1.一种刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀装置包括1个或多个刻蚀槽和过滤槽；所述过滤槽中设有过滤装置；所述过滤槽分别与每个刻蚀槽通过管路相连；所述过滤槽与循环装置通过管路相连，所述循环装置分别与每个刻蚀槽通过管路相连。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，所述过滤装置为滤网装置，所述滤网装置包括一层或多层滤网，所述滤网装置将过滤槽分为滤前槽和滤后槽，其中滤前槽分别与每个刻蚀槽通过管路相连，滤后槽与循环装置通过管路相连。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，任一刻蚀槽位置高于过滤槽顶部位置。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，所述过滤槽分别与每个刻蚀槽底部通过管路相连。
5.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，所述循环装置高于任一刻蚀槽顶部。
6.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，所述循环装置分别与每个刻蚀槽上部通过管路相连。
7.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，每个刻蚀槽分别与进液管相连。
8.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，每个刻蚀槽上分别设置盖板。
9.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于，过滤槽上设置过滤槽盖板。
10.如权利要求1所述的一种刻蚀装置的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：
向刻蚀槽中加入刻蚀液，打开循环装置，使刻蚀液依次沿刻蚀槽、过滤槽、循环装置、刻蚀槽的方向进行循环流动，在刻蚀槽中进行刻蚀工艺，根据实际情况，对过滤槽中的废渣进行清理。