:

一封闭不开孔的承载平台,用以承载一基板;

一伸缩装置,包括:

一可折叠式支架,所述可折叠式支架设置于所述承载平台上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架伸出为展开状态时进入所述基板的区域范围,缩回为收起状态时退出所述基板的区域范围;

多个真空吸嘴,设置于所述可折叠式支架的底部,该些真空吸嘴平均分布于所述可折叠式支架于展开状态时的区域范围,用以吸附所述基板;

第一马达,用以驱动所述可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及

第二马达,用以驱动所述伸缩装置进行垂直方向的升降;以及

一机械手臂,运作于所述承载平台与所述可折叠式支架之间,伸出时进入所述基板的区域范围,缩回时退出所述基板的区域范围。

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