专利名称：：层叠片及其制造方法
技术领域：
：本发明涉及在对透镜、反射镜等光学材料、硅晶圓等半导体晶圆、玻璃基板、金属基板以及磁盘等的表面进行研磨时为了将这些保持固定于研磨头而使用的层叠片(保持片、底板(backingsheet))，在对半导体晶圆等半导体制品、光学系制品等进行精密加工的工序中为了保持或保护制品而使用的层叠片(粘合片)及其制造方法。
背景技术：
：制造半导体集成电路(IC、LSI)的被称为硅晶圆的单晶硅的圓盘。硅晶圆在制造IC、LSI等的工序中为了形成用于形成电路的各种薄膜的可信赖的半导体接合，在层叠形成氧化物层、金属层的各工序中，要求高精度平坦地加工表面。这样的研磨加工工序中，通常研磨垫被固定于被称为压盘(platen)的可旋转的支撑圆盘上，硅晶圆等被研磨材料被固定于研磨头。一直以来，作为将硅晶圆和玻璃等被研磨材料固定于研磨头的方法，采用了(1)通过蜡将研磨头和被研磨材料固定的蜡-封固法；(2)通过吸引将被研磨材料固定于研磨头的真空.夹紧法；或者(3)通过贴附于研磨头的人工皮革、高分子发泡片固定被研磨材料的无蜡-封固法。蜡-封固法由于使用蜡，因而具有如下问题装卸被研磨材料需要时间，需要在研磨后洗涤被研磨材料来除去蜡，操作工序烦杂。真空'夹紧法具有如下问题被研磨材料在吸引口部分变形，由此导致研磨后的被研磨材料的表面精度变差。无蜡'封固法尽管具有被研磨材料容易装卸、生产效率优异的优点，但具有如下问题..在人工皮革、高分子发泡片的保持面的表面精度差时，研磨后的被研磨材料的表面平滑性也变差。作为解决上述无蜡'封固法的问题的方法，提出了使用一种在发泡层的表面设置有由树脂形成的粘合性树脂层的底板材料的方案(专利文献l)。此外，提出了一种片状弹性发泡体，其特征在于在发泡层中设置有细长形状且直径向发泡层表面变大的独立气泡(专利文献2)。但是，专利文献1的底板材料的制造方法中需要另外设置粘合性树脂层，此外由于通过使弹性层湿法凝固来制造，因而操作工序烦杂。此外，由于必须使用溶剂，因而存在环境负荷大、萃取溶剂需要大量的水等制造上的问题。此外，专利文献2中，形成如上述的气泡是困难的，而且由于发泡层表面的孔隙率大，因而发泡层的变形变大，其结果认为研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差。此外，有如下问题将被研磨材料贴附于发泡层时产生空气包入，或者由于吸水性低而在发泡层与被研磨材料之间产生浆体的水膜，被研磨材料的吸附性降低。专利文献l:日本特开2002-355754号公才艮专利文献2:日本特开平6-23664号公才艮
发明内容发明要解决的问题第l发明的目的在于提供极其容易地制造保持面的表面精度高的层叠片的方法。第2发明的目的在于提供极其容易地制造保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性优异的层叠片的方法。第3发明的目的在于提供保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性优异的层叠片及其制造方法。第4发明的目的在于提供解决问题的方法
技术领域：
：本发明人为解决前述问题而反复深入研究，结果发现，通过以下所示的层叠片及其制造方法可实现上述目的，从而完成了本发明。第l发明涉及层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。此外，另一第l发明涉及层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。如上述那样，通过机械发泡法将空气等气体作为微细气泡分散到原料中来调制气泡分散尿烷组合物并使该气泡分散尿烷组合物固化，从而可极其容易地形成具有气泡径极其小且球状(包括大致球状的气泡)的气泡的聚氨酯发泡层。此外，本发明的机械发泡法中，由于使空气等气体分散在原料中而不溶解于原料中，因而存在如下优点可抑制在将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序之后产生新的气泡(后发泡现象)，容易控制厚度精度和比重。此外，由于不需要使用溶剂，因而不仅在成本方面优异，从环境方面也优选。并且，该聚氨酯发泡层由于保持被研磨材料的保持面的表面精度极高，因而使用具有该发泡层的层叠片保持被研磨材料时，研磨后的被研磨材料的表面平滑性极其优异。此外，上述聚氨酯发泡层因具有球状的气泡而耐久性优异。因此，使用具有该发泡层的层叠片研磨被研磨材料时，研磨速度的稳定性提高。第l发明的层叠片是通过前述制造方法得到的。前述聚氨酯发泡层优选具有平均气泡径为20~30(Vm的球状的微细气泡。此外，聚氨酯发泡层优选厚度方向的平均气泡径差(平均气泡径最大值-平均气泡径最小值)为50pm以下。聚氨酯发泡层的厚度方向的气泡径的偏差大时，树脂密度低的区域的耐久性比其它区域还差，在该部分容易产生厚度变化(坍塌现象)。其结果，保持被研磨材料的保持面的表面精度降低，研磨后的被研磨材料的表面平滑性也有降低的倾向。此外，有研磨速度的稳定性变差的倾向。只要厚度方向的平均气泡径差为50)im以下，则可有效抑制聚氨酯发泡层的厚度变化。此外，聚氨酯发泡层的比重优选为0.2~0.5。此外，聚氨酯发泡层的ASKERC硬度优选为1050度。进而，聚氨酯发泡层的压缩率优选为2~10%。第2发明涉及层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在涂布的气泡分散尿烷组合物上层叠氮气透过速度为lxl(T7[cm3/cm2's.cmHg]以下的离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成具有连续气泡的聚氨酯发泡层的工序。如上述那样，通过机械发泡法将空气等气体作为微细气泡分散到原料中来调制气泡分散尿烷组合物并使该气泡分散尿烷组合物固化，从而可极其容易地形成具有气泡径极其小且球状(包括椭圆球状)的连续气泡的聚氨酯发泡层。此外，本发明的机械发泡法中，由于使空气等气体分散在原料中而不溶解于原料中，因而存在如下优点可抑制在将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序之后产生新的气泡(后发泡现象)，容易控制厚度精度和比重。此外，由于不需要使用溶剂，因而不仅在成本方面优异，乂人环境方面也优选。进而，第2发明的制造方法中，通过在涂布的气泡分散尿烷组合物上层叠氮气透过速度为lxlO,cmVcm、s.cmHg]以下的离型片，气泡分散尿烷组合物中的微细气泡破裂而形成连续气泡时，可将微细气泡内部的气体保持在该组合物中，可防止微细气泡内部的气体被排出到外部环境。由此，可抑制气泡分散尿烷组合物的厚度在固化工序时变化，可提高固化后的聚氨酯发泡层的表面精度。第2发明中，前述基材片优选氮气透过速度为lxlO-7[cm3/cm2's.cmHg]以下。通过使用该基材片，进一步才是高上述效果。第2发明中，优选前述基材片为聚对苯二曱酸乙二酯(PET)膜、前述离型片为实施了离型处理的聚对苯二曱酸乙二酯膜。PET膜由于氮气透过速度尤其小，因而是适合的材料。第2发明的层叠片是通过前述制造方法得到的。本发明的层叠片的聚氨酯发泡层由于具有球状(包括椭圆球状)的连续气泡，因而即便在将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层时包入空气，也可通过连续气泡而将空气排出到外部。由此，可高平坦性地将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层。此外，即便浆体浸入到发泡层与被研磨材料之间时，也可通过连续气泡将浆体吸收到聚氨酯发泡层内部，因此，可防止在发泡层与被研磨材料之间产生浆体的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。此外，该聚氨酯发泡层由于保持被研磨材料的保持面的表面精度极高，因而在使用具有该发泡层的层叠片来保持被研磨材料时，研磨后的被研磨材料的表面平滑性极其优异。此外，上述聚氨酯发泡层因具有球状的气泡而耐久性优异。因此，使用具有该发泡层的层叠片来研磨被研磨材料时，研磨速度的稳定性提高。聚氨酯发泡层可同时含有连续气泡和独立气泡，该聚氨酯发泡层的连续气泡率为50%以上，优选为65%以上。前述聚氨酯发泡层的连续气泡的平均气泡径优选为20~300fim。此外，聚氨酯发泡层的比重优选为0.2~0.5。此外，聚氨酯发泡层的ASKERC硬度优选为10~50度。进而，聚氨酯发泡层的压缩率优选为210%。[第3发明]第3发明的层叠片由基材片和聚氨酯发泡层形成，其特征在于，前述聚氨酯发泡层具有球状的连续气泡，在该连续气泡的表面形成有圓形孔。第3发明的层叠片的聚氨酯发泡层由于具有在气泡表面形成有圆形孔(包括大致圆形孔)的球状(包括大致球状)的连续气泡，因而即便在将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层时包入空气，也可通过连续气泡而将空气排出到外部。由此，可高平坦性地将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层。此外，即便浆体浸入到发泡层与被研磨材料之间时，可通过连续气泡将浆体吸收到聚氨酯发泡层内部，因此，可防止在发泡层与被研磨材料之间产生浆体的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。前述连续气泡的平均气泡径优选为20~3OOjam,圓形孔平均直径优选为100(am以下。平均气泡径不足20iim时，存在如下倾向难以将浆体吸收到发泡层内部，在发泡层与被研磨材料之间易产生浆体的水膜。另一方面，超过300pm时，发泡层表面的平滑性恶化，且容易产生局部的压缩特性的偏差，因此，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性恶化的倾向。此外，圆形孔的平均直径超过100nm时，容易产生发泡层的吸水导致的压缩特性的变化，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。聚氨酯发泡层可同时含有前述连续气泡和独立气泡，该聚氨酯发泡层的连续气泡率优选为50%以上，更优选为65%以上。前述聚氨酯发泡层含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，前述含活性氢化合物优选含有60~85重量％的官能团数为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇。通过使用特定量的该高分子多元醇，可稳定地形成目标的连续气泡，且发泡层的机械特性变良好。此外，前述聚氨酯发泡层含有异氰酸酯成分和含高分子量多元醇的含活性氢化合物作为原料成分，前述高分子量多元醇优选含有20~100重量％的聚合物多元醇，该聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒。通过该聚合物颗粒的填充效果，气泡膜容易破，可容易地形成目标的连续气泡。此外，前述含活性氢化合物优选含有2~15重量％的羟基值为400~1830mgKOH/g的低分子量多元醇和/或胺值为400~1870mgKOH/g的低分子量多胺。通过使用特定量的该低分子量多元醇和/或低分子量多胺，可稳定地形成目标的连续气泡，且发泡层的机械特性变良好。另外，组合使用低分子量多元醇与低分子量多胺时，总计使用2~15重量％。第3发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，该含活性氬化合物含有60~85重量％的官能团数为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；通过使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。此外，另一第3发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，该含活性氢化合物含有6085重量％的官能团数为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。此外，另一第3发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氬化合物作为原料成分，该聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；通过使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。此外，另一第3发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氢化合物作为原料成分，该聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。如上述那样，通过机械发泡法将空气等气体作为微细气泡分散到特定的原料中来调制气泡分散尿烷组合物并使该气泡分散尿烷组合物固化，从而可容易地形成聚氨酯发泡层，该聚氨酯发泡层具有气泡径小且在气泡表面形成有圆形孔(包括大致圆形孔)的球状(包括大致球状)的连续气泡。此外，本发明的机械发泡法中，由于使空气等气体分散在原料中而不溶解于原料中，因而存在如下优点'.可抑制在将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序之后产生新的气泡(后发泡现象)，容易控制厚度精度和比重。此外，由于不需要使用溶剂，因而不仅在成本方面优异，从环境方面也优选。而且，该聚氨酯发泡层由于具有在气泡表面形成有圆形孔(包括大致圆形孔)的球状(包括大致球状)的连续气泡，因而即便在将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层时包入空气，也可通过连续气泡而将空气排出到外部。由此，可高平坦性地将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层。此外，即便浆体浸入到发泡层与被研磨材料之间时，也可通过连续气泡将浆体吸收到聚氨酯发泡层内部，因此，可防止在发泡层与被研磨材料之间产生浆体的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。此外，由于上述聚氨酯发泡层的连续气泡是球状，因而耐久性优异。因此，使用具有该发泡层的层叠片研磨被研磨材料时，研磨速度的稳定性提高。此外，第3发明涉及通过前述方法所制造的层叠片。基于与上述同样的理由，聚氨酯发泡层的连续气泡的平均气泡径优选为20~300(im,圓形孔的平均直径优选为100(im以下。[第4发明]第4发明涉及层叠片，该层叠片包括基材片和聚氨酯发泡层，其特征在于，前述聚氨酯发泡层具有长轴与聚氨酯发泡层的厚度方向平行的椭圓气泡，前述聚氨酯发泡层的截面中的椭圆气泡的平均长径L与平均短径S之比(L/S)为1.5~3。本发明人发现，通过将聚氨酯发泡层中的气泡从如以往的气泡变为椭圆气泡(为椭圆球状的气泡，但也可不是严密匀称的椭圆球状)，进一步将该椭圆气泡的长轴配置成与发泡层的厚度方向平行(大致平行)，从而可使弹性模量与以往的聚氨酯发泡层相比变高，可抑制发泡层的变形。本发明的层叠片由于保持被研磨材料的保持面的表面精度高，因而在使用该层叠片保持被研磨材料时，研磨后的被研磨材料的表面平滑性优异。此外，由于本发明的层叠片耐久性优异，因而在使用该层叠片保持被研磨材料时，研磨时的研磨速度的稳定性提高。聚氨酯发泡层中的气泡可以包括球状气泡，但为了充分体现目标的效果，优选椭圓气泡的数量比例为全部气泡的30%以上。前述椭圆气泡优选为连续气泡。椭圓气泡为连续气泡时，即便在将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层时包入空气，也可通过连续气泡而将空气排出到外部。由此，可高平坦性地将被研磨材料贴附于聚氨酯发泡层。此外，即便浆体浸入到发泡层与被研磨材料之间时，也可通过连续气泡将浆体吸收到聚氨酯发泡层内部，因此，可防止在发泡层与被研磨材料之间产生浆体的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。图l是实施例1的层叠片的聚氨酯发泡层的显微镜照片(SEM照片)。图2是实施例2的层叠片的聚氨酯发泡层的显微镜照片(SEM照片)。图3是实施例3的层叠片的聚氨酯发泡层的显微镜照片(SEM照片)。图4是比较例1的层叠片的聚氨酯发泡层的显微镜照片(SEM照片)。具体实施方式第l发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。另一第l发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。第2发明的层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在涂布的气泡分散尿烷组合物上层叠氮气透过速度为lxl(T7[cm3/cm2's'cmHg]"下的离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成具有连续气泡的聚氨酯发泡层的工序。前述气泡分散尿烷组合物通过机械发泡法(包括mechanicalfrothingmethod)来调制即可，其它没有特別限制。例如，气泡分散尿烷组合物通过以下方法来调制。(1)对于异氰酸酯成分以及高分子量多元醇等反应得到异氰酸酯末端预聚物添加硅系表面活性剂得到第l成分，在非反应性气体的存在下机械搅拌该第1成分，使非反应性气体作为微细气泡分散，制成气泡分散液。然后，向该气泡分散液中添加包含高分子量多元醇、低分子量多元醇等含活性氢化合物的第2成分并混合，调制气泡分散尿烷组合物。可以向第2成分中适当添加催化剂、炭黑等填料。(2)向包含异氰酸酯成分(或异氰酸酯末端预聚物)的第l成分以及包含含活性氢化合物的第2成分的至少一个中添加硅系表面活性剂，在非反应性气体的存在下对添加有硅系表面活性剂的成分进行机械搅拌，使非反应性气体作为微细气泡分散，制成气泡分散液。然后，向该气泡分散液中添加剩下的成分并混合，调制气泡分散尿烷组合物。(3)向包含异氰酸酯成分(或异氰酸酯末端预聚物)的第1成分以及包含含活性氢化合物的第2成分的至少一个中添加硅系表面活性剂，在非反应性气体的存在下机械搅拌前述第l成分和第2成分，使非反应性气体作为微细气泡分散，调制气泡分散尿烷组合物。聚氨酯由于可通过机械发泡法容易地形成球状的微细气泡、连续气泡，因而优选作为层叠片的发泡层的形成材料。第3发明的层叠片由基材片和聚氨酯发泡层形成，前述聚氨酯发泡层具有球状的连续气泡，在该连续气泡的表面形成有圆形孔。前述聚氨酯发泡层可通过例如使通过机械发泡法(包括mechanicalfrothingmethod)调制而成的气泡分散尿烷组合物在基材片上固化而形成。具体地说，气泡分散尿烷组合物通过前述方法调制而成。聚氨酯由于可通过机械发泡法容易地形成在气泡表面形成有圓形孔的球状的连续气泡，因而优选作为层叠片的发泡层的形成材料。第4发明的层叠片包括基材片和聚氨酯发泡层。聚氨酯树脂由于可通过机械发泡法容易地形成^Ti细的椭圓气泡，因而优选作为层叠片的发泡层的形成材料。聚氨酯树脂由异氰酸酯成分、多元醇成分(高分子量多元醇、低分子量多元醇等)、以及链增长剂组成。作为异氰酸酯成分，可以没有特别限制地使用聚氨酯领域中公知的化合物。可列举例如，2，4-曱苯二异氰酸酯、2，6-曱笨二异氰酸酯、2，2，-二苯基曱烷二异氰酸酯、2，4，-二苯基甲烷二异氰酸酯、4,4，-二苯基曱烷二异氰酸酯、聚合MDI(polymericMDI)、碳化二亚胺改性MDI(例如商品名MillionateMTL、日本聚氨酯工业株式会社制造)、1,5-萘二异氰酸酯、对苯二异氰酸酯、间苯二异氰酸酯、对苯二亚甲基二异氰酸酯、间苯二亚曱基二异氰酸酯等芳香族二异氰酸酯；亚乙基二异氰酸酯、2，2，4-三曱基六亚甲基二异氰酸酯、1,6-六亚甲基二异氰酸酯等脂肪族二异氰酸酯；1,4-环己烷二异氰酸酯、4,4，-二环己基甲烷二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、降莰烷二异氰酸酯等脂环式二异氰酸酯。这些可使用l种，也可组合使用2种以上。作为异氰酸酯成分，除上述二异氰酸酯化合物以外，还可使用3官能团以上的多官能团聚异氰酸酯化合物。作为多官能团的异氰酸酯化合物，市售有作为Dismodul-N(Bayer公司制造)、商品名duranate(旭化成工业公司制造)的一系列的二异氰酸酯加合物化合物。上述异氰酸酯成分当中，优选使用4,4，-二苯基曱烷二异氰酸酯或碳化二亚胺改性MDI。含活性氢化合物是指具有与异氰酸酯成分反应的活性氬的高分子量多元醇、低分子量多元醇以及低分子量多胺等。作为高分子量多元醇，可列举在聚氨酯的
技术领域：
中通常使用的物质。可列举例如，以聚四亚曱基醚二醇、聚乙二醇等为代表的聚醚多元醇；以聚己二酸丁二酯为代表的聚酯多元醇；聚己内酯多元醇、聚己内酯这样的聚酯二醇与碳酸烷二酯的反应物等中例示的聚酯聚碳酸酯多元醇；使碳酸乙二酯与多元醇反应，接着使所得反应混合物与有机二羧酸反应得到的聚酯聚碳酸酯多元醇；通过聚羟基化合物与芳基碳酸酯的酯交换反应而得到的聚碳酸酯多元醇；分散聚合物颗粒而得到的作为聚醚多元醇的聚合物多元醇等。这些可单独^吏用，也可组合使用2种以上。将聚氨酯发泡层制成独立气泡结构时，优选仅使用聚醚多元醇。另一方面，将聚氨酯发泡层制成连续气泡结构时，优选使用聚合物多元醇，特別优选使用分散有由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒的聚合物多元醇。优选在所使用的全部高分子量多元醇中含有20~100重量％的该聚合物多元醇，更优选含有30~60重量％的该聚合物多元醇。此外，上述高分子量多元醇中优选使用官能团数为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇。羟基值更优选为25~60mgKOH/g。官能团数为5以上时，存在聚氨酯发泡体的交联度变得过高而导致被研磨材料的吸附性降低的倾向。羟基值不足20mgKOH/g时，存在聚氨酯的硬链段量变少而导致耐久性降低的倾向，羟基值超过100mgKOH/g时，存在聚氨酯发泡体的交联度变得过高而导致被研磨材料的吸附性降低的倾向。优选在含活性氢化合物中含有60~85重量％的这些特定的高分子量多元醇，更优选含有70~80重量％的这些特定的高分子量多元醇。通过使用特定量的前述特定的高分子量多元醇，气泡膜容易破裂，容易形成连续气泡结构。高分子量多元醇的数均分子量没有特別限制，从所得的聚氨酯的弹性特性等观点出发，优选为1500~6000。数均分子量不足1500时，使用该高分子量多元醇的聚氨酯不具有充分的弹性特性，容易成为脆的聚合物。由此，由该聚氨酯形成的发泡层变得过硬，存在晶圓和玻璃的保持性变差的倾向。另一方面，数均分子量超过6000时，使用该高分子量多元醇的聚氨酯树脂变得过软，因此，由该聚氨酯形成的发泡层存在耐久性变差的倾向。可以与高分子量多元醇一起使用乙二醇、1，2-丙二醇、1,3-丙二醇、1,4-丁二醇、1,6-己二醇、新戊二醇、1,4-环己烷二曱醇、3-曱基-1,5-戊二醇、二乙二醇、三乙二醇、1,4-双(2-羟基乙氧基)苯等低分子量多元醇。此外，可以组合使用乙二胺、曱苯二胺、二苯基曱烷二胺、二亚乙基三胺等低分子量多胺。此外，可以组合使用在上述低分子量多元醇或低分子量多胺上加成环氧乙烷、环氧丙烷等环氧烷而得到的多元醇。在将聚氨酯发泡层制成连续气泡结构时，这些当中，优选使用羟基值为400~1830mgKOH/g的低分子量多元醇和/或胺值为400~1870mgKOH/g的低分子量多胺。羟基值更优选为7001250mgKOH/g,胺值更优选为400~950mgKOH/g。羟基值不足400mgKOH/g或胺值不足400mgKOH/g时，存在无法充分得到提高连续气泡化的效果的倾向。另一方面，羟基值超过1830mgKOH/g时或胺值超过1870mgKOH/g时，聚氨酯的硬链段之间的距离变短，存在无法充分得到提高被研磨材料的吸附性的效果的倾向。特别优选使用二乙二醇、三乙二醇或l,4-丁二醇。高分子量多元醇与低分子量多元醇等之比根据由这些制造的聚氨酯发泡层所要求的特性来决定。在将聚氨酯发泡层制成连续气泡结构时，优选在含活性氢化合物中含有2~15重量％的这些低分子量多元醇和/或低分子量多胺，更优选为5~10重量％。通过使用特定量的上述低分子量多元醇和/或低分子量多胺，气泡膜容易破裂，容易形成连续气泡，不仅如此，聚氨酯发泡层的机械特性变良好。通过预聚物法制造聚氨酯时，在异氰酸酯末端预聚物的固化中使用链增长剂。链增长剂为具有至少2个以上活性氢基的有机化合物，作为活性氢基，可例示羟基、伯胺基或仲胺基、硫醇基(SH)等。具体地说，可列举4,4，-亚曱基双(邻氯苯胺)(MOCA)、2，6-二氯-对苯二胺、4,4，-亚曱基双(2，3-二氯苯胺)、3，5-双(曱硫基)-2,4-甲苯二胺、3,5-双(曱硫基)-2,6-甲苯二胺、3，5-二乙基甲苯-2，4-二胺、3,5-二乙基甲苯-2,6-二胺、丙二.醇-二-对氨基苯甲酸酯、1，2-双(2-氨基苯基硫)乙烷、4，4，-二氨基-3,3，-二乙基-5,5，-二甲基二苯基甲烷、N，N，-二-仲丁基—4,4，-二氨基二笨基曱烷、3，3，-二乙基-4,4，-二氨基二苯基曱烷、间苯二曱撑二胺、N,N，-二-仲丁基-对苯二胺、间苯二胺以及对苯二曱撑二胺等中例示的多胺类、或者上述的低分子量多元醇、低分子量多胺。这些可使用l种，混合2种以上也无妨。第2发明和第3发明中，所使用的含活性氢化合物的平均羟基值(OHVav)优选为下述式的范围内。(350—80Xfav—120/fav)<=SOHVav<=(350—80Xfav十120/fav)上述式中，OHVav和fav(平均官能团数)通过下述式算出。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>上述式中，n为多元醇成分的数量，ai为羟基值，bi为官能团数，ci为添加重量份。例如，所使用的含活性氢化合物为第1~第n多元醇成分时，第l多元醇成分的幾基值为al、官能团数为bl以及添加重量份为cl.....第n多元醇成分的羟基值为an、官能团数为bn以及添加重量份为cn。其中，对于聚合物多元醇，由于分散有聚合物颗粒，因而任何种类都将官能团数作为3来计算。第2发明和第3发明中，通过预聚物法制造聚氨酯时，异氰酸酯末端预聚物在合成时和固化时所使用的含活性氢化合物的种类、配合比没有特别限制，但优选在异氰酸酯末端预聚物的合成时在含活性氢化合物中使用80重量％以上的高分子量多元醇、在异氰酸酯末端预聚物的固化时在含活性氢化合物中使用80重量％以上的低分子量多元醇和/或低分子量多胺。从所得聚氨酯的物理特性的稳定性和生产率的观点出发，这样分开使用含活性氢化合物是优选的方法。异氰酸酯成分、多元醇以及链增长剂之比可通过各自的分子量和聚氨酯发泡层的期望物性等而进行各种变化。为了得到具有期望特性的发泡层，异氰酸酯成分的异氰酸酯基数量相对于多元醇和链增长剂的总计活性氢基(羟基+氨基)数量优选为O.80-1.20,进一步优选为0.991.15。异氰酸酯基数为前述范围之外时，产生固化不良，存在无法得到所要求的气泡、比重、硬度以及压缩率等的倾向。另外，异氰酸酯末端预聚物的分子量为1000~IOOOO左右、优选为1000~5000的，加工性、物理特性等优异，是适合的。此外，预聚物在常温下为固体时，预热到适当的温度熔融来使用。作为硅系表面活性剂，可列举例如含有聚烷基硅氧烷与聚醚的共聚物的物质。作为该硅系表面活性剂，适合的化合物可例示SH-192和L5340(DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd.制造)等。另外，根据需要，可加入抗氧化剂等稳定剂、润滑剂、颜料、填充剂、防带电剂、其它添加剂。作为前述为了形成微细气泡而使用的非反应性气体，优选为非可燃性气体，具体地说，可例示氮气、氧气、二氧化碳气体、氦气、氩气等稀有气体、这些的混合气体，从成本考虑，最优选使用干燥而除去水分的空气。作为将非反应性气体制成微细气泡状而使其分散的搅拌装置，可以没有特别限制地使用公知的搅拌装置，具体地说，可例示均化器、溶解器、2轴行星式搅拌机(行星搅拌机、planetarymixer)、机械发泡发泡机等。搅拌装置的搅拌叶片的形状也没有特别限制，通过使用槌棒型的搅拌叶片可得到微细气泡，故优选。为了得到目标的聚氨酯发泡层，搅拌叶片的转速优选为5002000rpm、更优选为800~1500rpm。此外，搅拌时间才艮据目标密度来适当调整。另夕卜，发泡工序中调制气泡分散液的搅拌与混合第l成分和第2成分的搅拌，优选形态为使用不同的搅拌装置。混合工序中的搅拌可以不是形成气泡的搅拌，优选使用不巻入大的气泡的搅拌装置。作为这样的搅拌装置，适合的是行星式搅拌机。调制气泡分散液的发泡工序与混合各成分的混合工序的搅拌装置即使使用同一搅拌装置也无妨，还可根据需要进行调整搅拌叶片的旋转速度等搅拌条件的调整来使用。而且，将通过上述方法调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上并使该气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层。基材片的形成材料没有特别限制，可列举例如，聚对苯二甲酸乙二酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酰亚胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚氟乙烯等含氟树脂、尼龙、纤维素等。第1发明和第3发明中，基材片的厚度没有特别限制，从强度、挠性等观点出发，优选为0.05~0.3mm左右。第2发明中所使用的基材片优选氮气透过速度为lxlO-7[cm3/cm2.s.cmHg>:^下，更优选为1xl(T8[cm3/cm2.s.cmHg]以下。作为满足该条件的形成材料，可列举聚对苯二曱酸乙二酯、聚丙烯以及聚乙烯等。第2发明中，基材片的厚度没有特别限制，从抑制聚氨酯发泡层中所包含的气体的透过性、基材片的强度、挠性等观点出发，优选为0.025~0.3mm,更优选为0.05~0.2mm。作为将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的方法，可采用例如凹版涂布、吻合涂布、逗号涂布等辊涂；缝隙涂布、供料(Fountain)等模涂；挤压涂布、帘涂等涂布方法，只要可在基材片上形成均匀的涂膜，则任意方法均可。对于将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上反应直至不流动的聚氨酯发泡体进行加热并后固化，此举有提高聚氨酯发泡体的物理特性的效果，极为适合。后固化优选在40~7(TC下进行1060分钟，此外，在常压下进行时，由于气泡形状稳定，故优选。聚氨酯发泡层的制造中，可以使用叔胺系等公知的促进聚氨酯反应的催化剂。考虑各成分的混合工序后用于涂布到基材片上的流动时间来选择催化剂的种类和添加量。聚氨酯发泡层的制造，可以是计量各成分后投入到容器中并机械搅拌的批量方式；此外也可以是向搅拌装置中连续供给各成分和非反应性气体而机械搅拌，并送出气泡分散尿烷组合物而制造成形品的连续生产方式。第l发明和第3发明的层叠片的制造方法中，需要在基材片上形成聚氨酯发泡层之后或者形成聚氨酯发泡层的同时，将聚氨酯发泡层的厚度调整均勻。将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的方法没有特别限制，可列举例如用研磨材料施加抛光的方法、用加压板加压的方法等。施加抛光时，可得到在聚氨酯发泡层的表面不具有皮层(skinlayer)的层叠片，加压时，可得到在聚氨酯发泡层表面具有皮层的层叠片。加压时的条件没有特别限制，优选将温度调节到玻璃化转变温度以上。此外，将通过上述方法调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上，并在该气泡分散尿烷组合物上层叠离型片。然后，可以通过挤压单元使厚度均勾并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层。该方法由于可极其均匀地控制层叠片的厚度，因而为特别优选的方法。离型片的形成材料没有特别限制，可列举与前述基材片同样的树脂或纸等。离型片优选受热影响的尺寸变化小的离型片。另外，离型片的表面可施加离型处理另一方面，第2发明的层叠片的制造方法中，将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上，然后在该气泡分散尿烷组合物上层叠离型片。然后，通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层。通过使用离型片，可在聚氨酯发泡层的表面形成皮层。第2发明中使用的离型片需要氮气透过速度为lxl(T7[cm3/cm2's'cmHg>V、下，优选为1x10-8[cm3/cm2.s.cmHg]以下。作为满足该条件的形成材料，可列举聚对苯二曱酸乙二酯、聚丙烯以及聚乙烯等。离型片优选受热影响的尺寸变化小的离型片。另夕卜，离型片的表面可施加离型处理。此外，离型片可在制造层叠片之后不剥离而原样作为保护片使用。第2发明中，离型片的厚度没有特别限制，从抑制聚氨酯发泡层中所包含的气体的透过性、强度、挠性等观点出发，优选为0.025~0.3mm,更伊二选为0.05~0.2mm。使由基材片、气泡分散尿烷组合物(气泡分散尿烷层)、以及离型片形成的夹层片的厚度变均匀的挤压单元没有特别限制，可列举例如通过涂布辊、夹辊等压缩成一定厚度的方法。考虑到在压缩后发泡层中的气泡变大为1.2~2倍左右，优选在压缩时使得(涂布机或夹子的间隙)-(基材片和离型片的厚度)=(固化后的聚氨酯发泡层的厚度的5085%)。此外，为了得到比重为0.2~0.5的聚氨酯发泡层，优选通过辊之前的气泡分散尿烷组合物的比重为0.24~1。而且，在使前述夹层片的厚度均匀后，对反应直至不流动的聚氨酯发泡体进行加热，后固化而形成聚氨酯发泡层。后固化的条件与前述同样。然后，剥离聚氨酯发泡层上的离型片，得到层叠片。此时，在聚氨酯发泡层上形成有皮层。另外，可以在剥离离型片之后通过对聚氨酯发泡层施加抛光等来除去皮层。聚氨酯发泡层的厚度没有特别限制，优选为0.21.2mm，更4尤选为0.6~lmm。第l发明中，聚氨酯发泡层中的气泡可为独立气泡，也可为连续气泡。由第2发明的方法制造的聚氨酯发泡层主要具有连续气泡结构，其连续气泡率为50%以上，优选为65%以上。第3发明中，聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。另外，该连续气泡并非通过破碎形成。聚氨酯发泡层中的气泡的平均气泡径优选为20~300pm,更优选为50~150)im。脱离该范围时，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。此外，第3发明中，气泡表面的圆形孔的平均直径^f尤选为100pm以下，更优选为50jim以下。聚氨酯发泡层优选厚度方向的平均气泡径差(平均气泡径最大值-平均气泡径最小值)为50(im以下，更优选为30(im以下。平均气泡径差的计算方法具体参照实施例的记载。聚氨酯发泡层的比重优选为0.20.5，更优选为0.25~0.4。比重不足0.2时，存在气泡率变得过高、耐久性变差的倾向。另一方面，比重超过0.5时，为了得到某一定的弹性模量而有必要使材料为低交联密度。此时，存在永久变形增大且耐久性变差的倾向。聚氨酯发泡层的硬度优选ASKERC硬度为10~50度，更优选为1535度。ASKERC硬度不足10度时，存在耐久性降低、或者研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。另一方面，超过50度时，存在被研磨材料的保持性变差的倾向。聚氨酯发泡层的压縮率优选为2~10%,更优选为4~8%。压缩率不足2%时，被研磨材料的保持性变差，压缩率超过10%时，存在耐久性、研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。聚氨酯发泡层的厚度偏差优选为100fim以下，更优选为60)im以下。厚度偏差超过100)im的聚氨酯发泡层，层叠片具有大的起伏。其结果，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。通过第2发明的制造方法得到的层叠片由于保持面的表面精度极高，因而即便不另外用研磨材料对保持面施加抛光也可以使用，但也可根据需要施加抛光。第l发明~第3发明的聚氨酯发泡层上具有皮层的层叠片，其保持面的表面精度高，皮层自身具有粘合性，因此，可充分保持被研磨材料，但也可另外设置粘合层。第l发明~第3发明的聚氨酯发泡层上不具有皮层的层叠片，其保持面的表面精度高，通过用水等将保持面弄湿而可充分保持被研磨材料，但也可另外设置粘合层。可在层叠片的基材片表面设置用于贴附到研磨头的双面胶带。双面胶带具有如下通常的结构，即，在无纺布或膜等基材的两面设置粘合层。作为粘合层的组成，可列举例如橡胶系粘合剂、丙烯酸酯系粘合剂等。此外，下面说明第4的层叠片的制造方法。作为聚氨酯发泡层的形成材料的聚氨酯发泡体，可应用熔融法、溶液法等公知的尿烷化技术来制造，但考虑成本、操作环境等时，优选以熔融法制造。聚氨酯发泡体的制造可使用预聚物法、一步法(oneshotmethod)中的任意方法。前述聚氨酯发泡体的制造为将包含含异氰酸酯基化合物的第l成分、以及包含含活性氢基化合物的第2成分混合而使其固化。预聚物法中，异氰酸酯末端预聚物为含异氰酸酯基化合物，链增长剂为含活性氢基化合物。一步法中，异氰酸酯成分为含异氰酸酯基化合物，链增长剂和多元醇成分为含活性氢基化合前述聚氨酯发泡体可通过机械发泡法、化学发泡法等来制造。另外，根据需要还可组合使用添加空心珠的方法。特别优选使用了作为聚烷基硅氧烷与聚醚的共聚物的硅系表面活性剂的机械发泡法。作为该硅系表面活性剂，可例示SH-192、SH-193以及L5340(DowComingToraySiliconeCo.,Ltd.公司制造)等作为适合的化合物。另外，根据需要，可添加抗氧化剂等稳定剂、润滑剂、颜料、填充剂、防带电剂、其它添加剂。以下说明第4发明的制造具有椭圆气泡的聚氨酯发泡层的方法的例子。该聚氨酯发泡层的制造方法具有以下工序。1)制造气泡分散尿烷组合物的发泡工序和混合工序情况A.使异氰酸酯成分以及高分子量多元醇等反应得到异氰酸酯末端预聚物，向该预聚物中添加硅系表面活性剂得到第l成分，在非反应性气体的存在下机械搅拌该第l成分，使非反应性气体作为微细气泡分散，制成气泡分散液。然后，向该气泡分散液中添加包含高分子量多元醇、低分子量多元醇等含活性氢化合物的第2成分并混合，调制气泡分散尿烷组合物。可以向第2成分中适当添加催化剂、炭黑等填料。情况B.向包含异氰酸酯成分(或异氰酸酯末端预聚物)的第l成分以及包含含活性氢化合物的第2成分的至少一个中添加硅系表面活性剂，在非反应性气体的存在下机械搅拌添加有硅系表面活性剂的成分，使非反应性气体作为微细气泡分散，制成气泡分散液。然后，向该气泡分散液中添加另一成分并混合，调制气泡分散尿烷组合物。情况C.向包含异氰酸酯成分(或异氰酸酯末端预聚物)的第1成分以及包含含活性氢化合物的第2成分的至少一个中添加硅系表面活性剂，在非反应性气体的存在下机械搅拌前述第1成分和第2成分，使非反应性气体作为微细气泡分散，调制气泡分散尿烷组合物。2)铸型工序将上述的气泡分散尿烷组合物流入模具，然后进行模具合模。3)固化工序对流入模具的气泡分散尿烷组合物进行加热使其反应固化并对模具内部进行压缩或减压，保持该状态直至不流动。作为为了形成前述微细气泡所使用的非反应性气体，优选为非可燃性气体，具体地说，可例示氮气、氧气、二氧化碳气体、氦气、氩气等稀有气体、这些的混合气体，从成本考虑，最优选使用千燥而除去水分的空气。作为将非反应性气体制成微细气泡状并将其分散到包含硅系表面活性剂的第l成分等中的搅拌装置，可以没有特别限制地使用公知的搅拌装置，具体地说，可例示均化器、溶解器、2轴行星式搅拌机(行星搅拌机、planetarymixer)等。搅拌装置的搅拌叶片的形状也没有特别限制，由于使用槌棒型的搅拌叶片可得到微细气泡，故优选。另外，发泡工序中制成气泡分散液的搅拌与其后的混合工序中添加含活性氢化合物而混合的搅拌，优选形态为使用不同的搅拌装置。特別是混合工序中的搅拌可以不是形成气泡的搅拌，优选使用不巻入大的气泡的搅拌装置。作为这样的搅拌装置，适合的是行星式搅拌机。发泡工序与混合工序的搅拌装置即使使用同一搅拌装置也无妨，还可根据需要对调整搅拌叶片的旋转速度等搅拌条件进行调整来使用。如上述那样，为了制造包含椭圆气泡的聚氨酯发泡体，需要在铸型工序和固化工序中进行与现有的机械发泡法不同的操作。具体进行以下操作。1)情形l前述4寿型工序中，向l个侧面或相对的侧面为可动式的才莫具中流入50体积％左右的量的气泡分散尿烷组合物，然后在模具顶面盖顶盖，进行合模。优选在模具的顶盖上设有用于排出压缩模具时多余的气泡分散尿烷组合物的通气孔。然后，在固化工序中，加热气泡分散尿烷组合物以使其反应固化，并移动模具的侧面来压縮模具，保持该状态直至不流动。压缩的程度优选为原来^黄宽的5095%,更优选为80~90%。此外，优选以从通气孔充分排出多余的气泡分散尿烷组合物的程度进行压缩。此时，椭圆气泡的长轴与模具侧面移动方向几乎垂直。2)情形2前述铸型工序中，向模具中流入50体积％左右的量的气泡分散尿烷组合物，然后在模具顶面盖顶盖，进行合模。优选在模具的至少l个侧面上设有用于排出压缩模具时多余的气泡分散尿烷组合物的通气孔。然后，在固化工序中，加热气泡分散尿烷组合物而使其反应固化，并移动模具的顶盖和/或底面来压缩模具，保持该状态直至不流动。压缩的程度优选为原来高度的50~98%，更优选为85~95%。此夕卜，4尤选以/人通气孔充分排出多余的气泡分散尿烷组合物的程度进行压缩。此时，椭圓气泡的长轴与模具的顶盖或底面的移动方向几乎垂直。3)情形3前述铸型工序中，向模具中流入空间允许的程度的量的气泡分散尿烷组合物，然后在模具顶面盖顶盖，进行合模。在该顶盖上设有用于对模具内部减压的孔。然后，在固化工序中，加热气泡分散尿烷组合物而使其反应固化，并对模具内部减压，保持减压状态直至不流动。减压的程度优选为9030kPa,更优选为9070kPa。此时，椭圆气泡的长轴与才莫具的高度方向几乎垂直。前述聚氨酯发泡体的制造方法中，对反应直至不流动的发泡体块进行加热、后固化，这具有提高发泡体的物理特性的效果，故极其适合。聚氨酯发泡体中，可以使用叔胺系等公知的促进聚氨酯反应的催化剂。考虑混合工序后流入规定形状的模具中的流动时间等而选择催化剂的种类和添加量。然后，使用刨子状或带锯状的切片机对所得聚氨酯发泡体块进行切片而制作聚氨酯发泡层。此时，切片成椭圆气泡的长轴与发泡层的厚度方向平行。通过前述制造方法制得的聚氨酯发泡层，具有长轴与发泡层的厚度方向平行的椭圆气泡，该发泡层的截面中的前述椭圆气泡的平均长径L与平均短径S之比(L/S)为1.5~3，优选为1.5~2。L/S不足1.5时，无法使发泡层高弹性模量化，因此，无法有效抑制发泡层的变形。其结果，保持被研磨材料的保持面的表面精度变差，使用该层叠片保持被研磨材料时，研磨后的被研磨材料的表面平滑性降低。此外，层叠片的耐久性也降低，因此，在使用该层叠片保持被研磨材料时，研磨时的研磨速度的稳定性降低。另一方面，L/S超过3时，浆料容易浸透到发泡层中，由此导致发泡层膨润，研磨速度的稳定性变差。此外，椭圆气泡的平均长径优选为50150(am,平均短径优选为10~100(im。脱离该范围时，存在研磨速度的稳定性变差的倾向。此外，聚氨酯发泡层中的气泡可以包含球状气泡，为了充分体现目标的效果，椭圆气泡的数量比例优选为全部气泡的30%以上，更优选为40%以上。椭圆气泡的数量比例可通过调整模具的压缩或模具内部的减压的程度来调整至目标的范围。聚氨酯发泡层的厚度没有特别限制，优选为0.2~1.2mm,更优选为0.6~lmm。聚氨酯发泡层的比重优选为0.20.5，更优选为0.25~0.4。比重不足0,2时，存在气泡率变得过高、耐久性变差的倾向。另一方面，比重超过0.5时，为了得到某一定的弹性模量而有必要使材料为低交联密度。此时，存在永久形变增大且耐久性变差的倾向。聚氨酯发泡层的硬度优选ASKERC硬度为10~50度，更优选为1535度。ASKERC硬度不足10度时，存在耐久性降低、或者研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。另一方面，超过50度时，存在被研磨材料的保持性变差的倾向。聚氨酯发泡层的压缩率优选为210%,更优选为4~8%。压缩率不足2%时，被研磨材料的保持性变差，压缩率超过10%时，存在耐久性、研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。聚氨酯发泡层的厚度偏差优选为100pm以下，更优选为60[im以下。厚度偏差超过100pm的聚氨酯发泡层，层叠片具有大的起伏。其结果，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性变差的倾向。作为抑制发泡层的厚度偏差的方法，可列举对切片成规定厚度的发泡层表面进4亍抛光的方法。此外，在抛光时，优选以粒度等不同的研磨材料阶段性地进行拋光。基材片的形成材料没有特别限制，可列举例如，聚对笨二曱酸乙二酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酰亚胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚氟乙烯等含氟树脂、尼龙、纤维素等。基材片的厚度没有特别限制，从强度、挠性等观点出发，优选为0.05~0.3mm左右。第4发明的层叠片可通过贴合前述基材片与聚氨酯发泡层来制造。作为贴合基材片与聚氨酯发泡层的方法，可列举例如通过粘合剂将其贴合的方法、将基材片与聚氨酯发泡层夹着双面胶带加压的方法等。双面胶带具有如下通常的结构，即，在无纺布或膜等基材的两面设置粘合层。作为粘合层的组成，可列举例如橡胶系粘合剂、丙烯酸酯系粘合剂等。可在层叠片的基材片表面设置用于贴附研磨头的双面胶带。实施例以下，举出实施例说明本发明，但本发明并不限于这些实施例。[测定、评^介方法](平均气泡径的测定)用刮刀刃将所制作的聚氨酯发泡层尽量薄薄地平行切出厚为lmm以下，以此作为试样。将试样固定到载玻片上，使用SEM(S-3500N、HitachiScienceSystemsLtd.)在100倍下观察。使用图像分析软件(WinRoof、三谷商事林式会社)对所得的图像测定任意范围的全部气泡径，由该值算出平均气泡径。(平均气泡径差的测定)使用SEM在65倍下观察所制作的聚氨酯发泡层的截面。在所得的图像上画出沿厚度方向将聚氨酯发泡层分成4等份的3根直线。求出在该直线的任意2mm之间与气泡相交的直线的线段长度的平均值，将该值作为平均气泡径。分别求出3根直线的平均气泡径，由所得的平均气泡径的最大值和最小值求出厚度方向的平均气泡径差(最大值-最小值)。(连续气泡率的测定)连续气泡率基于ASTM-2856-94-C法测定。其中，重叠IO张冲裁成圓形的聚氨酯发泡层，将此作为试样。测定器使用空气比较式比重计930型(Beckman抹式会社制)。连续气泡率通过下式算出。连续气泡率(％)=[(V-VI)/V]x100V:由试样尺寸算出的表观体积(cm3)VI:使用空气比较式比重计测定的试样的体积(cm3)(连续气泡的平均气泡径以及圆形孔的平均直径的测定)用刮刀刃将所制作的聚氨酯发泡层尽量薄薄地平行切出厚为lmm以下，以此作为试样。将试样固定到载玻片上，使用SEM(S-3500N、HitachiScienceSystemsLtd.)在100倍下观察。使用图像分析软件(WinRoof、三谷商事林式会社)对所得的图像测定任意范围的全部连续气泡的气泡径，由该值算出平均气泡径。此外，测定任意范围的全部连续气泡的圆形孔的直径，由该值算出平均直径。(椭圆气泡的平均长径和平均短径、椭圆气泡的比例的测定)用超薄切片刀沿厚度方向将制作的聚氨酯发泡体片切断，将所得的物质作为测定用试样。用扫描型电子显微镜(HitachiScienceSystemsLtd.制造、S-3500N)在100倍下对测定用试样的截面拍照。然后，使用图像分析软件(MITANICorporation制造、WIN-ROOF),测定任意范围的全部椭圆气泡的长径和短径，由该测定值算出平均长径L、平均短径S以及L/S。此外，算出椭圆气泡相对于全部气泡的数量比例(％)。(氮气透过速度的测定)基于ASTM-D-1434测定基材片和离型片的氮气透过速度[cm3/cm2tcmHg]。具体通过下述方法测定。将基材片和离型片切成12cm4)的大小，以此制作试样。用2张具有10cmcf)的气体透过面积的^反夹入前述试样，对该试样的两面施加压力差，由25°C时的氮气透过体积对时间变化的倾斜度算出氮气透过速度。其中，试样为树脂时压力差为0.5MPa,试样为纸时压力差为0.3MPa。(比重的测定)基于JISZ8807-1976来进行。将制作的聚氨酯发泡层切成4cmx8.5cm的长方形(厚度任意)，以此作为试样，在温度23。C士2。C、湿度50%士5%的环境下静置16小时。测定中使用比重计(SARTORIUSK.K.制造)测定比重。(硬度的测定)基于JISK-7312来进行。将制作的聚氨酯发泡层切成5cmx5cm(厚度任意)的大小，以此作为试样，在温度23。C±2。C、湿度50%±5%的环境下静置16小时。测定时，将试样重叠，使厚度成为10mm以上。使用硬度计(高分子计器公司制造、ASKERC型硬度计、加压面高度3mm),测定与加压面接触起30秒后的》更度。(压缩率的测定)将切成直径7mm的圓(厚度任意)的聚氨酯发泡层作为试样，在温度23。C土2。C、湿度50%±5%的环境下静置40小时。测定使用热分析测定器TMA(SEIKOINSTRUMENTS制造、SS6000)测定压缩率。压缩率的计算式如下所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>Tl:对聚氨酯发泡层从无负荷状态负荷4.9KPa(50g/cm2)的应力并保持60秒时的聚氨酯发泡层的厚度。T2:从T1的状态负荷29.4KPa(300g/cm2)的应力并保持60秒时的聚氨酯发泡层的厚度。(研磨速度稳定性的评价)作为研磨装置使用SPP600S(冈本工作机械公司制造)。对所制作的层叠片贴合玻璃板，进行研磨速度稳定性的评价。研磨条件如下。玻璃板6英寸cj)、厚l.lmm(光学玻璃、BK7)浆料二氧化铈浆料(Ce02、5wt%)浆料量250ml/min研磨垫MHC14B(NittaHaasIncorporated.制造)研磨力口工压力20kPa研磨平台转速45rpm玻璃板转速術pm石开磨时间10min/张经研磨的玻璃板张数500张首先，算出经研磨的每1张玻璃板的平均研磨速度(人/min)。算出方法如下。平均研磨速度=[研磨前后的玻璃板的重量变化量[g]/(玻璃板密度[g/cm3]x玻璃板的研磨面积[cm2]x研磨时间[min])]x108研磨速度稳定性(％)通过如下算出求出从第l张玻璃板至处理张数(100张、300张或500张)的最大平均研磨速度、最小平均研磨速度以及总平均研磨速度(从第l张至处理张数的各平均研磨速度的平均值)，将该值代入下式算出。研磨速度稳定性(％)的数值越低，则表示即便研磨很多玻璃板，其研磨速度也不易变化。本发明中，优选处理500张后的研磨速度稳定性为10%以内。研磨速度稳定性(％)={(最大平均研磨速度-最小平均研磨速度)/总平均研磨速度)x100(吸附性的评价)通过万向接头将具有光滑面的玻璃寿反(50mmcl)xiOmm厚)悬挂在负载传感器上，在该状态下，以150g/cm2的压力在贴附于支撑板的层叠片(口80mm)上吸附10秒钟。然后，以一定速度将玻璃板向上方拉伸(拉伸速度200mm/min),测定玻璃板从层叠片剥离时的剥离强度(kPa)。(表面精度的评价)使用KLA-Tencor公司制造的表面粗糙度测定装置P-15以下述条件测定所制作的聚氨酯发泡层的表面精度(十点平均粗糙度Rz)。测定长度800jim测定速度20,/s测定负载2mg[第l发明]实施例1在容器中加入90重量份EP330N(三井武田化学林式会社制造)、IO重量份二乙二醇、5重量份硅系表面活性剂(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂^司制造)、以及0.2重量^分催化剂(No.25,花王制造)，混合。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，添加38.5重量份MillionateMTL(日本聚氨酯工业制造)，搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。将所调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片(聚对苯二曱酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成气泡分散尿烷层。然后，在该气泡分散尿烷层上覆盖经离型处理的离型片(聚对苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。通过夹辊使气泡分散尿烷层变为厚l.Omm,然后在7(TC下固化40分钟，形成聚氨酯发泡层。然后，剥离聚氨酯发泡层上的离型片。接着，使用抛光机(AMITEC公司制造)对聚氨酯发泡层的表面进行抛光处理，使厚度为0.8mm，调整厚度精度。然后，在聚氨酯发泡层的抛光面上贴附模板，进而使用层压机在基材片表面贴合双面胶带(夕':/^夕、7夕亍一"/、积水化学工业制造)，制作层叠片。图l是显示该聚氨酯发泡层的截面的显微镜照片。可知在聚氨酯发泡层中形成有球状气泡。实施例2将实施例1中调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片(聚对苯二曱酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成气泡分散尿烷层。然后70。C下固化40分钟，形成聚氨酯发泡层。接着，使用抛光机(AMITEC公司制造)对聚氨酯发泡层的表面进行抛光处理，使厚度为0.8mm,调整厚度精度。然后，在聚氨酯发泡层的抛光面上贴附模板，进而使用层压机在基材片表面贴合双面胶带(夕'7'^夕？夕f一7°、积水化学工业制造)，制作层叠片。图2是显示该聚氨酯发泡层的截面的显微镜照片。可知在聚氨酯发泡层中形成有球状气泡。实施例3将实施例1所调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片(聚对苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成气泡分散尿烷层。然后，在该气泡分散尿烷层上覆盖经离型处理的离型片(聚对苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。通过夹辊使气泡分散尿烷层变为厚0.8mm,然后在70。C下固化40分钟，形成聚氨酯发泡层。然后，剥离聚氨酯发泡层上的离型片。在该聚氨酯发泡层上形成有皮层。然后，在该皮层上贴附模板，进而使用层压机在基材片表面贴合双面胶带(夕、、7Vk夕'7夕尹一/、积水化学工业制造)，制作层叠片。图3是显示该聚氨酯发泡层的截面的显微镜照片。可知在聚氨酯发泡层中形成有球状气泡。比4交例1将10重量份热塑性尿烷(RESAMINE7285、大日精化制造)溶解于90重量份二曱基曱酰胺，调制尿烷溶液，并将该尿烷溶液涂布到基材片(聚对苯二曱酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成尿烷膜。然后，将尿烷膜-基材片浸渍到DMF-水混合液(DMF/水=30/70)中30分钟，进而在水中浸渍24小时从而用水置换二甲基甲酰胺，形成聚氨酯发泡层。然后，在发泡层的表面贴附模板，进而使用层压机在基材片表面贴合双面胶带(夕'7'、^夕7夕r一/、积水化学工业制造)，制作层叠片。图4是显示该聚氨酯发泡层的截面的显微镜照片。可知在聚氨酯发泡层中形成有细长水滴状气泡。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>由表1可知，通过使用由本发明的制造方法制作的层叠片，即便研磨许多晶圆，研磨速度也难以变化。[第2发明]实施例1向容器中添加60重量份高分子量多元醇EX-5030(旭硝子抹式会社制造、OHV:33、官能团数3)、40重量份聚己内酯三元醇(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造、PLACCEL305、OHV:305、官能团数3)、5重量份硅系表面活性剂(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂/^司制造)、以及0.18重量份催化剂(No.25花王制造)，混合，调制第2成分(25°C)。另夕卜，平均羟基值(OHVav)为141.8mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为3(计算值)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将40.3重量份作为第l成分的碳化二亚胺改性MDI(日本聚氨酯工业才朱式会社制造、MillionateMTL、NCOwt%:29wt%、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1)，搅拌约1分钟，调制气泡分散尿烷组合物。将调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片(聚对笨二曱酸乙二酯、东洋纺织抹式会社制造、东洋纺酯E5001、厚度0.188mm、氮气透过速度3.72x1(r"[cm3/cm2's'cmHg])上，形成气泡分散尿烷层。然后，在该气泡分散尿烷层上覆盖经离型处理的离型片(聚对苯二甲酸乙二酯、东洋纺织株式会社制造、东洋纺酯E7002、厚度0.05mm、氮气透过速度1.15xl(r1()[cm3/cm2's'cmHg])。通过夹寿昆(间隙0.75mm)4吏气泡分散尿烷层变为厚0.8mm,然后在40。C下固化60分钟，形成聚氨酯发泡层。然后，剥离聚氨酯发泡层上的离型片。在聚氨酯发泡层上形成有皮层。然后，使用层压机在基材片表面贴合双面胶带(夕'7、、^夕夕T—7°、积水化学工业制造)，制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。实施例2使用离型片(聚丙烯、东洋纺织林式会社制造、Toy叩al-SSP4256、厚度0.05mm、氮气透过速度2.33xl0-9[cm3/cm2.s.cmHg])代替实施例1记载的离型片，除此以外，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。比l交例1使用离型片(王子制纸制造、七^一夕一70GS、厚度0.058mm、氮气透过速度1.06x1(T6[cm3/cm2's'cmHg])代替实施例l记载的离型片，除此以外，通过与实施例1同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>可知实施例的层叠片由于表面精度非常高，因而吸附性优异。另一方面，可知比较例的层叠片的表面精度低、吸附性差。[第3发明]向容器中添加60重量份高分子量多元醇EX-5030(旭硝子抹式会社制造、OHV:33、官能团数3)、40重量份聚己内酯三元醇(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造、PLACCEL305、OHV:305、官能团数3)、5重量份硅系表面活性剂(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂〉司制造)、以及0.18重量份催化剂(No.25，花王制造)，混合，调制第2成分(25°C)。另外，平均羟基值(OHVav)为141.8mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为3(计算值)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将40.3重量份作为第l成分的碳化二亚胺改性MDI(日本聚氨酯工业4朱式会社制造、MillionateMTL、NCOwt%:29wt%、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),搅拌约1分钟，调制气泡分散尿烷组合物。将调制的气泡分散尿烷组合物涂布到基材片(聚对苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成气泡分散尿烷层。然后，在该气泡分散尿烷层上覆盖经离型处理的离型片(聚对苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。通过夹辊(间隙0.75mm)使气泡分散尿烷层变为厚0.8mm,然后在40。C下固化60分钟，形成聚氨酯发泡层。然后，剥离聚氨酯发泡层上的离型片。然后，积水化学工业制造)，制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的实施例1夕、'7、、》夕'y，r一7、实施例2向容器中添力口EX-5030(85重量4分)、PLACCEL305(13重量份)、2重量份二乙二醇(OHV:1057、官能团数2)、SH-192(5重量份)、以及0.34重量份催化剂(No.25)，混合，调制第2成分(25°C)。另夕卜，平均羟基值(OHVav)为88.84mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为2.9S(计算值)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将作为第l成分的MillionateMTL(25.2重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH-1.1),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。实施例3向容器中添加45重量份分散有由笨乙烯-丙埽腈共聚物形成的聚合物颗粒的聚合物多元醇EX-940(旭硝子抹式会社制造、OHV:28、官能团数换算成3)、35重量份聚四亚甲基醚二醇(三菱化学工业抹式会社制造、PTMG2000、OHV:56、官能团数2)、PLACCEL305(10重量4分)、二乙二醇(10重量份)、SH-192(5重量份)、以及0.25重量份催化剂(No.25),混合，调制第2成分(25°C)。另外，平均鞋基值(OHVav)为137.4mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为2.55(计算值)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将作为第l成分的MillionateMTL(39重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。实施例4向容器中添力口PTMG2000(700重量份)、150重量份聚四亚甲基醚二醇(三菱化学工业林式会社制造、PTMG650、OHV:173、官能团数2)，边搅拌边进行约l小时减压脱水。然后，将反应容器内置换为氮气。然后，向反应容器内添加436重量份M川ionateMT(日本聚氨酯工业抹式会社制造、PureMDI)。然后，将反应体系内的温度保持为约80。C并使其反应约4小时，合成异氰酸酯末端预聚物A(NCOwt%:7.53wt%)。向容器中添加异氰酸酯末端预聚物A(128重量份)、以及SH-192(5重量份)并混合，调整为40。C并减压脱泡，调制第l成分。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将温度调节为25。C的混合15重量份三乙二醇(OHV:747、官能团数2)以及0.12重量份催化剂(No.25)得到的第2成分添加到前述第1成分中(NCO/OH=1.15),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。另外，平均羟基值(OHVav)为177.2mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为2(计算值)。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果主要形成了在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡。比專交例1向容器中添加EX-5030(90重量份)、PLACCEL305(8重量份)、二乙二醇(2重量份)、SH-192(5重量份)、以及0.36重量份催化剂(No.25)，混合，调制第2成分(25°C)。另外，平均鞋基值(OHVav)为75.24mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为2.98(计算值)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将作为第l成分的MillionateMTL(21.4重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果几乎为独立气泡。比丰交例2向容器中添加PTMG650(850重量份)，边搅拌边进行约1小时减压脱水。然后，将反应容器内置换为氮气。然后，向反应容器内添加MillionateMT(635重量份)。然后，将反应体系内的温度保持为约80。C并使其反应约4小时，合成异氰酸酯末端预聚物B(NCOwt。/。6.99wt%)。向容器中添加异氰酸酯末端预聚物B(150重量份)、以及SH-192(5重量份)并混合，调整为40。C并减压脱泡，调制第l成分。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将温度调节为25。C的混合三乙二醇(15重量份)以及0.1重量份催化剂(No.25)得到的第2成分添加到前述第l成分中(NCO/OH=1.25),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。另外，平均羟基值(OHVav)为259.1mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为2(计算值)。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果几乎为独立气泡。比專交例3向容器中添加PTMG2000(550重量份)以及PTMG650(200重量份)，边搅拌边进行约l小时减压脱水。然后，将反应容器内置换为氮气。然后，向反应容器内添加MillionateMT(620重量份)。然后，将反应体系内的温度保持为约80。C并使其反应约4小时，合成异氰酸酯末端预聚物C(NCOwt%:11.73wt%)。向容器中添加异氰酸酯末端预聚物C(]37重量份)、以及SH-192(5重量份)并混合，调整为40。C并减压脱泡，调制第l成分。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将温度调节为25。C的混合三乙二醇(25重量份)以及0.08重量份催化剂(No.25)得到的第2成分添加到前述第l成分中(NCO/OH=1.15),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。另外，平均羟基值(OHVav)为252.15mgKOH/g(计算值)，平均官能团数(fav)为2(计算值)。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。在显微镜下观察聚氨酯发泡层的截面，结果几乎为独立气泡。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>实施例14的层叠片由于具有连续气泡结构，因而表面精度高，且吸附性也优异。比较例l的层叠片具有独立气泡结构、吸附性优异，但表面精度差。因此，研磨时的被研磨材料的研磨均匀性降低。比较例2和比较例3的层叠片具有独立气泡结构，吸附性和表面精度均差。[第4发明]实施例1向容器中添加60重量份高分子量多元醇EX-5030(旭硝子抹式会社制造、OHV:33、官能团数3)、40重量份聚己内酯三元醇(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造、PLACCEL305、OHV:305、官能团数3)、5重量份硅系表面活性剂(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂〉司制造)、以及0.18重量份催化剂(No.25,花王制造)，混合，调制第2成分(25。C)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将40.3重量份作为第l成分的碳化二亚胺改性MDI(日本聚氨酯工业抹式会社制造、MillionateMTL、NCOwt%:29wt%、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。将前述气泡分散尿烷组合物流入才莫具(宽800mm、长1300mm、高35mm)中直至液面高度成为31mm(88体积％)。然后在该模具顶面覆盖以3mm间隔设置巾3mm的通气孔的顶盖，进行合模。然后在7(TC加热该组合物使其反应固化，并移动模具的侧面将才莫具的宽度乂人8OOmm压缩至700mm,保持该状态直至混合液不流动。另外，多余的组合物从通气孔排出。然后，在70。C后固化1小时，得到聚氨酯发泡体块。使用带锯型切片机(Fecken公司制造)将该聚氨酯发泡体块切片，使得椭圆气泡的长轴与厚度方向平行，得到聚氨酯发泡体片。接着，4吏用抛光机(AMITEC公司制造)对该片的表面进行抛光处理，直到厚度为0.8mm,调整厚度精度。然后，以直径17cm的大小沖裁该经抛光处理的片，得到聚氨酯发泡层。然后，使用双面胶带(积水化学工业制造、夕、、7Vk夕少夕r一y)贴合聚氨酯发泡层和基材片(聚对苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。然后在聚氨酯发泡层的抛光面上贴附模板，进而使用层压机在基材片表面贴合双面胶带(夕、、7V"夕？夕r一7°、积水化学工业制造)，制作层叠片。实施例2向容器中添加45重量份分散有由苯乙雄-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒的聚合物多元醇EX-940(旭硝子抹式会社制造、OHV:28、官能团数换算成3)、35重量份聚四亚曱基醚二醇(三菱化学工业株式会社制造、PTMG2000、OHV:56、官能团数2)、PLACCEL305(10重量4分)、二乙二醇(10重量份)、SH-192(5重量份)、以及0.25重量份催化剂(No.25),混合，调制第2成分(25°C)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将作为第l成分的MillionateMTL(39重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=l.])，搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。实施例3通过与实施例1同样的方法调制气泡分散尿烷组合物。将前述气泡分散尿烷组合物流入模具(宽800mm、长1300mm、高35mm)中直至液面高度成为31mm(88体积％)。然后在该模具顶面覆盖以3mm间隔设置小3mm的通气孔的顶盖，进行合才莫。然后，将该模具放入真空炉中，在70。C加热该组合物使其反应固化，并减压至80kPa,保持该状态直至混合液不流动。另夕卜，多余的组合物从通气孔排出。然后，在70。C后固化1小时，得到聚氨酯发泡体块。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。实施例4向容器中添加EX-5030(90重量份)、PLACCEL305(8重量份)、二乙二醇(2重量份)、SH-192(5重量^f分)、以及0.36重量份催化剂(No.25)，混合，调制第2成分(25°C)。然后，使用搅拌叶片以转速900rpm进行约4分钟激烈搅拌以使气泡进入反应体系内。然后，将作为第l成分的MillionateMTL(21重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH-1.1),搅拌约l分钟，调制气泡分散尿烷组合物。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。比4交例1通过与实施例1同样的方法调制气泡分散尿烷组合物。将前述气泡分散尿烷组合物流入模具(宽800mm、长1300mm、尚35mm)中。然后，在70。C加热该组合物使反应固化。然后，在7(TC后固化1小时，得到聚氨酯发泡体块。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。比專交例2通过与实施例1同样的方法得到聚氨酯发泡体块。使用带锯型切片机(Fecken公司制造)将该聚氨酯发泡体块切片，使得椭圆气泡的长轴与厚度方向垂直，得到聚氨酯发泡体片。然后，通过与实施例l同样的方法制作层叠片。<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>由表4可知，本发明的层叠片由于被研磨材料的吸附性优异且耐久性优异，因而，长时间研磨速度的稳定性优异。权利要求1.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。2.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。3.层叠片，其通过权利要求1或2所述的方法制造而成。4.根据权利要求3所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层具有平均气泡径为20300pm的球状的微细气泡。5.根据权利要求4所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的厚度方向的平均气泡径差(平均气泡径最大值-平均气泡径最小值)为50jim以下。6.根据权利要求3所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的比重为0.2~0.5。7.根据权利要求3所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的ASKERC硬度为10~50度。8.根据权利要求3所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的压缩率为2~10%。9.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在涂布的气泡分散尿烷组合物上层叠氮气透过速度为lxl(r7[cm3/cm2's.cmHgpV、下的离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成具有连续气泡的聚氨酯发泡层的工序。10.根据权利要求9所述的层叠片的制造方法，其中，前述基材片的氮气透过速度为lxl(T7[cm3/cm2.s.cmHg]以下。11.根据权利要求9所述的层叠片的制造方法，其中，前述基材片为聚对苯二甲酸乙二酯膜，前述离型片为实施了离型处理的聚对苯二曱酸乙二酯膜。12.层叠片，其通过权利要求9所述的方法制造而成。13.根据权利要求12所述的层叠片，其中，连续气泡的平均气泡径为20300jim。14.根据权利要求12所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的比重为0.2~0.5。15.根据权利要求12所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的ASKERC硬度为10~50度。16.根据权利要求12所述的层叠片，其中，聚氨酯发泡层的压縮率为2~10%。17.层叠片，该层叠片由基材片和聚氨酯发泡层形成，其特征在于，前述聚氨酯发泡层具有球状的连续气泡，在该连续气泡的表面形成有圆形孔。18.根据权利要求17所述的层叠片，其中，连续气泡的平均气泡径为20300(im,圆形孔的平均直径为100pm以下。19.根据权利要求17所述的层叠片，其中，前述聚氨酯发泡层含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，前述含活性氢化合物含有60~85重量％的官能团数为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇。20.根据权利要求17所述的层叠片，其中，前述聚氨酯发泡层含有异氰酸酯成分和含高分子量多元醇的含活性氢化合物作为原料成分，前述高分子量多元醇含有20~100重量％的聚合物多元醇，该聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒。21.根据权利要求20所述的层叠片，其中，前述聚合物多元醇的官能团数为24、羟基值为20100mgKOH/g。22.根据权利要求19所述的层叠片，其中，前述含活性氢化合物含有215重量％的羟基值为400~1830mgKOH/g的低分子量多元醇和/或胺值为400~1870mgKOH/g的低分子量多胺。23.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含活性氲化合物作为原料成分，该含活性氢化合物含有60~85重量％的官能团数为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；通过使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圓形孔的球状的连续气泡；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。24.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含活性氲化合物作为原料成分，该含活性氢化合物含有60~85重量％的官能团lt为2~4、羟基值为20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。25.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氢化合物作为原料成分，该聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；通过使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及将聚氨酯发泡层的厚度调整均匀的工序。26.层叠片的制造方法，包括通过机械发泡法调制气泡分散尿烷组合物的工序，该气泡分散尿烷组合物含有异氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氢化合物作为原料成分，该聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物颗粒；将气泡分散尿烷组合物涂布到基材片上的工序；在气泡分散尿烷组合物上层叠离型片的工序；通过挤压单元使厚度均匀并使气泡分散尿烷组合物固化而形成聚氨酯发泡层的工序，该聚氨酯发泡层具有在气泡表面形成有圆形孔的球状的连续气泡；以及剥离聚氨酯发泡层上的离型片的工序。27.层叠片，其通过权利要求23~26任一项所述的方法制造而成。28.根据权利要求27所述的层叠片，其中，连续气泡的平均气泡径为20~300pm,圆形孔的平均直径为100(im以下。29.层叠片，该层叠片包括基材片和聚氨酯发泡层，其特征在于，前述聚氨酯发泡层具有长轴与聚氨酯发泡层的厚度方向平行的椭圆气泡，前述聚氨酯发泡层的截面中的椭圓气泡的平均长径L与平均短径S之比(L/S)为1.5~3。30.根据权利要求29所述的层叠片，其中，前述椭圆气泡的数量比例为全部气泡的30%以上。31.根据权利要求29所述的层叠片，其中，前述椭圆气泡为连续气泡。全文摘要第1发明的目的在于提供极其容易地制造保持面的表面精度高的层叠片的方法。第2发明的目的在于提供极其容易地制造保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性优异的层叠片的方法。第3发明的目的在于提供保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性优异的层叠片及其制造方法。第4发明的目的在于提供被研磨材料的吸附性优异且耐久性优异的层叠片。本发明的层叠片包括基材片和聚氨酯发泡层。文档编号B29C39/12GK101223016SQ20068002594公开日2008年7月16日申请日期2006年7月7日优先权日2005年7月15日发明者广濑纯司,福田武司申请人:东洋橡胶工业株式会社