专利名称：可移动式密封装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业领域，尤其涉及一种可以及时密封腔室的可移动式密封装置。
背景技术：
随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。在集成电路清洗工艺过程中，对于腔室内部的微环境有较高的要求，为了保证一个良好的内部微环境，需要对硅片周围的腔室进行密封，以使硅片与周围的环境进行隔绝。然而，在硅片的抓取与放置(该动作主要由机械手来完成)过程中，腔室不可避免地与外部环境连通。为使硅片在清洗的过程中尽可能的减小外部环境对其造成的影响，在硅片放置完毕后，应该对腔室进行及时的密封。在机械手进入腔室之前，可移动式密封装置滑移到开启位置，以使机械手能够进入腔室中对硅片进行抓取与放置，在机械手退出腔室后，使用该装置对腔室进行及时密封，以保证腔室的工艺要求。传统的可移动式密封装置采用单导轨导向的单侧驱动，该密封装置的一个很大的缺陷就是在运行过程中容易出现自锁现象，而且驱动装置有一部分位于滑动密封板的上方，为了避免驱动装置产生的微小颗粒进入腔室中，需要对驱动装置增加保护罩以减小其对腔室微环境造成的影响，故此时的驱动装置体积比较大。
实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是提供一种不易出现自锁且小巧轻便的可移动式密封装置。(二)技术方案为达上述目的，本实用新型的可移动式密封装置包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板I和两条平行的导轨4，所述滑动密封板I可滑动安装于所述两条导轨4上，所述驱动装置与所述滑动密封板I连接，其连接位置在两条导轨4之间。优选的，所述滑动密封板I通过导向块13与所述导轨4配合。优选的，所述滑动密封板I开有垂直于导轨4的第一腰形槽11，所述滑动密封板I与所述导向块13通过穿过所述第一腰形槽11的第一螺钉连接。优选的，所述驱动装置为气缸或液压缸。优选的，所述驱动装置为气缸，所述气缸包括缸筒5、缸盖、活塞、活塞杆8和气缸支架6，所述活塞杆8与所述滑动密封板I连接。优选的，所述驱动装置还包括限位传感器7。优选的，所述活塞杆8与所述滑动密封板I通过连接调节块2和连接块3连接，所述连接调节块2固定于所述滑动密封板I上且位于两条平行的导轨4之间，所述连接块3与活塞杆8连接，所述连接调节块2与所述连接块3连接。[0013]优选的，所述连接调节块2上开有平行于导轨4的第二腰形槽12，所述连接调节块2与滑动密封板I通过穿过第二腰形槽12的第二螺钉连接。优选的，所述滑动密封板I的材料为非金属材料。优选的，所述第二螺钉的材料为非金属材料。(三)有益效果本实用新型采用上述技术方案提供的装置，驱动装置与滑动密封板的连接位置在两条平行的导轨之间，并利用双导轨进行密封时的导向，使滑动密封板在运行过程中受力更加均匀，运行更顺畅，不会出现卡死和自锁现象，密封效果更加良好。同时，本实用新型所用到的驱动装置也较以前更加小巧，轻便。滑动密封板竖直安装时，驱动装置放置在滑动密封板的下方，虽然活塞杆在运行过程中有可能会产生微小颗粒，但是由于在工艺过程中，腔室顶部的层流风自上往下吹，可以及时将产生的微小颗粒吹入设备下方的灰区，而不会进入腔室的内部，最大程度的保证了硅片工艺过程中的洁净环境。
图1是本实用新型可移动式密封装置的结构示意图；图2是本实用新型可移动式密封装置开启时的安装示意图；图3是本实用新型可移动式密封装置密封时的安装示意图；图4是图1中驱动装置的结构示意图；图5是图1中滑动密封板的结构示意图；图6是图1中连接调节块的结构示意图；图7是图1中连接调节块的剖视图；图8是图1中连接块的结构示意图；图9是图1中导轨的结构示意图；图10是图1中导向块的结构示意图。图中，1:滑动密封板；2:连接调节块；201:阶梯凹槽；3:连接块；301:阶梯轴；4:导轨；5:缸筒；6:气缸支架；7:限位传感器；8:活塞杆；9:腔室壁；10:腔室窗口 ；11:第一腰形槽；12:第二腰形槽；13:导向块。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型的可移动式密封装置作进一步详细说明。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为
基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。如图1至图10所示，本实用新型的可移动式密封装置包括驱动装置和滑动装置。该滑动装置包括滑动密封板I和两条平行的导轨4，滑动密封板I可滑动安装于所述两条导轨4上，滑动密封板I可在导轨4上沿导轨4的方向滑动。驱动装置与滑动密封板I连接，其连接位置在两条平行的导轨4之间。滑动密封板I通过导向块13与导轨4配合。导向块13上开有与导轨4匹配的凹槽，导向块13可在导轨4上沿导轨4的方向滑动。滑动密封板I开有垂直于导轨4的第一腰形槽11，滑动密封板I与导向块13通过穿过第一腰形槽11的第一螺钉连接。第一腰形槽的轮廓线由两条直径相等的180度圆弧和两条长度相等的平行线段组成，这两条平行线段的距离等于这两条圆弧的直径，且这两条圆弧开口相对，这两条圆弧的端点分别与这两条平行线段的端点连接而形成封闭的类似椭圆形状的图形。其中，第一腰形槽的平行线段的方向为第一腰形槽的方向，且第一腰形槽为通孔。本实用新型的可移动式密封装置采用双导轨进行密封时的导向，使滑动密封板在运行过程中受力更加均匀，运行更顺畅，密封效果更加良好，其在导向性能要优于改进前的单侧导轨导向。驱动装置可以为气缸、液压缸或电机等可以提供动力的装置，本实施例中的驱动装置为气缸，气缸包括缸筒5、缸盖、活塞、活塞杆8和气缸支架6等，活塞杆8与所述滑动密封板I的中部连接。为了精确定位滑动密封板1，该驱动装置还包括限位传感器7。由于本实用新型将驱动装置与滑动密封板I的连接位置在两条平行的导轨4之间，进行驱动时滑动密封板I受力较为均匀，不会出现自锁及卡死现象，故可以采用较为轻便的驱动装置。滑动密封板I竖直安装时，驱动装置放置在滑动密封板I的下方，虽然活塞杆8在运行过程中有可能会产生微小颗粒，但是由于在工艺过程中，腔室顶部的层流风自上往下吹，可以及时将产生的微小颗粒吹入设备下方的灰区，而不会进入腔室的内部，最大程度的保证了硅片工艺过程中的洁净环境。工作时，气缸驱动活塞杆8做上下移动，以带动滑动密封板I对腔室窗口 10进行密封与开启。该驱动装置的运动极限位置可由限位传感器7来控制，两个限位传感器7分别控制活塞杆8的上下极限位置。活塞杆8与滑动密封板I通过连接调节块2和连接块3连接，连接调节块2固定于滑动密封板I上且位于两条平行的导轨4之间，连接块3与活塞杆8连接，连接调节块2与连接块3连接。连接调节块2上开有平行于导轨4的第二腰形槽12，连接调节块2与滑动密封板I通过穿过第二腰形槽12的第二螺钉连接。第二腰形槽为通孔，其形状与第一腰形槽相同，同样的，其以平行线段的方向为第二腰形槽的方向，其尺寸不一定与第一腰形槽相同。连接块3的一端为阶梯轴301，阶梯轴301与连接调节块2上的阶梯凹槽201匹配，连接块3与连接调节块2通过阶梯轴301和阶梯凹槽201连接，连接块3的另一端与活塞杆8连接。导轨4固定于腔室壁9上，由于腔室壁9采用非金属材料制成，故与导轨4相连接的第一螺钉也尽量采用不易产生微粒的非金属材质，比如PP (聚丙烯)材质的螺钉。滑动密封板I由不易产生微粒的非金属材质制成，比如PVC (聚氯乙烯)材质。连接连接调节块2与滑动密封板I的第二螺钉也尽量采用非金属材质，比如PP (聚丙烯)材质，以避免硅片受到金属材质摩擦的微小颗粒影响而影响其工艺过程。该滑动密封板I的中部螺纹孔用于与连接调节块2相连接，连接调节块2上开有平行于导轨4的第二腰形槽12，可以降低因加工因素造成的对安装精度的影响。该滑动密封板I上与导轨4对应的两侧开有垂直于导轨4的第一腰形槽11，同样可以降低因加工因素造成的对安装精度的影响。本实用新型的可移动式密封装置的工作过程如下:在机械手进入腔室之前，滑动密封板I在气缸作用下滑移到最低位置，以使机械手能够进入腔室中对硅片进行抓取与放置；在机械手退出腔室后，滑动密封板I在气缸作用下滑移到最高位置，使腔室及时密封，以保证腔室的工艺要求。如图2所示，滑动密封板I在初始状态时，腔室处于打开状态，此时机械手可以完成对硅片的抓取与放置。如图3所示，待机械手工作完毕并退出腔室后，滑动密封板I向上移动，滑动板将腔室密封，此时硅片可进行工艺过程。以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴。
权利要求1.一种可移动式密封装置，其特征在于，所述可移动式密封装置包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板(I)和两条平行的导轨(4)，所述滑动密封板(I)可滑动安装于所述两条导轨(4)上，所述驱动装置与所述滑动密封板(I)连接，其连接位置在两条导轨(4)之间。
2.根据权利要求1所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述滑动密封板(I)通过导向块(13)与所述导轨(4)配合。
3.根据权利要求2所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述滑动密封板(I)开有垂直于导轨(4)的第一腰形槽(11 )，所述滑动密封板(I)与所述导向块(13 )通过穿过所述第一腰形槽(11)的第一螺钉连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述驱动装置为气缸或液压缸。
5.根据权利要求4所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述驱动装置为气缸，所述气缸包括缸筒(5)、缸盖、活塞、活塞杆(8)和气缸支架(6),所述活塞杆(8)与所述滑动密封板(I)连接。
6.根据权利要求5所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述驱动装置还包括限位传感器(7)。
7.根据权利要求6所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述活塞杆(8)与所述滑动密封板(I)通过连接调节块(2 )和连接块(3 )连接，所述连接调节块(2 )固定于所述滑动密封板(I)上且位于两条平行的导轨(4)之间，所述连接块(3)与活塞杆(8)连接，所述连接调节块(2)与所述连接块(3)连接。
8.根据权利要求7所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述连接调节块(2)上开有平行于导轨(4)的第二腰形槽(12)，所述连接调节块(2)与滑动密封板(I)通过穿过第二腰形槽(12)的第二螺钉连接。
9.根据权利要求8所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述滑动密封板(I)的材料为非金属材料。
10.根据权利要求8所述的可移动式密封装置，其特征在于，所述第二螺钉的材料为非金属材料。
专利摘要本实用新型提供一种可移动式密封装置，其包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板(1)和两条平行的导轨(4)，所述滑动密封板(1)可滑动安装于所述两条导轨(4)上，所述驱动装置与所述滑动密封板(1)连接，其连接位置在两条导轨(4)之间。本实用新型的可移动式密封装置将驱动装置与滑动密封板的中间位置连接，并利用双导轨进行密封时的导向，使滑动密封板在运行过程中受力更加均匀，运行更顺畅，不会出现卡死和自锁现象，密封效果更加良好。
文档编号H01L21/02GK203013681SQ20122065396
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月30日 优先权日2012年11月30日
发明者徐俊成, 高 浩, 赵宏宇, 李伟, 贾星杰 申请人:北京七星华创电子股份有限公司