一种AIN粉专用高温旋转烧结炉的制作方法

文档序号:19161502发布日期:2019-11-16 01:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,包括炉架(1)、炉体(2)、旋转坩埚(3)、传动机构(4)、真空机构(5)、气路系统和电控系统,所述炉体(2)设置在炉架(1)上,该炉体(2)为卧式桶状结构,其一侧具有炉门(22),所述旋转坩埚(3)可转动的设置于炉体(2)内,该旋转坩埚(3)具有桶状结构,其靠近炉门(22)的一侧设有坩埚盖(31),所述坩埚盖(31)上设有排气孔(32),所述旋转坩埚(3)上位于坩埚盖(31)的相对侧设有进气孔(33),该旋转坩埚(3)与传动机构(4)相连,所述传动机构(4)包括步进电机(41)、减速器(42)、传动链条(43)和传动轴(44),所述步进电机(41)设置在炉架(1)上,其输出端设有减速器(42),所述减速器(42)通过传动链条(43)驱动传动轴(44),所述传动轴(44)靠近旋转坩埚(3)的一侧设有轴向插槽,所述旋转坩埚(3)靠近传动轴(44)的一侧设有石墨连接轴(34),该石墨连接轴(34)内设有轴向贯穿其本体且与进气孔(33)相连通的第一进气管(35),所述传动轴(44)与石墨连接轴(34)相连,所述第一进气管(35)插装入轴向插槽内,所述传动轴(44)和第一进气管(35)上分别设有相匹配的第一径向通孔和第二径向通孔(36),所述气路系统上第二进气管(71)的出气口位于第一径向通孔的一侧用于向第一径向通孔内送气,所述炉体(2)与真空机构(5)连通,并与电控系统的控制柜(61)和配电柜(62)电气信号连接。

2.根据权利要求1所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述炉体(2)包括炉壳(21)、炉门(22)、隔热屏(23)和加热器(24),所述隔热屏(23)设置于炉壳(21)与旋转坩埚(3)之间,所述加热器(24)装配在隔热屏(23)内部,并与电极电连接。

3.根据权利要求2所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述隔热屏(23)、加热器(24)、旋转坩埚(3)为高纯石墨材料,所述隔热屏(23)采用石墨硬毡组装成长方体结构。

4.根据权利要求2所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述炉壳(21)具有双壁水冷结构,该炉壳(21)上设有抽真空接口、排气接口、热偶和观察窗。

5.根据权利要求1所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述炉体(2)内设有支撑座(25),所述支撑座(25)上端两侧设有滚轴(26),所述旋转坩埚(3)可旋转的设置于滚轴(26)上。

6.根据权利要求1所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述传动机构(4)和炉体(2)上设有一对轴承(45),所述传动轴(44)可转动的设置于一对轴承(45)内,所述第一径向通孔位于一对轴承(45)之间。

7.根据权利要求6所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述传动轴(44)上位于一对轴承(45)之间的外部设有冷却夹套(46),所述第二进气管(71)伸入冷却夹套(46)内并延伸至第一径向通孔一侧。

8.根据权利要求7所述的ain粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,所述传动轴(44)上位于冷却夹套(46)的外侧设有波纹密封管(47)。

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