一种IGBT及其制作方法与流程

文档序号:12066050阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种IGBT,其特征在于,包括:

半导体衬底;

位于所述半导体衬底第一表面的集电极;

位于所述半导体第一表面,且环设于所述集电极四周的绝缘结构;

位于所述集电极背离所述半导体衬底一侧的金属电极层,所述金属电极层覆盖所述集电极和绝缘结构。

2.根据权利要求1所述的IGBT,其特征在于,所述半导体衬底与所述集电极的掺杂类型不同。

3.根据权利要求2所述的IGBT,其特征在于,所述半导体衬底为轻掺杂N型半导体层,所述集电极为重掺杂P型半导体层。

4.根据权利要求1所述的IGBT,其特征在于,所述绝缘结构的材料为二氧化硅。

5.根据权利要求1-4任一项所述的IGBT,其特征在于,所述半导体衬底包括有源区和终端区,其中,所述半导体衬底第二表面的有源区设有正面结构,终端区设有终端结构,且所述第二表面与所述第一表面为所述半导体衬底相对的两个表面。

6.根据权利要求5所述的IGBT,其特征在于,所述终端结构包括:

位于所述半导体衬底终端区内,且靠近所述有源区一侧的主结;

位于所述半导体衬底终端区内,且位于所述主结背离所述有源区一侧的场限环;

位于所述半导体衬底终端区内,且位于所述场限环背离所述有源区一侧的截止环。

7.根据权利要求6所述的IGBT,其特征在于,在所述第一表面至第二表面方向上,所述集电极至少覆盖所述有源区、主结、场限环和截止环。

8.一种IGBT的制作方法,其特征在于,包括:

提供半导体衬底;

在所述半导体衬底的第一表面形成集电极;

在所述半导体衬底的第一表面形成绝缘结构,所述绝缘结构环设于所述集电极的四周;

在所述集电极背离所述半导体衬底一侧形成金属电极层,所述金属电极层覆盖所述集电极和绝缘结构。

9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,在所述半导体衬底的第一表面形成集电极包括:

在所述半导体衬底第一表面形成掩膜层,所述掩膜层上具有预设窗口,所述预设窗口与所述半导体衬底内待形成集电极的区域相对应;

以所述掩膜层为掩膜,对所述半导体衬底第一表面进行离子注入,在所述半导体衬底内待形成集电极的区域形成集电极;

去除所述掩膜层。

10.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,在所述半导体衬底的第一表面形成绝缘结构,所述绝缘结构环设于所述集电极的四周包括:

在所述集电极背离所述半导体衬底一侧形成绝缘层,所述绝缘层覆盖所述集电极和所述半导体衬底;

刻蚀所述集电极表面的绝缘层,保留所述半导体衬底表面的绝缘层,形成绝缘结构,所述绝缘结构环设于所述集电极四周。

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