一种触摸屏基板及其制备方法、触摸屏面板和显示装置的制造方法_2

文档序号:9216895阅读:来源:国知局
以减小信号延迟的现象。
[0040]进一步地,如图1所示,多个所述矩形网格状结构与多个所述第二触控电极102在第一方向上间隔设置。所述矩形网格状结构由第二方向延伸的第二电极线1012连接,其中所述第一方向和所述第二方向垂直。所述第二电极线1012与所述第二触控电极102在所述衬底基板105上的正投影有交叠形成所述交叠的区域。
[0041]进一步地,所述第一电极线1011和第二电极线1012可以是金属材料制成,金属材料具体可以包括钼(Mo)、银(Ag)、钛(Ti)、铜(Cu)、铝(Al)中任意一种低电阻金属,使用这些材料的原因在于这些材料的导电性较好。第一电极线1011和第二电极线1012的宽度范围可以在4um?6um之间。由于如此设计的电极线相对第二触控电极等结构非常细,从而可以有效消除pattern现象,即减少视觉反差明显的现象,不容易看到电极线图案,提高屏幕的整体显示效果和美观。
[0042]进一步地,所述第二触控电极102可以为透明导电材料,例如氧化铟锡(IT0)、氧化铟锌(IZO)、石墨烯中的任意一种的材料,如图1和图2所示,第二触控电极102可以设计为矩形形状,其中交叠区域的部分向中心内缩,形成一个“凹”形形状。第二触控电极102也可以为波浪形或其他形状,本发明不在这方面作限制。
[0043]进一步地,所述镂空区域104由透明导电材料填充,从而可以增大第一触控电极101和第二触控电极102的互电容,并且可以有效的实现消影。透明导电材料例如可以为氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、石墨烯中的任意一种的材料,使用这些材料的原因在于这些材料透明度较高,导电性也较好。
[0044]进一步地,所述镂空区域104的填充材料与所述第二触控电极102的材料相同,这样可以和第二触控电极同一工艺形成,简化工艺。
[0045]进一步地,所述第一触控电极101设置为发射极,所述第二触控电极102设置为接收极;或者所述第一触控电极101设置为接收极,所述第二触控电极102设置为发射极,发射极和接收极的其他结构以及驱动原理与现有技术中触控原理相同,本申请不再赘述。
[0046]进一步地,在第一触控电极101和第二触控电极102之间,设置绝缘层103,用于绝缘第一触控电极101和第二触控电极102。
[0047]进一步地,所述绝缘层103材料可以为氧化硅(Si02)、氮化硅(SiNx)或者氧化铝等材质。所述第一触控电极和所述第二触控电极在所述衬底基板上的正投影的交叠区域完全落入所述绝缘层在所述衬底基板上的正投影内,且绝缘层103的面积可以大于或等于所述交叠的区域的面积,从而可以充分起到绝缘作用。可选地,所述绝缘层的面积与所述第一触控电极和所述第二触控电极在所述衬底基板上的正投影交叠的区域面积的比例为I?1.2:1。
[0048]如图2所示的实施例的交叠区域的俯视结构示意图,第二电极线1012与第二触控电极102之间有绝缘层103阻隔,该绝缘层103的面积大于第一触控电极101和第二触控电极102正投影交叠区域的面积。
[0049]进一步地,多个所述矩形网格状结构与多个所述第二触控电极102在第一方向上间隔设置。多个所述矩形网格状结构由第二方向延伸的第二电极线1012连接,所述第二电极线1012与所述第二触控电极102在所述衬底基板105上的正投影有交叠形成所述交叠的区域。
[0050]如图3所示的实施例的交叠区域的剖面结构示意图,首先在衬底基板105上形成有第一触控电极101,然后形成有绝缘层103,最上面形成有第二触控电极102。本发明实施例中,第一电极线和第二电极线为一体结构,即无论在交叠区域或者是矩形网格结构区域,第一触控电极101均是由完整连接的电极线构成。而第二触控电极102也是由多个矩形的透明导电材料构成。本申请的实施例触摸屏基板在制成过程中无需传统的搭接工艺,因此避免了搭接过细导致阻抗偏大的现象。由于第一触控电极101由完整电极线构成,形状规贝1J,从而避免了金属尖出现的概率,可以减小发生静电的可能。
[0051]此外,图3所示的交叠区域,第一触控电极101、第二触控电极102和绝缘层103是不同层设置;在其他区域,例如第一触控电极101与第二触控电极102的非交叠区域,第一触控电极101与第二触控电极102可以同层设置,也可以不同层设置,但必须非接触。可选地,在非交叠区域也可以设置绝缘层103,用于绝缘第一触控电极101和第二触控电极102,本申请不在这方面做限定。
[0052]本发明实施例还提供了一种触摸屏面板,包括本发明实施例提供的上述触摸屏基板。
[0053]本发明实施例还提供了一种显示装置,包括本发明实施例提供的上述触摸屏基板。由于该显示装置解决问题的原理与前述一种触摸屏基板相似,因此该显示装置的实施可以参见前述触摸屏基板的实施,重复之处不再赘述。
[0054]具体地,本发明实施例提供的显示装置可以为:手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件,在此不作限定。
[0055]本发明实施例还提供了一种上述任一种触摸屏基板的制作方法,该制作方法包括以下步骤:
[0056]在衬底基板105上形成第一触控电极101 ;
[0057]在所述第一触控电极上方形成绝缘层103 ;
[0058]在所述绝缘层103上方形成第二触控电极102 ;
[0059]或者,
[0060]在衬底基板105上形成第二触控电极102 ;
[0061]在所述第二触控电极102上方形成绝缘层103 ;
[0062]在所述绝缘层103上方形成第一触控电极101 ;
[0063]其中,所述第一触控电极101与所述第二触控电极102在所述衬底基板105上的正投影有交叠,所述绝缘层103形成在所述第一触控电极101与所述第二触控电极102在所述衬底基板105上的正投影的交叠的区域,以阻隔所述第一触控电极101的第二电极线1012和所述第二触控电极102接触。
[0064]依据上面的制作方法,可选的实施步骤如下:
[0065]首先,通过第一次构图工艺在衬底基板105形成第一触控电极,所述第一触控电极包括横纵交叉的第一电极线1011构成的矩形网格状结构以及连接该多个矩形网格状结构的第二电极线1012,所述矩形网格状结构在第一方向上延伸,所述第一电极线1011围成多个镂空区域104,所述第二电极线1012在第二方向上延伸。
[0066]其次,通过第二次构图工艺形成绝缘层103。
[0067]然后,通过第三次构图工艺形成第二触控电极102,所述第二触控电极102在第一方向上延伸且与所述矩形网格状结构间隔设置,所述第二电极线1012与所述第二触控电极102在所述衬底基板105上的正投影的交叠处形成所述交叠的区域。
[0068]其中,所述第一方向和所述第二方向垂直。
[0069]进一步地,所述镂空区域104的填充材料和所述第二触控电极102通过一次构图工艺形成。
[0070]或者,可以先形成第二触控电极102然后形成第一触控电极101,具体步骤如下:
[0071]首先,通过第一次构图工艺在衬底基板105形成第二触控电极102。
[0072]其次,通过第二次构图工艺形成绝缘层103。
[0073]然后,通过第三次构图工艺形成第一触控电极,所述第一触控电极包括横纵交叉的第一电极线1011构成的矩形网格状结构以及连接多个矩形网格状结构的第二电极线1012,所述矩形网格状结构在第一方向上延伸,所述第一电极线1011围成多个镂空区域104,所述第二电极线1012在第二方向上延伸。
[0074]其中所述第二触控电极102在第一方向上延伸且与所述矩形网格状结构间隔设置,所述第二电极线1012与所
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