表面增强拉曼散射元件及其制造方法与流程

文档序号:11333016阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
SERS元件(3)具备:基板(4);细微结构部(7),被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱脚(11);导电体层(6),被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱脚(11)的外表面,设置有沟槽(12)。在导电体层(6),在沟槽(12)的内表面的至少一部分露出的状态下导电体层(6)被形成于各个柱脚(11)的外表面,从而形成多个间隙(G)。

技术研发人员:柴山胜己;伊藤将师;大藤和人;大山泰生;丸山芳弘;井上直
受保护的技术使用者:浜松光子学株式会社
技术研发日:2016.02.10
技术公布日:2017.10.13
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1