专利名称：一种半导体封装基座的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体集成电路封装技术领域，特别涉及一种半导体封装基座。
背景技术：
微光显微镜(EMMI，Emission Microscope)是一种非常有效的失效观察分析方式， 通过观察芯片的光电放射，定位芯片失效的方位，再检查分析芯片失效的原因，能够快速准 确的找到芯片的失效点和失效原因。但是芯片的一些深层次的失效，很难通过芯片的正面 来观察查找，因此需要通过从芯片的背面来观察查找。由于传统的封装是引线连接，先将 芯片正面向上用胶粘贴于封装基座的载片区域，然后用铝线或者金线引线连接芯片的焊盘 (Pad)和基座的引脚(Lead)，然而封装基座是陶瓷或PCB材料，所以无法经由芯片的背面来 查找失效。为解决上述问题，现有技术通常使用载玻片对芯片进行封装，然后进行EMMI分 析。使用载玻片对芯片进行封装的方法为先将待测芯片用热溶胶粘于载玻片表面；根据 需要连接的引线的数量，粘贴相同数量的铝箔于载玻片，且使粘贴的铝箔分布于芯片四周； 连接芯片到铝箔的引线。完成封装后对芯片进行EMMI分析。但由于铝箔的粗糙不平整，引 线连接非常的困难，且只能使用铝线进行引线连接，因此有很大的局限性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种半导体封装基座，以解决现有技术中用于微 光显微镜的半导体封装基座在使用时引线连接困难，使用局限性大的问题。为解决上述技术问题，本发明提供一种半导体封装基座，包括底座，所述底座的材质为玻璃；位于所述底座正面的载片区，用于固定半导体芯片；至少一个位于所述底座正面的手指；位于所述底座正面的引线，每一个位于所述底座正面的手指对应连接一条所述引 线的一端，所述引线的另一端具有引脚，所述引脚分布在所述载片区的周围；以及至少一个位于所述底座背面的手指，所述位于底座背面的手指的位置与所述 位于底座正面的手指的位置一一对应，所述位置对应的位于所述底座背面和位于所述底座 正面的手指间通过位于所述手指上的且贯通于所述底座的通孔电性连接。可选的，所述底座的材质为钢化玻璃。可选的，所述引线和所述引脚的材质由位于底层的镍层和位于镍层之上的金层构 成。可选的，所述镍层的厚度为5 10um。可选的，所述金层的厚度为1 1. 5um。可选的，所述金层为软金。可选的，所述位于底座正面的手指和所述位于底座背面的手指的材质为金。
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可选的，所述位于底座正面的手指和所述位于底座背面的手指的材质为硬金。可选的，所述位于底座正面的手指和所述位于底座背面的手指的厚度均大于 0. 5um。本发明提供的半导体封装基座在对芯片进行封装时易于实现芯片与封装基座之 间的引线连接，且可适用于多种引线连接方式，如适用于铝线楔压键合、金线热超声球键合 等。同时，使用该半导体封装基座可实现与更多数量的芯片压焊点进行引线连接，可与芯片 上更小尺寸的压焊点进行引线连接，且可与具有更小压焊点间距的芯片进行引线连接，该 半导体封装基座可实现与HPC(高性能计算)芯片、Fine Pitch(脚距密集化)芯片等芯片 的引线连接和封装。通过编制程序，设定参数，还可实现芯片在该封装基座上的半自动或者 自动焊接，保证良好的焊接质量。由于该封装基座采用玻璃材质，芯片载片区域的透光率为 全透光率，因此芯片封装于该封装基座上可有效提高通过微光显微镜对芯片进行失效分析 的质量。
图1为本发明的半导体封装基座一种实施例的正面结构示意图；图2为图1所示的半导体封装基座的背面结构示意图；图3为本发明的半导体封装基座另一种实施例的正面结构示意图；图4为芯片粘结并引线键合至图1所示的半导体封装基座的结构示意图；图5为使用微光显微镜对封装于本发明的半导体封装基座的芯片进行观察分析 的示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明 的具体实施方式
做详细的说明。本发明所述的一种半导体封装基座可利用多种替换方式实现，下面是通过较佳的 实施例来加以说明，当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟 知的一般的替换无疑涵盖在本发明的保护范围内。其次，本发明利用示意图进行了详细描述，在详述本发明实施例时，为了便于说 明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。请参阅图1，图1为本发明的半导体封装基座中一种实施例的结构示意图。如图1 所示，本发明的半导体封装基座包括底座1 ；位于所述底座1正面的载片区2，用于固定半导体芯片；
至少一个位于所述底座1正面的手指4 ；位于所述底座1正面的引线3，每一个位于所述底座1正面的手指4对应连接一条 所述引线3的一端，所述引线3的另一端具有引脚5，所述引脚5分布在所述载片区2的周 围；以及至少一个位于所述底座1背面的手指6。请结合参看图2，图2为图1所示的 半导体封装基座的背面结构示意图。如图2所示，所述位于底座1背面的手指6的位置与所
4述位于底座1正面的手指4的位置一一对应，所述位置对应的位于所述底座1背面和位于 所述底座1正面的手指间通过位于所述手指上的且贯通于所述底座1的通孔7电性连接。所述底座1的材质为玻璃。因钢化玻璃通常可耐250°C以上的高温，故所述底座1 优选采用钢化玻璃。所述引线3和位于所述引线3 —端的所述引脚5的材质由位于底层的镍层和位于 镍层之上的金层构成，所述镍层的厚度为5 lOum，所述金层的厚度为1 1. 5um，所述金 层优选采用软金。形成所述引线3和所述引脚5时，首先在所述底座1的正面镀所述镍层， 再在所述镍层上镀所述金层。所述位于底座1正面的手指4与所述位于底座1背面的手指6的材质为金，优选 采用硬金，所述底座1正反面手指的厚度均大于0. 5um，通过将金镀于所述底座1的表面而 成。请参看图3，图3为本发明的半导体封装基座另一种实施例的正面结构示意图。 在该实施例与图1所示实施例不同的是，位于底座正面和背面的手指平行分布于底座的两 侧，而非底座的四周。请参看图4，图4为芯片粘结并引线键合至图1所示的半导体封装基座的结构示意 图。如图4所示，芯片8被粘贴至所述底座1的载片区2上，通过键合引线9将芯片压焊点 10与所述底座1上引线3的引脚5连接起来，形成芯片封装体。请参看图5，图5为使用微光显微镜对封装于本发明的半导体封装基座的芯片进 行观察分析的示意图。如图5所示，芯片8封装于封装基座11上，所述封装基座11的背面 面对微光显微镜的镜头12，在所述封装基座11背面的手指上加置偏压，通过微光显微镜观 察所述芯片8的光电放射实现对所述芯片8的失效分析显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精 神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围 之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种半导体封装基座，包括底座，所述底座的材质为玻璃；位于所述底座正面的载片区，用于固定半导体芯片；至少一个位于所述底座正面的手指；位于所述底座正面的引线，每一个位于所述底座正面的手指对应连接一条所述引线的 一端，所述引线的另一端具有引脚，所述引脚分布在所述载片区的周围；以及至少一个位于所述底座背面的手指，所述位于底座背面的手指的位置与所述位于 底座正面的手指的位置一一对应，所述位置对应的位于所述底座背面和位于所述底座正面 的手指间通过位于所述手指上的且贯通于所述底座的通孔电性连接。
2.如权利要求2所述的半导体封装基座，其特征在于，所述底座的材质为钢化玻璃。
3.如权利要求1所述的半导体封装基座，其特征在于，所述引线和所述引脚的材质由 位于底层的镍层和位于镍层之上的金层构成。
4.如权利要求3所述的半导体封装基座，其特征在于，所述镍层的厚度为5 lOum。
5.如权利要求3所述的半导体封装基座，其特征在于，所述金层的厚度为1 1.5um。
6.如权利要求3或5所述的半导体封装基座，其特征在于，所述金层为软金。
7.如权利要求1所述的半导体封装基座，其特征在于，所述位于底座正面的手指和所 述位于底座背面的手指的材质为金。
8.如权利要求7所述的半导体封装基座，其特征在于，所述位于底座正面的手指和所 述位于底座背面的手指的材质为硬金。
9.如权利要求7所述的半导体封装基座，其特征在于，所述位于底座正面的手指和所 述位于底座背面的手指的厚度均大于0. 5um。
全文摘要
本发明提供一种半导体封装基座，包括底座，所述底座的材质为玻璃；位于所述底座正面的载片区，用于固定半导体芯片；至少一个位于所述底座正面的手指；位于所述底座正面的引线，每一个位于所述底座正面的手指对应连接一条所述引线的一端，所述引线的另一端具有引脚，所述引脚分布在所述载片区的周围；以及至少一个位于所述底座背面的手指，所述位于底座背面的手指的位置与所述位于底座正面的手指的位置一一对应，所述位置对应的位于所述底座背面和位于所述底座正面的手指间通过位于所述手指上的且贯通于所述底座的通孔相连接。该封装基座易于实现芯片与封装基座之间的引线连接，可有效提高通过微光显微镜对芯片进行失效分析的质量。
文档编号H01L23/15GK102074543SQ200910199210
公开日2011年5月25日 申请日期2009年11月20日 优先权日2009年11月20日
发明者李刚, 郑鹏飞 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司