专利名称：一种位置校准系统及等离子体处理装置的制作方法
技术领域：
本发明属于等离子体处理技术领域，具体涉及一种用于调整待加工工件位置的位置校准系统以及应用上述位置校准系统的等离子体处理装置。
背景技术：
作为可再生的清洁能源——太阳能已成为未来人类有限地可利用的能源之一，人类正在努力探索将其合理利用以应对所面对的能源危机。从近几年的技术发展来看，通过太阳能电池来实现对太阳能的应用发展较快，已经成为太阳能应用方面的竞争焦点。因此， 太阳能电池的制造企业之间的竞争越来越激烈，这就需要生产企业尽可能地降低生产成本，以提高其竞争优势。众所周知，提高太阳能电池板生产过程的自动化程度是降低成本的一种手段。例如，在利用等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺处理太阳能电池板时，待定位工件(如电池片)放入化学气相沉积工艺腔室的过程就是由机械手自动完成的。电池片(或称晶片)的放入过程是借助图1所示的传送装置以及一个单片机械手和一个多片机械手来完成。请参阅图1，传送装置由皮带2和带轮3组成。电池片1放入工艺腔室的具体步骤如下首先由单片机械手将一片电池片1放置在传送装置的皮带2上，然后转动皮带2使电池片1向前移动一定距离，再由单片机械手将另一片电池片1放置在皮带2上，以此将多片电池片1均勻地放置在皮带2上，然后再由一个多片机械手将放置在皮带2上的多片电池片1 一次取走，并将该多片电池片同时放入工艺腔室内的且由多个限位顶针限定的载板位置。然而，在实际生产过程中，由于单片机械手的精度不高，其放置的电池片的位置常有偏差，导致多片机械手无法准确地将电池片1放置在工艺腔室内对应的载板位置，最终导致电池片在后续工艺中发生碎片，影响产品的成品率以及生产效率。尤其是在化学气相沉积工艺对电池片的位置精度要求高的情况，多片机械手能否准确地放置电池片尤为重要。解决电池片准确放置问题的方法有两种第一种方法是在取放电池片的机械手上安装位置识别系统(或称图像识别系统)，机械手借助设置在其上的位置识别系统将电池片准确地放置在皮带2上。然而，在实际应用中，考虑到设备的成本以及复杂程度，在机械手上不宜再集成位置识别系统，因此，通常不采用第一种方式来解决上述技术问题。第二种是增加电池片位置校准系统，当单片机械手将电池片1放置在皮带2上之后，首先通过位置校准机构对电池片1的位置进行校准而将其归位到预定的位置处，再由多片机械手从皮带2的预定位置处拾取电池片1并将其放入工艺腔室内，以此来保证多片机械手取片位置的准确性，进而保证多片机械手在工艺腔室内放片位置的准确性。目前所采用的位置校准机构有两种，一种为图2所示的位置校准机构。该位置校准机构包括两套设置在皮带2两侧的电机驱动机构，每一套电机驱动机构均包括一电机4 以及与电机轴相连的推动片5，通过电机轴转动来带动推动片5在电机轴方向上移动，以对电池片1实施图中所示Y方向的校准。如果要对图中所示的X方向进行位置校准，则需在X 方向另外增加两套电机驱动机构才能实现。因此，上述位置校准机构要想在两个方向进行位置校准，需要四套电机驱动机构，增加了位置校准系统的复杂程度；而且，由于电机数量较多，导致设备的造价和运行成本较高，能源消耗较多。另一种位置校准机构如图3所示，该位置校准机构包括导轨(图中未示出)、沿导轨移动的两个夹持件固定板6、凸轮9以及设置在夹持件固定板6上的夹持件12和轴承8。 夹持件12和轴承8相对设置在夹持件固定板6的两端，凸轮9设置在两个夹持件固定板6 的中间位置，两个夹持件固定板6由拉伸弹簧10连接，借助拉伸弹簧10的收缩力可使夹持件固定板6上的轴承8与凸轮9紧密接触。凸轮9为两端呈圆弧形、中间较窄且呈中心对称结构，其对称中心与电机的旋转轴7连接。当电机带动凸轮9转动时，凸轮9的外缘向轴承8施加作用力使其带动两个夹持件固定板6沿导轨移动。当轴承8与距离凸轮9中心最远处的外缘接触时，两个夹持件固定板6相距最远，即两个夹持件12之间的距离最大；当轴承8与距离凸轮9中心最近处的外缘接触时，两个夹持件固定板6相距最近，即两个夹持件 12之间的距离最小。当然，这个最小距离是预先设置的，其恰好等于电池片的轮廓尺寸。使用时，上述位置校准机构放置在传动皮带2的下方，皮带2从两个相对设置的夹持件12中间穿过。在单片机械手放置电池片之前，旋转凸轮9使夹持件12之间的距离最大，当单片机械手将电池片放置在皮带2之后，再次旋转凸轮9，使夹持件12之间的距离最小，从而实现对电池片的位置校准。由上可知，尽管现有的这种位置校准机构可以在一个方向上(即，垂直于传送方向的方向上)对诸如电池片等的待定位工件进行位置校准，但是在实际工作中，往往需要在两个方向上(例如，在传送方向上以及在与传送方向相垂直的方向上)对前述待定位工件进行位置校准，为此，就需要两套图3所示的位置校准机构，S卩，对于每一个待调整方向均配置一套上述位置校准机构，这样，为实现两个方向的位置校准就需要采用两个旋转凸轮及两台电机，这使得整个位置校准系统的结构比较复杂，并且系统造价和运行成本较高， 能源消耗较多。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种位置校准系统，其仅用一个电机就能在二维方向上对待定位工件进行位置校准，而且还具有结构简单、制造和运行费用低等特点。为解决上述问题，本发明还提供一种等离子体处理装置，其同样仅采用一个电机而在二维方向上对待定位工件进行位置校准，这简化了等离子体处理装置的结构、降低了设备的制造和运行成本。为此，本发明提供一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。其中，在所述第一限位部件与第二限位部件之间和/或第一限位部件与第三限位部件之间和/或第二限位部件与第三限位部件之间设置有弹性部件，所述第一限位部件、 第二限位部件和第三限位部件在推动部件的推动下彼此远离时，借助于所述弹性部件的弹性收缩力而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。其中，在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件与所述基座之间设有弹性部件，所述弹性部件的一端固定在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件上，另一端设置在所述基座上，以使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。其中，所述限位部件上设置有滚轴，所述限位部件借助于该滚轴而与所述推动部件的外缘相抵。其中，所述位置校准系统还包括移动导向装置，其设置在所述限位部件和基座之间，所述限位部件可在该移动导向装置上发生位移。其中，所述移动导向装置包括导轨和/或导杆和/或导槽、以及与它们相配合的滑块，所述限位部件设置在所述滑块上并在滑块的带动下产生位移。其中，所述推动部件包括这样一个轮盘即，该轮盘的外缘具有不同的曲率，并且当所述限位部件沿该轮盘外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该轮盘的转轴。其中，所述推动部件包括至少两个固定地叠置在一起的凸轮，并且每一个凸轮的外缘均具有不同的曲率，当所述限位部件沿该凸轮外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该凸轮的转轴。其中，所述凸轮为中心对称的板状实体结构，其外缘轮廓在基座平面上的投影类似于拉长的数字“8”，并且上下两部分形状和大小相同。 此外，本发明还提供一种等离子体处理装置，包括反应腔室、工件传送部件及用于校准待定位工件的位置校准系统，所述位置校准系统采用本发明所提供的上述位置校准系统。其中，所述处理装置是等离子增强化学气相沉积装置，用于加工太阳能电池片。本发明具有以下有益效果由于本发明提供的位置校准系统可以仅包括一个推动部件及与其相连的驱动电机，并且限位部件至少包括可在待定位工件传送方向对其进行位置校准的第三限位部件以及可在待定位工件传送方向的垂直方向上对其进行位置校准的第一限位部件和第二限位部件，并且每一个限位部件均设置成与推动部件的外缘相抵，这样，就可以借助上述一个电机来驱动推动部件转动，并同时带动与推动部件外缘相抵的上述三个限位部件运动，使三个限位部件彼此远离或靠近。因此，本发明提供的位置校准系统结构简单，并且其制造和运行成本较低。类似地，由于本发明提供的等离子体处理装置采用了上述位置校准系统，因而，该等离子体处理装置同样能够通过一个电机及一个推动部件来实现待定位工件在二维方向上的位置校准，并且还具有结构简单、制造及运行成本低等特点。
图1为太阳能电池板加工过程中所采用传送装置结构示意图2为目前常采用的一种位置校准系统结构示意图；图3为目前常采用的另一种位置校准系统结构示意图；图4为本发明一个具体实施例提供的位置校准系统的结构示意图；以及图5为本发明另一个具体实施例提供的位置校准系统中的推动部件的结构示意图。图中1-电池片2-传送带 3-带轮4-电机5-推动片6_夹持件固定板 7-旋转轴8-轴承9-凸轮10-拉伸弹簧11-夹持件41-基座42a-第一移动导向装置42b-第二移动导向装置42c-第三移动导向装置43-推动部件44a-第一限位部件44b-第二限位部件44c-第三限位部件45-电机46-滑块47a_第一限位部件的夹持件47b-第二限位部件的夹持件47c-第三限位部件的夹持件48a-第一限位部件的夹持件固定板48b-第二限位部件的夹持件固定板48c-第三限位部件的夹持件固定板49a-第一限位部件的滑轮49b-第二限位部件的滑轮49c-第三限位部件的滑轮 410-支撑件411-弹性部件412-电机输出轴
具体实施例方式本发明的技术核心是提供一种位置校准系统，其可以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准。该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及驱动推动部件的电机，推动部件、限位部件和电机以基座为支撑设置在基座上。所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向的第三限位部件，每一个限位部件均与推动部件的外缘相抵，推动部件在电机的驱动下转动而使限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式
对本发明提供的位置校准系统以及应用上述位置校准系统的等离子体处理装置进行详细描述。请参阅图4，其为本发明一个具体实施例提供的位置校准系统的结构示意图。该位置校准系统包括一个基座41、三个移动导向装置42a、42b、42c、三个限位部件44a、44b、 44c、一个推动部件以及一个电机45。基座41是诸如基架、底座等具有支撑平台作用的部件，三个移动导向装置42a、42b、42c设置在基座41上。三个限位部件44a、44b、Mc分别设置在三个移动导向装置42a、42b、42c上，并在每个限位部件44a、44b、Mc与对应的移动导向装置42a、42b、42c之间设置一滑块，借助各自的滑块使限位部件44a、44b、Mc沿各自的移动导向装置滑动。推动部件43设置在第一移动导向装置42a、第二移动导向装置42b和第三移动导向装置42c的中间。第一移动导向装置4 和第二移动导向装置42b平行设置，即沿图中X方向设置， 第三移动导向装置42c垂直于第一移动导向装置4 和第二移动导向装置42b，即沿图中Y 方向设置。第一移动导向装置4 和第二移动导向装置42b采用双导轨结构，第三移动导向装置42c采用单导轨结构。在实际应用中，三个移动导向装置42a、42b、42c也可以同时采用单导轨或双导轨。当然，移动导向装置42a、42b、42c并不仅限于导轨形式，也可以采用导杆或导槽等部件。本实施例中，推动部件43是由两个实体平板凸轮组成，两个凸轮固定地叠置在一起、并以其转轴旋转错开90°，形成一个包含有四个凸部的中心对称结构。就每一个凸轮而言，其为长扁形的中心对称结构，而且外缘曲率不同，具体地，凸轮的长轴方向的两端为圆弧形，中间略向内凹进，在基座41所在平面上的投影类似于拉长的数字“8”，而且上下两部分形状和大小相同。本实施例中，限位部件44a、44b、Mc包括夹持件47a、47b、47c、夹持件固定板48a、 48b、48c以及滑轮49a、49b、49c，夹持件47a、47b、47c和滑轮49a、49b、49c分别固定在各自的夹持件固定板48a、48b、48c的两端。滑轮49a、49b、49c可以用诸如轴承等具有自转功能的滚轴代替，以减少推动部件43与限位部件44a、44b、Mc之间的摩擦，降低位置校准系统的能源损耗。本实施例中，第一限位部件的夹持件47a和第二限位部件44b的夹持件47b为一条形板，该条形板分别借助一支撑件410固定在对应的夹持件固定板48a、48b上，第一限位部件的夹持件47a和第二限位部件的夹持件47b设置在传送带的两侧，并且相对于传送带的传送方向对称。第三限位部件44c的夹持件47c为两根圆杆，两根圆杆的连线垂直于传送带的传送方向。本实施例中，第一限位部件4 和第二限位部件44b之间连接有第一弹性部件 411，第一弹性部件411的两端分别固定在第一限位部件的夹持件固定板48a和第二限位部件的夹持件固定板48b上。第一弹性部件411向第一限位部件4 和第二限位部件44b提供指向推动部件43的收缩力，并使第一限位部件的滑轮49a和第二限位部件的滑轮49b与推动部件43的外缘相抵。第二弹性部件(图中未示出)的一端固定在第三限位部件的夹持件固定板48c上，另一端固定在基座41上，而且该固定位置能使第三限位部件Mc至少受到一个指向推动部件43方向的分力作用，从而使第三限位部件的滑轮49c与推动部件43 的外缘相抵。第一弹性部件411、第二弹性部件可以采用弹簧或皮筋。需要说明的是，由于上述推动部件43的结构都是中心对称结构，当推动部件43旋转时，限位部件44a、44b、44c同时靠近或远离，而且位移量也相同。因此，本实施例的位置校准系统在使用时，第一限位部件4 和第二限位部件44b对称地设置在传送带(图中未示出)的两侧，使第一限位部件的夹持件47a和第二限位部件的夹持件47b的长度方向与传送带的传动方向平行，即图中所示的Y方向；第三限位部件设置在传送带的起始位置，而且传送带从第三限位部件Mc的两根圆杆之间穿过。电池片始终向远离第三限位部件的夹持件47c的方向移动，因此，第三限位部件的夹持件47c既能接触到电池片，又不会阻碍电池片的移动。上述位置校准系统的使用过程如下(1)启动电机45使其带动推动部件43向一个方向旋转90°，使三个限位部件44a、44b、Mc在推动部件43的推动下远离推动部件43 的转轴；( 由单片机械手将电池片放置在传送带上；C3)按照步骤(1)中的旋转方向使推动部件43旋转90°或按照与步骤(1)中的旋转方向的反方向旋转90°，使限位部件44a、 44b,44c在弹性部件的收缩力的作用下向推动部件43的转轴靠近，与此同时，限位部件的夹持件47a、47b、47c推动电池片移动，并将其推动到期望的位置；(4)再次按照步骤(1)中的旋转方向使推动部件43旋转90°，使限位部件44a、44b、Mc再次远离推动部件43的转轴；( 转动传送带使其带动电池片向传送带的传送方向移动预定的距离；之后，重新执行步骤( 至步骤(5)，当传送带上的电池片数量达到预定数量时，由多片机械手将传送带上的多片电池片一次性取走，并准确地将其放入等离子体化学气相沉积工艺腔室内。作为上述实施例的一个变型，可以在位置校准系统中增加第四限位部件以及与之配合使用的第四移动导向装置和第三弹性部件。第四限位部件与第三限位部件Mc相对， 这样就使得四个限位部件围绕在推动部件43的周围，即，第一限位部件和第二限位部件相对设置，第三限位部件和第四限位部件相对设置。另外，本实施例的其它结构与上述实施例中的相同，在此不再赘述。该变型实施例的位置校准系统在使用时，第一限位部件4 和第二限位部件44b 设置在传送装置中的传送带的两侧，以在垂直于传送带的方向对电池片进行定位。第三限位部件Mc设置在传送带的初始端，第四限位部件设置在传送带的传送路径上，以在传送带的传送方向对电池片进行定位。在实际使用过程中，只要第三限位部件Mc和第四限位部件的设置位置能够满足以下条件即可对电池片实现在传送方向的定位即，第三限位部件Mc设置在这样的位置当第三限位部件Mc移动到推动部件43上的较大曲率部分时， 其远离电池片的前端；而当其移动到推动部件43上的较小曲率部分时，其靠近并接触处于电池片的前端以在传送方向上将其定位于预定位置。类似地，第四限位部件设置在这样的位置，当第四限位部件移动到推动部件43上的较大曲率部分时，其远离传送带的传送起始位置；而当其移动到推动部件43上的较小曲率部分时，其靠近并接触处于传送带的传送起始位置处的电池片以在传送方向上将其定位于预定位置。在该变型实施例中，由于在电池片的传送路径上设置了限位部件，即第四限位部件，因此，在电池片的移动过程中，设置在电池片的传送路径上的限位部件必定会阻碍电池片的移动。因此，该变型实施例中的位置校准系统还需要配置一个具有升降功能的升降系统，借助升降系统使整个位置校准系统上下移动。当该位置校准系统对一块电池片完成位置校准之后，借助升降系统使位置校准系统降低一定高度，避免设置在移动方向的限位部件的夹持件阻碍电池板的移动。当单片机械手将另一块电池板放置在皮带后，再借助升降系统使位置校准系统上升至能够推动电池片的位置，以对另一块电池片实施位置校准。需要说明的是，根据本发明的原理和精神，对前述两个实施例中的推动部件43的结构、限位部件44a、44b、44c的结构和放置位置以及弹性部件的设置方式进行如下的调整，仍然能够实现本发明的目的。具体地，推动部件43可以是一个整体部件，例如，将前述两个板状的实心凸轮叠置、并绕其转轴旋转错开90°后通过焊接或铆接等方式而固定在一起，或者直接将推动部件43加工成具有下述形状的板状部件即，将四个圆弧形凸部对称地设置在一个对称中心的周围、且相邻的两个圆弧形凸部的夹角为90°，形成如图5所示的结构。这种整体结构的推动部件43可以省去装配以及定位的过程，使用更方便。另外，推动部件43也可以采用其外缘曲率不同的空心结构的凸轮，如凸轮是用板材围成一个外形类似于数字“8”、且上下两部分大小形状和相同的环形结构，或者是用板材弯成字母“S”、且上下两部分形状和大小相同的钩形。当限位部件沿该凸轮外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该凸轮的转轴。此外，推动部件43也可以采用外缘曲率不同且为非中心对称结构的轮盘，这种非中心对称结构的推动部件43也能使限位部件44a、44b、Mc靠近或远离推动部件43的转轴。需要注意的是这种非中心对称结构的推动部件43旋转时，限位部件44a、44b、Mc相对于推动部件43的转轴的位移量不同。因此，这种具有非中心对称结构的推动部件43的位置校准系统的放置位置要满足下述条件即，每个限位部件44a、44b、Mc距离推动部件 43的转轴最近时所围成的区域，刚好是电池片要定位的位置。对于限位部件，为了减轻位置校准系统的总重量，降低其制造成本，限位部件的夹持件都可以采用两根或一根圆杆。而且，设置在传送带两侧的限位部件的夹持件的连线可以不垂直于传送装置的传送方向，只要位置校准系统中限位部件的夹持件组成三角形的三个点，即可将电池片限定在所需的位置。此外，在两个相对的限位部件之间也可以设置两个弹性部件，两个弹性部件设置在限位部件的两侧。或者，每个限位部件各自采用一个弹性部件，该弹性部件的一端固定在限位部件上，另一端固定在基座上，并使限位部件受到指向推动部件的收缩力的作用。另外，限位部件可以用弹性材料制成，使用时，限位部件直接设置在基座上，推动部件的外缘直接与限位部件相抵，借助限位部件的弹性变形而使其相互靠近。这样结构可以省去夹持件固定板以及导轨，使结构更加简单。需要说明的是，本发明提供的位置校准系统在使用时既可以设置在传送带的下方，使限位部件朝上来定位电池片的位置；也可以设置在传送带的上方，使限位部件朝下来定位电池片的位置，即将图4所示的位置校准系统上下颠倒过来使用。可以理解的是，在实际应用中，可以设置多套本发明提供的位置校准系统，以对传送带上的多片电池片同时进行位置校准。通过前述实施例中的描述可知，本发明提供的位置校准系统可用一个电机以及一个推动部件对电池片实施二维方向的位置校准，这不仅减少了电机的数量，降低了系统运行的成本，而且简化了结构，减少了制造系统所需的材料。此外，本发明还提供一种等离子体处理装置，包括反应腔室、工件传送部件及用于校准待定位工件的位置校准系统，并且该位置校准系统采用了本发明提供的上述位置校准系统。因此，该等离子体处理装置采用一个电机即可实现二维方向的位置校准，能耗低，结构简单，制造位置校准系统所需的原料较少，从而能够减少企业的运行成本。可以理解的是，上述位置校准系统及等离子体处理装置的应用范围并不仅限于前述实施例中所说的太阳能电池板的生产过程，而是可以应用于其他任何需要对待定位工件进行定位或位置校准的等离子体处理工艺过程中。还可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准， 该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，其特征在于，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。
2.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件与第二限位部件之间和/或第一限位部件与第三限位部件之间和/或第二限位部件与第三限位部件之间设置有弹性部件，所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件在推动部件的推动下彼此远离时，借助于所述弹性部件的弹性收缩力而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。
3.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件与所述基座之间设有弹性部件，所述弹性部件的一端固定在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件上，另一端设置在所述基座上，以使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。
4.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，所述限位部件上设置有滚轴，所述限位部件借助于该滚轴而与所述推动部件的外缘相抵。
5.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，所述位置校准系统还包括移动导向装置，其设置在所述限位部件和基座之间，所述限位部件可在该移动导向装置上发生位移。
6.根据权利要求5所述的位置校准系统，其特征在于，所述移动导向装置包括导轨和 /或导杆和/或导槽、以及与它们相配合的滑块，所述限位部件设置在所述滑块上并在滑块的带动下产生位移。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的位置校准系统，其特征在于，所述推动部件包括这样一个轮盘即，该轮盘的外缘具有不同的曲率，并且当所述限位部件沿该轮盘外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该轮盘的转轴。
8.根据权利要求1-6任意一项所述的位置校准系统，其特征在于，所述推动部件包括至少两个固定地叠置在一起的凸轮，并且每一个凸轮的外缘均具有不同的曲率，当所述限位部件沿该凸轮外缘滑动时，随着曲率的变化而使所述限位部件远离或者靠近该凸轮的转轴ο
9.根据权利要求8所述的位置校准系统，其特征在于，所述凸轮为中心对称的板状实体结构，其外缘轮廓在基座平面上的投影类似于拉长的数字“8”，并且上下两部分形状和大小相同。
10.一种等离子体处理装置，包括反应腔室、工件传送部件及用于校准待定位工件的位置校准系统，其特征在于，所述位置校准系统采用权利要求1-9中任意一项所述的位置校准系统。
11.根据权利要求10所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述处理装置是等离子增强化学气相沉积装置，用于加工太阳能电池片。
全文摘要
本发明提供一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及驱动推动部件的电机，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，每一个限位部件均设置在基座上并且与推动部件的外缘相抵，推动部件在电机的驱动下转动而使限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。该位置校准系统用一个电机即可对待定位工件实现二维方向的位置校准，结构简单，运行费用低。本发明提供一种等离子体处理装置同样采用一个电机即可对待定位工件实现二维方向的位置校准。
文档编号H01L21/68GK102194731SQ20101012524
公开日2011年9月21日 申请日期2010年3月12日 优先权日2010年3月12日
发明者张金斌 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司