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全自动LED硅片清洗设备的制作方法
文档序号:13062800
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来源:国知局
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全自动LED硅片清洗设备的制作方法与工艺
技术特征:
技术总结
本发明公开了全自动LED硅片清洗设备,其技术方案要点是:包括机体,所述机体上设有清洗区,所述清洗区包括酸液槽,还设有控制酸液槽上方开口打开和闭合的开合机构。本发明的优点是在清洗过程中减少酸液或碱液挥发对工作环境的影响。
技术研发人员:
轩云喜
受保护的技术使用者:
北京南轩兴达电子科技有限公司
技术研发日:
2017.08.25
技术公布日:
2017.12.01
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