专利名称：硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体硅片加工工艺，尤其涉及一种硅片浅沟槽隔离刻蚀工艺。
背景技术：
目前，微电子技术已经进入超大规模集成电路和系统集成时代，微电子技术已经成为 整个信息时代的标志和基础。
微电子技术中，要制造一块集成电路，需要经过集成电路设计、掩膜板制造、原始材 料制造、芯片加工、封装、测试等几道工序。在这个过程中，对半导体硅片进行刻蚀，形 成工艺沟槽，是关键的技术。
半导体硅片一般为多层结构，包括硅上层、硅基层，这里的硅上层主要包括SiON(硬 质掩模)层、SiN层，硅上层与硅基层之间设有Si02氧化层，在对半导体硅片进行浅沟槽隔 离刻蚀的过程中，需要在沟槽的侧壁上，Si02层与硅基层交界的位置形成圆滑的上部圆 角，以便有利于应力的释放，避免半导体硅片中产生寄生导电通道；还需要在沟槽的侧壁 与底壁之间的拐角处形成圆滑的下部圆角，以便为下一步氧化物的填充提供了便利。实现 高质量的上部圆角和下部圆角是衡量浅沟槽隔离刻蚀工艺好坏的重要指标。
现有技术中的浅沟槽隔离刻蚀工艺中，主要包括以下工艺步骤
光刻歩形成刻蚀用的PR (光阻)；
硅上层刻蚀步(HM open):对硅上层进行刻蚀，采用含氟气体为刻蚀工艺气体，如 CF4、 CHF3等；
Si02层刻蚀步(BT):开启氧化层，并进行部分硅的刻蚀，为上部圆角刻蚀做准备； 上部圆角刻蚀步(TCR: Top Corner Rounding):进行上部圆角的刻蚀； 沟槽刻蚀步(trenth的刻蚀)进行浅沟槽刻蚀并形成下部圆角，主要采用C12、
HBr、 CF4、 HeO等的混合气体为刻蚀工艺气体；
在上述的浅沟槽隔离的刻蚀过程中，关键的工艺步骤是如何形成良好的上部圆角，圆
滑而没有任何尖角的上部圆角在半导体器件中不会造成放电现象，以保证良好的电学性能。
现有技术中Si02层刻蚀步的工艺步骤中一般采用CH2F2气体为刻蚀工艺气体，进行Si02氧化层和少许硅的刻蚀，并为下一步上部圆角刻蚀步骤做准备。
但是此种技术的缺点为，Si02层刻蚀歩使用的CH2F2气体价格偏高，尾气处理过程较 复杂，需要特殊的装置，从而使得客户消耗用成本增加；另外因为包括上部圆角刻蚀歩， 歩骤繁多、工艺复杂，降低了设备的产能。
发明内容
本发明的目的是提供一种刻蚀工艺简单、步骤少、成本低，形成的刻蚀沟槽的上部圆 角的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的
本发明的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，用于在硅片上刻蚀沟槽，所述的硅片为多层结 构，包括硅上层、硅基层，硅上层与硅基层之间设有氧化层，包括步骤
A、 硅上层刻蚀步，用于对硅上层刻蚀沟槽；
B、 氧化层刻蚀步，用于刻蚀氧化层，并进行部分硅基层的刻蚀，为上部圆角刻蚀做准
备；
C、 硅基层刻蚀步，用于对硅基层刻蚀沟槽，并在沟槽的侧壁上，氧化层与硅基层交界
的位置形成圆滑的上部圆角。
所述的歩骤B中所采用的刻蚀工艺气体为包含冊r和CHF3气体的混合气体。
所述的HBr和CHF3气体按照蚀刻工艺要求的流量和压力充入反应腔室，并在射频电源 的作用下，将充入反应腔室的混合气体电离成等离子体，所述反应腔室装有硅片，对硅片 的刻蚀工艺在反应腔室内完成，所述等离子体中的活性基团混合产生的聚合物聚集在沟槽 的侧壁上，并在进行所述步骤C的过程中对沟槽的侧壁起到保护作用，在氧化层与硅基层交 界的位置形成上部圆角。
所述的活性基团包括BrHs CHF*。
刻蚀过程中CHF3的供气流量为30 50sccm， HBr的供气流量为15 40sccm，供气压力 为10 30mT，刻蚀时间为20 50s。
刻蚀过程中CHF3的供气流量为35 45sccm， HBr的供气流量为20 35sccm，供气压力 为15 25mT，刻蚀时间为30 40s。
刻蚀过程中CHF3的供气流量为40sccm， HBr的供气流量为30sccm，供气压力为20mT， 刻蚀时间为35s。
所述的射频电源包括上射频电源和下射频电源，刻蚀过程中上射频电源的输出功率为 400 600W，下射频源的输出功率为30 60W。
刻蚀过程中上射频电源的输出功率为500W，下射频源的输出功率为45W。由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法， 由于包括硅上层刻蚀步、硅基层刻蚀歩、硅基层刻蚀步，在对硅基层刻蚀沟槽的同时形成
上部圆角，工艺简单、步骤少、成本低，形成的刻蚀沟槽的上部圆角圆滑。
又由于在氧化层刻蚀步中所采用的刻蚀工艺气体为包含CHF3和HBr气体的混合气体， 刻蚀过程中可以形成圆滑的上部圆角，省掉了上部圆角刻蚀步，不但简化了工艺步骤，使 硅上层侧壁与硅基层侧壁之间平滑的过渡，而且由于CHF3价格较便宜，降低了成本。 适用于对各种类型的半导体硅片进行浅沟槽隔离刻蚀或其它刻蚀。
图l为刻蚀前的硅片结构示意图2为本发明的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法中，氧化层刻蚀步中在沟槽的侧壁上沉积 出的聚合物的剖面结构示意图3为本发明的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法中，氧化层刻蚀步结束时，所刻蚀的沟槽 的剖面结构示意图4为本发明的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法中，刻蚀过程全部结束时，所刻蚀的沟槽 的剖面结构示意图。
具体实施例方式
本发明的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法主要用于在硅片上刻蚀沟槽，如图1所示，所述 的硅片为多层结构，包括硅上层、硅基层，硅上层与硅基层之间设有氧化层，这里的硅上 层主要包括SiON(硬质掩模)层、SiN层，硅上层与硅基层之间设有Si02氧化层，在对半导体 硅片进行浅沟槽隔离刻蚀的过程中，需要在沟槽的侧壁上，Si02层与硅基层交界的位置形 成圆滑的上部圆角，以便有利于应力的释放，避免半导体硅片中产生寄生导电通道。
本发明的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，如图3所示，包括
步骤31、硅上层刻蚀步，用于对硅上层刻蚀沟槽，刻蚀SiON(硬质掩模)层，并对SiN层 进行刻蚀；
步骤32、 Si02氧化层刻蚀步，用于刻蚀氧化层，并进行部分Si硅基层的刻蚀，为上部 圆角刻蚀做准备。
如图2所示，在进行这一步时，为了在进行下一步时能在沟槽的侧壁上，Si02层与硅 基层交界的位置形成圆滑的上部圆角，步骤32之后，需要在沟槽的侧壁上得到较好的锥形 剖面。那就需要大量聚合物的沉积，这样在接下来的刻蚀步骤中在等离子的轰击下就可以
形成较好的上部圆角。
如图4所示，步骤32之后进行
步骤41、硅基层刻蚀步，用于对Si硅基层刻蚀沟槽，并在沟槽的侧壁上，氧化层与硅 基层交界的位置形成圆滑的上部圆角。在进行这一步时，由于步骤32中，在沟槽的侧壁上 聚合物沉积出了较好的锥形剖面，这样在这一歩的刻蚀步骤中在等离子的轰击下，进行沟 槽刻蚀的同时就可以在沟槽的侧壁上形成较好的上部圆角。
在上述的步骤32中所采用的刻蚀工艺气体为包含HBr和CHF3气体的混合气体。
所述的HBr和CHF3气体按照蚀刻工艺要求的比例、流量和压力充入反应腔室，并在射 频电源的作用下，将充入反应腔室的混合气体电离成等离子体，所述反应腔室装有硅片， 对硅片的刻蚀工艺在反应腔室内完成，所述等离子体中的活性基团混合产生的聚合物聚集 在沟槽的侧壁上，并在进行所述步骤41的过程中对沟槽的侧壁起到保护作用，在氧化层与 硅基层交界的位置形成上部圆角。所述的活性基团包括BW、 CHF木等。
在步骤32的刻蚀过程中CHF3的供气流量为30 50sccm，可以是30、 35、 40、 45、 50sccm等优选流量，最好是为35 45sccm，最佳为40sccm。
HBr的供气流量为15 40sccm，可以是15、 20、 25、 30、 35、 40sccm等优选流量，最 好是为20 35sccm，最佳为30sccm。
HBr和CHF3气体的供气压力为10 30mT，可以为IO、 15、 20、 25、 30mT等优选压力， 最好为15 25mT，最佳为20mT。
步骤32的刻蚀时间为20 50s，可以为20、 25、 30、 35、 40、 45、 50s等优选时间，最 好为30 40s，最佳为35s。
上述的射频电源包括上射频电源和下射频电源，刻蚀过程中上射频电源的输出功率为 400 600W，最好为500W，下射频源的输出功率为30 60W，最好为45W。
本发明在氧化层刻蚀步中所采用的刻蚀工艺气体为包含CHF3和HBr气体的混合气体， 刻蚀过程中可以形成圆滑的上部圆角，省掉了上部圆角刻蚀步，不但简化了工艺步骤，使 硅上层侧壁与硅基层侧壁之间平滑的过渡，而且由于CHF3价格较便宜，降低了成本。
适用于对各种类型的半导体硅片进行各种刻蚀，尤其适用于对半导体硅片进行浅沟槽 隔离刻蚀。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任 何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都 应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，用于在硅片上刻蚀沟槽，所述的硅片为多层结构，包括硅上层、硅基层，硅上层与硅基层之间设有氧化层，其特征在于，包括步骤A、硅上层刻蚀步，用于对硅上层刻蚀沟槽；B、氧化层刻蚀步，用于刻蚀氧化层，并进行部分硅基层的刻蚀，为上部圆角刻蚀做准备；C、硅基层刻蚀步，用于对硅基层刻蚀沟槽，并在沟槽的侧壁上，氧化层与硅基层交界的位置形成圆滑的上部圆角。
2、 根据权利要求l所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，所述的步骤B中 所采用的刻蚀工艺气体为包含HBr和CHF3气体的混合气体。
3、 根据权利要求2所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，所述的HBr和 CHF3气体按照蚀刻工艺要求的流量和压力充入反应腔室，并在射频电源的作用下，将充入 反应腔室的混合气体电离成等离子体，所述反应腔室装有硅片，对硅片的刻蚀工艺在反应 腔室内完成，所述等离子体中的活性基团混合产生的聚合物聚集在沟槽的侧壁上，并在进 行所述步骤C的过程中对沟槽的侧壁起到保护作用，在氧化层与硅基层交界的位置形成上部 圆角。
4、 根据权利要求3所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，所述的活性基团 包括Br+、 CHF*。
5、 根据权利要求3所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，刻蚀过程中CHF3 的供气流量为30 50sccm, HBr的供气流量为15 40sccm,供气压力为10 30mT，刻蚀时间 为20 50s。
6、 根据权利要求5所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，刻蚀过程中CHF3 的供气流量为35 45sccm， HBr的供气流量为20 35sccm，供气压力为15 25mT，刻蚀时间 为30 40s。
7、 根据权利要求6所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，刻蚀过程中CHF3 的供气流量为40sccm， HBr的供气流量为30sccm，供气压力为20mT，刻蚀时间为35s。
8、 根据权利要求3所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，所述的射频电源 包括上射频电源和下射频电源，刻蚀过程中上射频电源的输出功率为400 600W，下射频源 的输出功率为30 60W。
9、 根据权利要求8所述的硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，其特征在于，刻蚀过程中上射 频电源的输出功率为500W，下射频源的输出功率为45W。
全文摘要
本发明公开了一种硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法，用于在硅片上刻蚀沟槽，包括步骤A.硅上层刻蚀步；B.氧化层刻蚀步，用于刻蚀硅上层与硅基层之间的氧化层，并进行部分硅基层的刻蚀，为上部圆角刻蚀做准备；C.硅基层刻蚀步，用于对硅基层刻蚀沟槽，并在沟槽的侧壁上，氧化层与硅基层交界的位置形成圆滑的上部圆角。在步骤B中所采用的刻蚀工艺气体为包含HBr和CHF3气体的混合气体，在刻蚀过程中被电离成Br*、CHF*等活性基团，可在进行步骤C的过程中形成上部圆角。工艺简单、步骤少、成本低，形成的刻蚀沟槽的上部圆角圆滑。适用于对各种类型的半导体硅片进行浅沟槽隔离刻蚀或其它刻蚀。
文档编号H01L21/762GK101179046SQ20061011432
公开日2008年5月14日 申请日期2006年11月6日 优先权日2006年11月6日
发明者霍秀敏 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司