专利名称：用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带装置。
在电子行业，总是不断地要求生产诸如集成电路或半导体晶片之类的成本低且尺寸小的电子装置。增加这种电子装置的产量，也即减少其单位成本的方法之一是借助于同时测试许多这样的装置而增加这些电子装置的测试速度。
当这些半导体装置在一用于测试半导体装置的机械手系统中进行测试时，一个装纳许多半导体装置的托盘被作为一个单元进行传送。此处，用户用于输入和输出该半导体装置的托盘称之为用户托盘，而用于机械手系统中的标准托盘称之为测试托盘。为了便于供给和输出这些被测试的半导体装置，该半导体装置从该用户托盘传送到该测试托盘或从测试托盘传送到该用户托盘。
美国专利US 5,307,011中公开了一种用于测试置于该测试托盘上的半导体装置的传统的机械手系统。该机械手系统具有一个设置于一饱和测试室和一非饱和测试室之间的测试头，并且装载各半导体装置的测试托盘由一传送带传送装置带动在该饱和室和非饱和室之间传送。在该测试托盘被传送的同时由测试头对这些半导体装置进行测试。
该机械手系统中用的传送带式传送装置的详细构成及工作情况说明如下
图1至4示意性地表示出用于测试半导体装置的传统的机械手系统中使用的传送带式传送装置。
许多承载模块115装载于测试托盘111上，而欲被测试的各半导体装置116装载于这些承载模块115上。带有欲被测试的装置116的测试托盘111设置于一支承件上，并且将这些欲被测试的装置116在其处于测试托盘111上的同时供入一测试头部件中。
该测试托盘111在一对由一电动机117驱动的传送带118上传送，直到该托盘由该测试头部件中的一止动件119使其停止为止。测试托盘111由传送带118传送至一腔室120。该腔室120的内部设置为一特定温度，该温度适合于测试这些半导体，例如从-30℃到+125℃的温度。
如图2中详细所示，用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带式传送装置由一对彼此相互平行地设置于一支承架121中的传送带118，及一个带有一用于驱动该传送带118的驱动轴110的驱动电动机114构成。同时该支承架121由一组撑拉杆113支承，并且这些撑拉杆113延伸穿过由各传送带118形成的环路。撑拉杆113支承支承架121，所以两传送带118之间的距离为常量。如图3所示，该传送装置配装有许多惰辊112。
然而，这种传统的机械手系统中使用的传送带式传送装置存在如下问题即，由于该传送带118在温度从-30℃变化到+125℃的室中工作，因此，由于传送带的强度降低，从而传送带118常常断裂，所以要经常更换传送带。然而，由于驱动轴110和撑拉杆113都延伸穿过由该传送带118形成的环路，因此必须将驱动轴110和各撑拉杆113从该支承架121上卸下，这样的话，换上一新的传送带就需要花费大约2或3个小时，因而增加了维修成本。
为了克服现有技术中的上述问题，提出了本发明，因此本发明的目的之一是提供一种用于测试半导体装置的机械手系统中用的传送带式传送装置，该装置可方便地更换传送带。
为了实现上述目的，本发明提供一种用于测试半导体装置的机械手系统。该机械手系统包括一支承架，一对装在该支承架上的传送带，该对传送带在相对这些传送带的传送方向的横向相互隔开。提供一驱动电机用于驱动这些传送带。该支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处沿传送带的传送方向的横向延伸的撑拉杆。该系统之改进包括若干装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊，此时这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外。这就使得可以将该传送带从该支承上卸下而不需卸开各撑拉杆。
各张紧辊最好设置于每条传送带的下支带的下方，从而使下支带从各撑拉杆顶部越过朝下偏转。
最好一驱动轴设置得使该驱动电机和传送带保持工作式连接。以便将驱动扭矩传送给该传送带。每个驱动轴都在每条传送带的前后端之间的位置处沿与传送带传送方向的横向延伸。驱动轴的相对两端延伸穿过由各传送带形成的环路。该驱动轴包括两个半轴件。该两半轴由一可拆卸的联轴器于该驱动轴的相对两端的中部处相互连接起来，因此，该两半轴件可相互分开，所以在安装及卸除传送带期间可允许传送带从它们之间穿过。
从以下结合附图的说明中可更好地理解本发明，并且本发明的其它各种目的及优点也可更全面地得到理解。其中图1是一传统的机械手系统中使用的传送带式传送装置的示意图；图2是图1所示传送带式传送装置的放大平面图；图3是图2的侧剖视图；图4是图2的局部放大透视图；图5是本发明的机械手系统中使用的传送带式传送装置的平面图；图6是图5的侧剖视图；图7是图5的局部放大透视图。
下面将参照各附图详细说明本发明。
图5至7表示一种按照本发明的机械手系统中的传送带式传送装置。该传送带式传送装置包括一对相互平行设置并装在一支承架3的各自侧部3a，3b上的传送带1。一驱动电机4具有一个用于驱动这些传送带1的驱动轴。许多惰辊7安装于该支承架3上。这些惰辊7支承着这些传送带1。
该支承架3由一组撑拉杆5支承，这些撑拉杆5每一个都在传送方向的横向在侧部3a，3b之间延伸。每个撑拉杆都处于这些传送带的前端F和后端R之间。若干张紧辊6装在支承架3上，处于每条传送带1的下支带1a之下。张紧辊6可直接设置于每个撑拉杆5的前方和后方，并且各张紧辊6的最上部分设置得比各自的撑拉杆5的最上部分高。因此该下支带1a的下表面(即传送带1的外表面)跨压在这些张紧辊上并且绕过这些撑拉杆5。因此，传送带1的外表面由张紧辊6朝内(朝上)推，所以传送带1如图6和7所示那样朝内(朝上)弯曲。所以，这些撑拉杆不穿过由各传送带形成的各环路。传送带1的张紧是由各张紧辊6保持的。
用于将驱动电机4的驱动力传递给传送带1的驱动轴2分成两个半轴件，并且该两半轴件由一联轴器8相互连接，该联轴器8用于使该分开的两轴件相互隔开。联轴器8由一单独的固定装置，如一螺栓固定到该驱动轴2上，因此两半轴件由该联轴器8相互固定连接起来。
根据本发明的用于测试半导体装置的机械手系统的传送带式传送装置的这种结构可知，当传送带1断裂时，可容易地用一新的传送带换上，而不必卸掉各撑拉杆5和驱动轴2。也即，操作人员首先拆开联轴器8，然而沿该驱动轴2的一部分使该联轴器8运动。然后操作人员通过该驱动轴2的分开的两半轴件拆除损坏的传送带1，并装上一新的传送带，使各惰辊7处于该传送带形成的环路的内侧而各撑拉杆5处于该环路的外侧(下方)。然后操作人员移动该联轴器8使该驱动轴2的两半轴件相互牢固地连接起来，并由张紧辊6调节该传送带1的张紧力。
因此，当传送带1损坏时，可方便地换上一新的传送带而不必将驱动轴2及各撑拉杆5从支承架上卸下，所以修理所消耗的时间缩短了。
在该实施例中，驱动轴2由两个相互连接的部分构成。然而，也可如现有技术那样将驱动轴2构成为单一整体件。在这种情况下，为了更换传送带1驱动轴2必须先被卸下。该新的传送带1必须在驱动轴2处于卸下状况期间装上，并且在传送带1完全安装好后再装驱动轴2。即使在为了更换传送带1需要卸下驱动轴2时，各撑拉杆5也没必要卸下，所以容易修理的优点得到保留。
如上所述，本发明提供了一种用在机械手系统中的传送带式传送装置系统，其可方便地更换传送带。
尽管已对本发明优选实施例进行了详细说明并在图中示出，但应清楚地看到该实施例及各附图只是为了解释本发明，并不能限制本发明，因此本发明的实质及范围只由所附的权利要求书中的各权利要求限定。
权利要求
1.一种用于测试半导体装置的机械手系统，其包括一支承架，一对安装于该支承架上的传送带，该对传送带在相对这些传送带的传送方向的横向相互隔开；一用于驱动这些传送带的驱动电机；该支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处布置的沿传送带的传送方向的横向延伸的撑拉杆，改进处包括，若干装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊，其中这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外，从而使得可将该传送带从该支承架上卸下而不需要从该支承架上卸开各撑拉杆。
2.如权利要求1所述的机械手系统，其特征在于，各张紧辊定位得可使每条传送带的下支带偏转跨过各撑拉杆的顶部。
3.如权利要求2所述的机械手系统，还包括一个与驱动电机和传送带工作式相连的驱动轴，用于将驱动扭矩传送给这些传送带，每个驱动轴都在每条传送带的前后端之间的位置处沿传送带的传送方向的横向延伸，驱动轴的相对两端延伸穿过由各传送带形成的环路，该驱动轴包括两个半轴件，该两半轴件由一可拆卸的联轴器于该驱动轴的相对两端的中部处相互连接起来，因此，在装卸该传送带期间，卸开该联轴器就可使传送带穿过两半轴件之间。
4.如权利要求1所述的机械手系统，还包括一个与该驱动电机的传送带工作式相连的驱动轴，用于将驱动扭矩传送给这些传送带的带，每个驱动轴都在每条传送带前后端之间的各位置处沿与传送带的传送方向的横向延伸，驱动轴的相对两端穿过由各传送带形成的环路，该驱动轴包括两个半轴件，该两半轴件由一可拆卸的联轴器于该驱动轴的相对两端的中部处相互连接起来，因此，在装卸该传送带期间，卸开该联轴器就可使传送带穿过该两半轴件之间。
5.一种用于测试半导体装置的机械手系统，其包括一支承架；一对装在该支承架的各自侧部并被驱动的传送带，且该对传送带在沿该传送带的传送方向的横向相互隔开；一个横向件，该横向件具有两个端部，该两端部穿过由各相应传送带形成的环路并连接到该支承架侧部相应处，该横向件在每条传送带前后端之间的各位置处沿传送带传送方向的横向延伸，该横向件包括两个由一个可拆卸的联轴器于该横向件的相对两端的中部处相互连接起来的部件，因此，在装卸该传送带期间，卸开该联轴器就可使传送带穿过该横向件的两部件之间。
6.如权利要求5所述机械手系统，其特征在于该横向件包括一个用于驱动各传送带的驱动轴。
全文摘要
一种测试半导体装置的机械手系统,包括:支承架;装在其上并在传送方向的横向相互隔开的传送带;用于驱动传送带的驱动电机;支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处沿与传送带传送方向的横向延伸的撑拉杆;装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊,这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外;使得可以将传送带从该支承架上卸下而不需卸开各撑拉杆;及由可使一传送带穿过其间的两半轴件构成的驱动轴。
文档编号B65G23/44GK1194230SQ9810578
公开日1998年9月30日 申请日期1998年3月25日 优先权日1998年3月25日
发明者沈载均 申请人:三星电子株式会社