密封环结构、半导体器件及电子装置的制作方法

文档序号:14251492阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种密封环结构、半导体器件及电子装置,该密封环结构包括围绕集成电路区设置的第一密封环,所述第一密封环包括多层层叠设置的介质层,以及设置于所述介质层中并与所述介质层齐平的金属层,在所述介质层中还设置有填充有导电材料的介层孔,用于实现各层金属层之间的连接,其中,所述介层孔错位排布以使在水平方向和/或垂直方向上相邻的所述介层孔不处于对齐位置上。该密封环结构具有减少应力,防止切割时出现分层问题的优点。该半导体器件及电子装置具体类似的优点。

技术研发人员:宋春;钟怡
受保护的技术使用者:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日:2016.10.12
技术公布日:2018.04.20
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