外壳，2:上壁，7:凸缘，7a:装配面，10:活塞，11:驱动室(第一驱动室)，15:输出杆，21:供给排出路径(第一供给排出路径)，31:第一检测阀，31a:入口，32:第二检测阀，32a:入口，41:第一检测杆，42:第二检测杆，45:下受压部，47:上受压部，49:被操作部，51:压力室，52:贯通孔，54:阀座，55:阀面，75:下受压部，77:上受压部，79:被操作部，81:压力室，82:贯通孔，84:阀孔，85:阀面，B1:第一供给路径，B2:第二供给路径，Cl:第一壳体，C2:第二壳体，Ml:第一安装孔，M2:第二安装孔，Pl:供给排出口(第一供给排出口)，S1:第一冲程，S2:第二冲程。
【具体实施方式】
[0038]以下，根据图1A至图5B说明本发明的一个实施方式。
[0039]在本实施方式中，例示了将气缸装置适用于工件固定用的旋转式夹具的情况。首先，根据图1A至图2B说明上述旋转式夹具的整体结构。
[0040]外壳I安装于作为固定台的工作台T上。该外壳I具备:作为一个端壁的上壁2、作为另一个端壁的下壁3、沿上下方向延伸的侧壁4、和形成于该侧壁4的内侧的气缸孔5。上壁2在其外周部具有安装用的凸缘7，形成为俯视时的长方形形状。在上述凸缘7的四角部分，沿上下方向贯通有螺栓孔8。通过插入各螺栓孔8的紧固螺栓(未图示)，形成于上述凸缘7的下表面的装配面7a被固定于工作台T的上表面。
[0041]活塞10以能够升降的方式紧密地插入气缸孔5。在该活塞10的上侧和下侧，配置有夹紧用的第一驱动室11和非夹紧用的第二驱动室12。
[0042]另外，在与上壁2的周向的四边相对应的四个壁部分中的俯视时左侧的壁部分中，形成有向第一驱动室11连通的第一供给排出路径21，并且，形成有向第二驱动室12连通的第二供给排出路径22。
[0043]此外，在上壁2的上述左侧的壁部分，向第一供给排出路径21连通的第一供给排出口 Pl在凸缘7的所述装配面7a开口，并且，向第二供给排出路径22连通的第二供给排出口 P2在凸缘7的所述装配面7a开口。液压油(驱动用的加压流体)分别经由第一供给排出口 Pl和第二供给排出口 P2、以及第一供给排出路径21和第二供给排出路径22而相对于上述第一驱动室11和第二驱动室12被供给和被排出。
[0044]输出杆15以能够向上下方向移动的方式紧密地插入设置于上壁2的中央部的贯通孔14中。在本实施方式中，上述输出杆15与活塞10 —体地形成。夹具臂16由螺母17固定于该输出杆15的上部。在上述输出杆15的外周侧的所述上壁2，安装有密封部件18和刮具19。
[0045]另外，下杆24从上述活塞10向下方一体地突出，该下杆24以能够移动的方式插入所述下壁3的支持孔25中。三个引导槽26沿周向空出规定的间隔地形成于下杆24的外周面。各引导槽26是周知的结构，具备上下相连地形成的直的直进槽26a和螺旋状的旋转槽26b。三个横孔27沿周向空出规定的间隔地形成于支持孔25的周壁的上部，插入各横孔27的球28嵌合在引导槽26中。环部件29旋转自如地外嵌于上述多个球28的外周。
[0046]在所述上壁2，下降检测用的第一检测阀31和上升检测用的第二检测阀32沿周向空出规定的间隔地设置在所述四个壁部分中的俯视时右侧的壁部分的输出杆15的外周侦U。该第一检测阀31和第二检测阀32的各轴心以随着朝向下方而靠近活塞10的轴心的方式倾斜。因此，能够兼顾:防止两个检测阀31、32与安装于输出杆15的外周侧的上壁2的所述密封部件18和所述刮具19干涉；以及，使外壳I的半径方向的尺寸变小，因此能够紧凑地制造气缸装置。此外，优选地，上述倾斜角度设定在5度至15度的范围内。
[0047]另外，在上述右侧的壁部分，第一供给口 Al和第二供给口 A2在形成于凸缘7的下表面的装配面7a开口，以便供给检测用的加压空气。第一供给口 Al和第二供给口 A2分别经由第一供给路径BI和第二供给路径B2与所述第一检测阀31和第二检测阀32的各入口31a,32a 连通。
[0048]以下，详细地说明上述第一检测阀31和第二检测阀32。
[0049]首先，主要根据图4A和图4B说明下降检测用的第一检测阀31。图4A是所述图1A的局部放大图。图4B是所述图3A的局部放大图。
[0050]第一检测阀31在所述活塞10从图4B的下限位置向图4A的上限位置移动的中途被该活塞10开阀(图4A表示第一检测阀31已经被全开的状态)。另外，该第一检测阀31在活塞10从图4A的上限位置下降了规定的第一冲程SI时被闭阀(图4B表示第一检测阀31已经被全闭的状态)。更具体地说，第一检测阀31如图4A和图4B所示地，按照如下构成。
[0051]带有台阶的第一安装孔Ml沿斜下方向贯通于所述上壁2中。该第一安装孔Ml具备向下依次连通的内螺纹孔34、大直径孔35、中直径孔36、和小直径孔37，该小直径孔37从上侧与第一驱动室11相对。
[0052]安装于第一安装孔Ml的第一壳体Cl具备:安装于大直径孔35的下部的阀筒38、和螺纹结合于内螺纹孔34的压筒39。该压筒39将阀筒38推压于大直径孔35的底部。
[0053]在上述第一壳体Cl中插入有第一检测杆41。该第一检测杆41具备:经由下密封部件44紧密地插入中直径孔36的直径小的下受压部45、经由上密封部件46紧密地插入压筒39的筒孔的直径大的上受压部47、和设置在该下受压部45和上受压部47之间的连结杆48。上受压部47的受压面积被设定为比下受压部45的受压面积大的值。
[0054]在下受压部45的下端部设置有能够与所述活塞10抵接的被操作部49。在上受压部47的上侧形成有压力室51。该压力室51经由沿着所述第一检测杆41的轴心形成的贯通孔52，向所述第一驱动室11连通。
[0055]在所述阀筒38的筒孔的上开口的周围形成有环状的阀座54，并且，在所述上受压部47的下部形成有提升阀形的阀面55。如图4B所示，构成为当所述第一检测杆41下降了时所述阀面55能够与阀座54抵接。另外，在阀筒38的筒孔和连结杆48的外周面之间形成有环状的入口路径56。此外，横孔57贯通于阀筒38的周壁，由该横孔57的内端部构成所述第一检测阀31的入口 31a。该入口 31a经由所述第一供给路径BI向第一供给口 Al连通。此外，附图标记58是插入用的球。
[0056]多个放射槽59沿周向空出规定的间隔地形成于所述压筒39的下端面。另外，在该压筒39的外周面的下部与所述大直径孔35的内周面之间形成有环状流路60，由该环状流路60的中途高度部构成所述第一检测阀31的出口 31b。该出口 31b经由设置于排出路径61的逆止阀62向外部气体侧连通。该逆止阀62具备阀座62a、和将球62b向该阀座62a施力的弹簧62c。
[0057]上升检测用的所述第二检测阀32在所述活塞10从图5B的下限位置向图5A的上限位置或其附近位置移动了时被该活塞10闭阀(图5A表示第二检测阀32已经被全闭的状态)。另外，该第二检测阀32在所述活塞10从图5A的上限位置下降了规定的第二冲程S2时被开阀(图5B表示第二检测阀32已经被全开的状态)。该第二冲程S2的长度被设定为比所述第一冲程SI的长度小的值。
[0058]上述第二检测阀32如图5A和图5B所示，与所述第一检测阀3