基板取放设备的制作方法

文档序号:15180990发布日期:2018-08-14 19:51阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型关于一种基板取放设备,其结构包括:一承载平台,用以承载一基板;一伸缩装置,包括:一可折叠式支架,可折叠式支架设置于承载平台上方,进行水平方向的伸缩;多个吸附结构,设置于可折叠式支架的底部,该些吸附结构平均分布于可折叠式支架的区域范围,用以吸附基板;第一驱动单元,用以驱动可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及第二驱动单元,用以驱动伸缩装置进行垂直方向的升降;以及一输运装置,运作于承载平台与可折叠式支架之间;基板取放方式采取由上方以吸附结构进行基板取放。

技术研发人员:宋立
受保护的技术使用者:惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
技术研发日:2018.01.05
技术公布日:2018.08.14

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