专利名称：净化半导体制程废气的合氧供热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制程废气的净化设备，特别涉及一种净化半导体制程废气的合氧供热装置。
背景技术：
周知在半导体的产制过程中，会产生许多具有毒性、腐蚀性及易燃性的制程废气，为了避免该废气污染环境而造成公害，必须先将该废气内的有害物质予以过滤去除的后，才能将无害的废气排放至外界大气。传统的半导体制程废气的处理方式，包含一种火焰净化废气的方式及另一种热空气净化废气的方式。其中，以火焰净废气化的方式，必须供给燃气进入废气处理槽加以点燃形成高温火焰，通过该高温火焰而将废气中的有害物质加以烧失而取得净化废气的效果；以热空气净化废气的方式，是自外界供给高温热空气进入废气处理槽内，使与有害废气混合，并将有害物质加以烧失而取得净化废气的效果。针对上述供给热空气以净化废气的方式而言，现阶段所公开的相关技术，是将一热空气供应管组设于该废气处理槽壁上，并以不是和废气入口方向相同的供热方式，将热空气导入废气处理槽内，使与有害废气混合而将有害物质加以烧失。但是，由于进入废气处理槽内的半导体制程废气是经由废气泵(DRY PUMP)驱动而具有一特定的给气压力，导致该处理槽中的废气能和该不同方向供入的热空气发生混合后而净化有害物质的作用时间极为有限，乃至于净化效率相对受到影响。再者，由于净化半导体制程废气所用的设备，是由一合氧头座(OXYGENATED HEAD)结合在该废气处理槽上而形成，上述的废气导管以及一干空气导管与一氮气导管通常是设在该合氧头座上，以便导引该废气、干空气及氮气进入处理槽内，接受高温的火焰或热空气的净化处理。然而，在净化处理过程中，难免会在所述废气、干空气及氮气等导管的排放口处堆积粉末(POWDER)，由于该多个排放口是位在处理槽内，清理不易，在粉末日积月累的下，易对该多个气体的排放口形成气阻，而影响处理槽的使用寿命。此外，传统设于合氧头座上的废气导管，受限于合氧头座上的组设面积，使该废气导管的管孔内径有由进气方向往排气方向逐渐缩小的情形，使得废气处理槽内的废气排放口的口径较小，如此一来，势必在废气供应管路中形成背压，进而增加废气给气端的废气泵的负载，再加上该废气导管的排放口处容易推积粉末，乃至于造成废气泵的负载过大而有发生跳机(当机)致停止运作的问题。
发明内容本实用新型的目的旨在改善下列问题I.热空气进入废气处理槽内与废气接触的时间受限而影响净化废气中有害物质的效率。2.设置于合氧头座上的废气导管、干空气导管及氮气导管不易拆卸，导致难以清除所述导管的排放口堆积的粉末，而影响废气处理设备的使用寿命。3.废气导管的废气排放口的口径较小或不一致，导致供应废气进入处理槽过程中易生背压，而影响废气泵的正常运作。为实现上述的目的并解决问题，本实用新型提供一种净化半导体制程废气的合氧供热装置，其技术手段包括一处理槽；一头座，罩设于该处理槽顶部，该头座上设有一个以上的废气导管及一个以上的 热管;其中该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成至少一热空气排放口，该热空气排放口低于该废气排放口一特定距离。根据上述技术手段，能够增加废气处理槽内的废气与该热管产生的热源的接触时间，进而提升热空气净化废气中有害物质的效率。本实用新型的技术手段及其相应的功效还包含所述头座包含一母座及一结合于母座上的子座；其中，该废气导管包含一设于该子座上的外导管，及一设于该母座上且延伸至该处理槽内形成该废气排放口的内导管。如此，将有利于必要时将母座上的子座卸下，使子座上的外导管同时被卸除，并使内导管显露，而利于清除该废气排放口上堆积的粉末，以维持废气处理设备的使用寿命。所述头座包含一母座及一结合于母座上的子座；其中，该热管是设于该子座上，并穿过该母座而植入该处理槽内形成该管部。如此，将有利于必要时将母座上的子座卸下，使子座上的热管能同时自处理槽内被取出，并显露出热管的热空气排放口，进而利于清除该热空气排放口上堆积的粉末，以维持热空气的供气顺畅性。其中还包含一设于该子座上的空气导管，其具有一空气排放口与处理槽相连通。该母座底部具有一围栏，该围栏底部具有若干通气孔，而于围栏内形成一空气室，该空气室与空气排放口相连通，且空气室经由通气孔而与处理槽相连通。所述废气导管与热管的设置数量均为偶数，且是采间隔方式而对应设置于该头座上。如此，有利于头座上同时配置多个废气导管与热管。所述废气导管内的管孔直径均相同。如此，能够避免供应废气进入处理槽过程中产生背压，并维持废气泵正常运作的机能。所述热管为内载有电热丝的电热管。如此，能够凭借该热管而将常温空气直接加温生成热空气，并供入废气处理槽内作为净化废气中有害物质的用，而免于废气处理设备外附设热空气产生设备。为充分了解本实用新型上述技术手段及其效能，而据以实施本实用新型，请参阅实施方式内容并配合附图说明如下
图I是本实用新型的立体图；图2是图I所示配置的立体分解图；图3是图I所示配置的俯视图；[0027]图4是图3中A-A断面的剖示图；图5是图3中B-B断面的剖示图；图6是图I所示热管的局部放大剖示图。附图标记说明处理槽10 ;槽壁11 ;子法兰12 ;头座20 ;母法兰21 ;锁接孔22 ;子座23 ;母座24 ;围栏25 ;通气孔26 ;空气室27 ;废气导管30 ;废气排放口 31 ;外导管32 ;内导管33 ;热管40 ;锁接部41 ;管部42 ;热空气排放口 43 ;电热丝44 ;内管45 ;外管46 ;特定距离h ;空气导管50 ;空气排放口 51 ;氮气导管60。
具体实施方式请合并参阅图I至图5所示；其中，图I揭示本实用新型的立体图，图2揭示图I所示配置的立体分解图，图3揭示图I所示配置的俯视图，图4揭示图3中A-A断面的剖示图，图5揭示图3中B-B断面的剖示图。由上述附图说明本实用新型提供一种净化半导体制程废气的合氧供热装置，包括一处理槽10及一头座20 ;其中该处理槽10呈筒状型体，其槽壁11上可依需求而设置水墙，以防止粉末沾覆囤积，槽壁11顶端具有一子法兰(FLANGE) 12，用以组设该合氧头座20。在本实用新型的具体实施上，并未于处理槽10的槽壁11上装设任何加热废气所需的元件，但实际上，该处理槽10的槽壁11内层亦可配置有电热器，对处理槽10内的废气进行加热，但不影响本实用新型配置后述热管元件的实施。该头座20实质为一合氧头座(OXYGENATED HEAD)，座体外缘具有一母法兰21，用以对应上述处理槽的子法兰11而将头座20罩设于该处理槽10顶部，该子、母法兰之间可供对锁若干螺栓，使头座20与处理槽10之间能稳固的结合。并利用该头座20组设一个以上的废气导管30及一个以上的热管40 ;其中该废气导管30 —端是衔接于半导体制程废气的供应端，另一端是固定于该头座20上。该废气导管30依组装配置环境上的需求而可制成弯曲状管体，且依导气通畅性上的要求而使该废气导管30内部具有相同的管径。该废气导管30固定于头座20上的端部是穿过该头座20而延伸至该处理槽10内，进而形成一朝下的废气排放口 31。此外，废气导管30外露的管壁上可以配置有分歧状的氮气导管60，以便导入氮气与废气一起混合后而供入处理槽10内。该热管40实质为一供应热空气的直管状元件，热管40的外壁上具有一锁接部41，且于该头座20上欲组装热管40的位置上也形成有一锁接孔22，由此将锁接部41螺组于锁接孔22上，以便于该头座20上设置热管40。该热管40并具有一相当长度的管部42能够植入该处理槽10内，特别的是该管部42是沿该废气排放口 31方向而延伸形成，且该管部42 一端形成至少一热空气排放口 43，该热空气排放口 43实质上可以是多个孔，且是分布于管部42近底端的管壁四周，再者该空气排放口 43低于该废气排放口 31—特定距离h。由上述说明不难了解该热管40植入废气处理槽10的深度相对较深于该废气排放口 31，特别是使该管部42与热空气排放口 43皆低于废气排放口 31，其中该热空气排放口 43与该废气排放口 31之间甚至保有该特定距离h的位差，且由于该热管42是沿该废气排放口 31方向而延伸形成，因此当半导体制程废气经由废气排放口 31载入处理槽10内时，在特定距离h范围内流动的废气，能够先和热管40的管部42接触，换言之，由热管40的管部42产生的热辐射能，便能够先与特定距离h范围内流动的废气进行热交换，产生第一道加热废气的作用，随后沿着特定距离h顺流而下的废气并随即和废气排放口 31涌出的热空气进行热交换，产生第二道加热废气的作用。如此反复实施，便能够增加废气处理槽10内的废气与该热管40产生的热源的接触时间，进而提升热空气净化废气中有害物质的效
率在进一步的具体实施上，本实用新型还包含下列实施细节所述头座20可以是由一母座24与一子座23相互结合而成(如图2所示)，该子、母座23、24之间可以配置利于拆卸及组装使用的螺栓或其他等效模组方式，使子座23能够结合于母座24上。基于上述子、母座23、24的实施方式，而得以将所述废气导管30实施成包含一外导管32与一内导管33，并使该外导管32固设于该子座23上，且该内导管33固设于该母座24上。其中，上述氮气导管60是设于外导管32上；该内导管33是坐落于处理槽10内，且延伸形成该废气排放口 31。如此配置，将有利于必要时将母座24上的子座23卸下，使子座23上的外导管32同时被卸除，并使内导管33显露，而利于清除该废气排放口 31上堆积的粉末，以维持废气处理设备的使用寿命。基于上述子、母座23、24的实施方式，也利于将所述热管40设于该子座23上，并穿过该母座24而植入该处理槽10内形成该管部及管部一端的热空气排放口 43。如此配置，也有助于卸下子座23时能同时从处理槽10中取出该热管40，并显露出热管的热空气排放口，进而利于清除该热空气排放口 43上堆积的粉末，以维持热空气的供气顺畅性。本实用新型也包含在该子座23上设置至少一空气导管50，以便导引清洁的干空气(CLEAN DRY AIR，CDA)进入该处理槽10内；因此，在上述卸下子座23时也能同时卸下该空气导管50，以清除其空气排放口 51上易生堆积的粉末。基于如此配置，本实用新型的母座24底部也可附设一围栏25，且围栏25底部布设有若干通气孔26，使围栏25内形成一空气室27，并使空气室27与该空气排放口 51相连通，且该空气室27经由通气孔26而与处理槽10相连通；据此，该空气导管50能先将清洁的干空气导入空气室27内暂时囤积后，再经由该布设的通气孔26而以更加均匀且分散的方式将空气室27内的清洁的干空气导入处理槽10内，以便在处理槽10内一同接受热空气的加热而产生氢离子(H+)，提供净化废气中有害物质的所需。此外，上述废气导管30、热管40、空气导管50及氮气导管60的设置数量均可为多个，但由于废气导管30的管径远大于热管40、空气导管50及氮气导管60，为了能够在头座20既定且有限的面积上设置废气导管30、热管40与空气导管50，特别限定该废气导管30与热管40的设置数量可以实施为偶数，而采相互间隔方式而对应设置于该头座20上，进而有利于头座20上同时配置多个废气导管30、热管40、空气导管50及氮气导管60，以提升处理槽10的废气净化量能。由于所述废气导管30 (包含外导管32与内导管33)的管孔直径均相同，因此能够避免供应废气进入处理槽10过程中产生背压，以维持设于废气泵(未揭示)正常运作的机倉泛。另请参阅图6,揭示图I所示热管的局部放大剖示图,说明所述热管40实质上可为内载有电热丝44的电热管，使电热丝44圈绕于一内管45与外管46之间，而将外界给压供入内管45内的空气瞬间加温成热空气，以便将热空气供入处理槽10内；或者，所述热管40亦可实施成没有内载电热丝的热空气供应管，而仅专责导引外界给压供应的热空气进入处理槽10内，作为净化废气中有害物质之用。[0045] 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则的内所做的任何修改、替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。
权利要求1.一种净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，包括 一处理槽； 一头座，罩设于该处理槽顶部，该头座上设有一个以上的废气导管及一个以上的热管；其中 该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成至少一热空气排放口，该热空气排放口低于该废气排放口。
2.如权利要求I所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该头座包含一母座及一结合于母座上的子座。
3.如权利要求2所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该废气导管包含一设于该子座上的外导管，及一设于该母座上且延伸至该处理槽内形成该废气排放口的内导管。
4.如权利要求2所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该热管是设于该子座上，并穿过该母座而植入该处理槽内形成该管部。
5.如权利要求2所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，还包含一设于该子座上的空气导管，其具有一空气排放口与处理槽相连通。
6.如权利要求5所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该母座底部具有一围栏，该围栏底部具有若干通气孔，而于围栏内形成一空气室，该空气室与空气排放口相连通，且空气室经由通气孔而与处理槽相连通。
7.如权利要求I所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该废气导管与热管的设置数量均为偶数，且是采间隔方式而对应设置于该头座上。
8.如权利要求I所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该废气导管内的管孔直径均相同。
9.如权利要求I所述净化半导体制程废气的合氧供热装置，其特征在于，该热管为内载有电热丝的电热管。
专利摘要本实用新型提供一种净化半导体制程废气的合氧供热装置，包括罩设于处理槽顶部的头座，头座上设有废气导管与热管，该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成一热空气排放口，该热空气排放口低于该废气排放口一特定距离，以供应热空气进入处理槽内，并增加废气与该热管产生的热源的接触时间，以净化废气中的有害物质。
文档编号F23G7/06GK202382256SQ201120432178
公开日2012年8月15日 申请日期2011年11月3日 优先权日2011年10月6日
发明者冯五裕 申请人:东服企业股份有限公司