硅片切割机滤芯的制作方法

文档序号:11462214阅读:161来源:国知局
硅片切割机滤芯的制造方法与工艺

本实用新型属于切割设备技术领域,具体涉及一种硅片切割机滤芯。



背景技术:

硅片切割机在硅片生产的切割工序发挥着巨大的作用,但是硅片切割机在长时间使用过程中,在过滤液的长期冲击及化学腐蚀下,容易造成滤网损坏,而且滤网也未有结构进行支撑容易受到冲击破损,由于滤网固定于滤芯中且为不可拆卸结构,因此当滤网破损后,就必须更换整个滤芯,使得滤芯使用寿命变低,生产成本增大,而且更换过程也需要耗费较长时间。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种硅片切割机滤芯,解决了由于现有滤芯的滤网不可拆卸、当滤网破损则需更换整个滤芯的问题。

本实用新型所采用的技术方案是:硅片切割机滤芯,包括圆柱形滤芯框架,滤芯框架的侧壁包设有支撑侧板,支撑侧板上设置有多个过滤孔,滤芯框架和支撑侧板之间夹设有滤网,滤芯框架的下端面连接有支撑底板,支撑底板上也设置有多个过滤孔,滤芯框架的下端面与支撑底板之间夹设有滤网。

本实用新型的特点还在于,

滤芯框架的上端具有外沿,所述外沿的下端面设置有O型圈。

滤芯框架与支撑侧板通过螺栓连接。

滤芯框架的下端焊接有法兰,法兰和支撑底板通过螺栓连接。

法兰上刻设有O型圈槽,所述O型圈槽内设置有密封垫进行密封。

支撑侧板和支撑底板为孔板。

本实用新型的有益效果是:本实用新型的硅片切割机滤芯解决了由于现有滤芯的滤网不可拆卸、当滤网破损则需更换整个滤芯的问题。本实用新型的硅片切割机滤芯结构简单,当需更换滤网时,只需拆掉螺栓抽出旧滤网即可换上新滤网,拆卸、安装十分方便,减少了更换滤网的时间及整体更换滤芯的成本。

附图说明

图1是本实用新型的硅片切割机滤芯的结构示意图;

图2是本实用新型的硅片切割机滤芯的使用状态图。

图中,1.滤芯框架,2.支撑侧板,3.滤网,4.支撑底板,5.O型圈,6.密封垫,7.过滤罐,8.压簧。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的硅片切割机滤芯的结构如图1所示,包括圆柱形滤芯框架1,滤芯框架1的侧壁包设有支撑侧板2,所述支撑侧板2上设置有多个过滤孔,所述滤芯框架1和支撑侧板2之间夹设有滤网3,所述滤芯框架1的下端面连接有支撑底板4,所述支撑底板4上也设置有多个过滤孔,所述滤芯框架1的下端面与支撑底板4之间夹设有滤网3。优选的,支撑侧板2和支撑底板4为孔板,其本身就具有过滤孔。

滤芯框架1的上端具有外沿,所述外沿的下端面设置了O型圈5用于密封硅片切割机滤芯与过滤罐7之间的缝隙。

滤芯框架1与支撑侧板2通过螺栓连接。

滤芯框架1的下端焊接有法兰,法兰和支撑底板4通过螺栓连接。

法兰上刻设有O型圈槽,O型圈槽内设置有密封垫6进行密封。

使用状态如图2所示,将滤芯装入过滤罐7内,用压簧8压紧,同时用O型圈5将滤芯和过滤罐7之间的密封进行密封,压簧8与O型密封圈5共同作用,使滤芯与过滤罐7密封严实,然后盖上过滤罐7的盖子并拧紧锁紧螺母,打开过滤液,过滤液通过滤罐入口、滤芯内腔,经过滤芯过滤完成后从过滤罐出口流出。当滤网4破损需要更换时,打开过滤罐7去除滤芯,拆掉滤芯框架1和支撑侧板2之间的螺栓,取下滤网4进行更换后再进行安装,然后拆掉滤芯框架1下端的法兰和支撑底板4之间的螺栓,取出滤网4进行更换后再安装螺栓即可。

本实用新型的硅片切割机滤芯与原滤芯相比,具有以下优点:

1、由于原滤芯的滤网无结构支撑且在过滤液的长期冲击及化学腐蚀下,滤网特别容易破损;本实用新型增加了支撑侧板2和支撑底板4,将其均与滤芯框架1配合夹住滤网进行支撑;

2、将支撑侧板2、支撑底板4与滤芯框架1分别通过螺栓进行连接,将滤网3由不可拆卸只能单次使用的结构,变为可拆卸结构,滤网破损时只需拆下更换即可,而不用再像之前只能更换整个滤芯。

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