基板清洗装置和使用其清洗基板的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶显示器制造领域，特别涉及一种基板清洗装置。本发明还涉及使用这种基板清洗装置来清洗基板的方法。
【背景技术】
[0002]在液晶面板快速发展的今天，产品的成品率提升日显重要。产品成品率决定产品的市场竞争力和工厂的生命力。
[0003]液晶面板的成品率受很多因素的影响，例如在场效应晶体管(即，TFT)的制程工艺中产生的斑点(即，Mura)会对面板产生重大影响，从而极大的影响液晶面板的成品率。
[0004]TFT制程工艺中的湿制程通常包括强酸或强碱(即，药剂)制程和之后的水洗制程，其中强酸或强碱制程用以进行蚀刻，水洗制程用以冲洗掉这些蚀刻药剂。水洗制程通常通过以下方式来实现:使用水刀在基板上均匀地涂布一层水膜以快速洗掉基板上残留的药液。但是，由于外界环境中的水滴会在基板接触到水刀之前滴落到基板上，并最终导致所制备的液晶面板出现不可修复的斑点，从而严重影响液晶面板的成品率。
【发明内容】
[0005]针对上述问题，本发明提出了一种基板清洗装置。在使用根据本发明的基板清洗装置清洗基板时，外界环境中的水滴不会滴落到基板上，从而避免了基板出现蚀刻程度不同的状况，并由此避免了液晶面板出现不可修复的斑点的问题。
[0006]根据本发明的第一方面的基板清洗装置，包括:护罩，该护罩包括顶板和从顶板向下延伸的侧壁，设置在护罩内的喷水器，护罩和喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，并且侧壁延伸到基板表面附近。
[0007]在使用根据本发明的基板清洗装置来清洗基板时，护罩遮盖了基板。这样，在基板遇到喷水器之前，外界环境中的水滴最多只能落到护罩上而不是基板上。由此，残留在基板上的药剂液膜也就不会被局部地稀释，从而基板的整体蚀刻程度会为相同。这样，就从根本上避免了液晶面板出现不可修复的斑点，提高了液晶面板的成品率。此外，由于喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，因此喷水器能在基板上形成一层均匀的水膜，即对残留在基板上的药液进行均匀地稀释，这也保证了基板的整体蚀刻程度均相同，并且最终提高了液晶面板的成品率。
[0008]在一个实施例中，喷水器包括方向能调整的水喷嘴。这样，能够根据实际情况随时调整喷水器的喷水方向，从而保证能在基板上形成一层均匀的水膜。在一个实施例中，水喷嘴斜朝向前方。这样，喷水器喷出的水能够更有效地冲刷基板的表面，提高了基板的清洗效果。在一个实施例中，喷水器为水刀。水刀能够喷出厚度非常薄的水幕，非常有利于控制喷到基板上的水量，以不但实现清洗基板而且能够大幅度节省用水。
[0009]在一个实施例中，在护罩内，在喷水器的后方还设置有用于在基板表面上形成定向气流的吹风器。在一个优选的实施例中，吹风器为风刀。
[0010]在一个实施例中，吹风器包括气喷嘴，该气喷嘴所处的直线与基板的交点相邻地处于水喷嘴所处的直线与基板的交点的后方。这样，吹风器产生的风会向前吹动喷水器喷到基板上水，防止水向后扩散。由此，能够防止基板上残留的药液被不均匀地稀释而造成基板的蚀刻程度不同，从而避免了所制备的液晶面板出现不可修复的斑点。
[0011]在一个实施例中，吹风器的高度低于喷水器的高度。这样，来自吹风器的气流不会受到任何阻挡，而是直接吹在基板上，从而能进一步防止喷水器喷到基板上的水向后扩散。
[0012]在一个实施例中，该装置还包括抽气组件，在护罩的顶板上设置有排气口。抽气组件能够将护罩内的水汽抽走，从而避免了护罩内的水汽凝结成滴落到基板上的水滴，也就避免了基板上残留的药液的不均匀稀释造成基板蚀刻程度不同，进而避免了液晶面板出现不可修复的斑点。
[0013]根据本发明的第二方面，提出了一种使用上文所述的装置来清洗基板的方法，包括:将基板沿从后到前的方向穿过护罩，将喷水器的水喷嘴调整为斜朝向前方，以向基板上喷水而实现清洗。
[0014]在一个实施例中，装置内还包括抽气组件，以将护罩内水汽抽走。
[0015]在一个实施例中，在护罩内，在喷水器的后方还设置有吹风器，吹风器在基板表面上形成向前的定向气流以向前吹动基板上的水。
[0016]在本申请中，方位用语“前方”是指基板运动的方向。方位用语“后方”是指与“前方”相反的方向。
[0017]与现有技术相比，本发明的优点在于:(I)根据本发明的基板清洗装置包括护罩，在基板遇到喷水器之前，外界环境中的水滴最多只能落到护罩上而不是基板上。由此，残留在基板上的药剂液膜的就不会被局部地稀释，从而基板的整体蚀刻程度为相同。这样，就从根本上避免了液晶面板出现不可修复的斑点，提高了液晶面板的成品率。(2)由于喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，因此喷水器能在基板上形成一层均匀的水膜，即对残留在基板上的药液进行均匀地稀释，这也保证了基板的整体蚀刻程度均相同，并且最终提高了液晶面板的成品率。
【附图说明】
[0018]在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
[0019]图1示意性地显示了根据本发明的基板清洗装置的侧视图。
[0020]图2是图1的A向视图。
[0021]图3示意性地显示了根据本发明的基板清洗装置在使用中的状态。
[0022]在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
【具体实施方式】
[0023]下面将结合附图对本发明作进一步说明。
[0024]图1示意性地显示了根据本发明的基板清洗装置10(以下称之为装置10)的侧视图。如图1所示，装置10包括护罩11和设置在护罩11内的喷水器12。护罩11包括顶板13和从顶板13向下延伸的侧壁14。应理解地是，装置10还可以根据需要而包括支架15(如图3) ο
[0025]对于特定尺寸的基板而言，护罩11和喷水器12的宽度覆盖了基板的宽度，并且侧壁14延伸到基板表面附近。这样，在使用装置10清洗基板31时(见图3)，护罩11整体地遮盖了基板31，从而在基板31遇到喷水器12之前，外界环境中的水滴最多只能落到护罩11上。由于喷水器12的宽度覆盖了基板31的宽度