一种旋转靶材检测工装的制作方法

本实用新型涉及旋转靶材检测工装技术领域，具体为一种旋转靶材检测工装。

背景技术：

现有技术中需要对旋转靶材的加工精度进行控制，尤其是旋转靶材的密封斜面直径数据要求准确，如图中所示密封斜面直径即是d，但是传统的卡尺无法测量密封斜面所示d的尺寸，日常靶材的检测中，密封斜面的直径是较难测量的一个尺寸，利用卡尺只能通过目测，精确度不够。密封斜面的直径又是靶材安装中一个很重要的尺寸，如果偏小会造成靶材装机困难，如果尺寸偏大密封效果下降可能会漏水，对镀膜机造成损伤，因此，本实用新型提出一种旋转靶材检测工装用于解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种旋转靶材检测工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转靶材检测工装，包括检测工装，所述检测工装包括手柄、测量圆板和锥面，所述手柄一端固定安装在测量圆板的一面中心处，所述测量圆板的侧面为带有一定倾角的锥面。

优选的，所述测量圆板靠近手柄一面的直径大于远离手柄一面的直径。

优选的，所述手柄上套设有防滑橡胶套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构基于数学相关的直角三角形原理，很容易精确的测量出密封斜面d的直径，相较于传统卡尺精确高准确，且易操作。

附图说明

图1为本实用新型检测工装结构检测示意图；

图2为图1中A处结构放大示意图；

图3为本实用新型旋转靶材结构示意图；

图4为本实用新型检测工装结构示意图。

图中：1旋转靶材、11密封斜面、2检测工装、21手柄、22测量圆板、23锥面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种旋转靶材检测工装，包括检测工装2，检测工装2包括手柄21、测量圆板22和锥面23，手柄21一端固定安装在测量圆板22的一面中心处，手柄21上套设有防滑橡胶套，测量圆板22的侧面为带有一定倾角的锥面23。

测量圆板22靠近手柄21一面的直径大于远离手柄21一面的直径。

测量时，如图1所示，将检测工装2的锥面23与旋转靶材1的密封斜面11相互贴合（此处首先要保证锥面23的倾斜角度与密封斜面的倾斜角度相同均为a，旋转靶材1的密封斜面11的常规倾角为25°），旋转靶材1的密封斜面11直径为d，用卡尺先测得测量圆板22靠近手柄21一面的直径D，测量圆板22靠近手柄21一面与密封斜面11最上端之间的高度H，然后计算出测量圆板22靠近手柄21一面最外侧与密封斜面11最上端之间的水平距离L，此时，根据直角三角形三角函数原理，tan(a)=L/H,其中L=1/2*（D-d），其中D、H、以及a均可通过测量与查看三角函数表得出作为已知条件，上述公式经过转换可以得出d=D-2Htan(a)，即可准确得出密封斜面11的直径。

本实用新型结构基于数学相关的直角三角形原理，很容易精确的测量出密封斜面d的直径，相较于传统卡尺精确高准确，且易操作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。