1.一种防离子溅射的微型潘宁离子源，包括阳极筒、阴极、输出阴极、离子源罩、封接环、定位环、主磁钢、磁环和绝缘陶瓷环，其特征在于：所述阴极的形状为圆形台阶状，所述绝缘陶瓷环包含外陶瓷环和内陶瓷环，外陶瓷环包括一个水平圆环，沿水平圆环外沿上表面设置有筒状陶瓷环，沿水平圆环内沿下表面设置有筒状陶瓷环；内陶瓷环为筒状陶瓷环垂直设置在外陶瓷环水平圆环的上表面处，内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧有间距，外陶瓷环和内陶瓷环为一体结构。
2.根据权利要求1所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧的间距为0.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述的内陶瓷环的壁厚为0.5mm。
4.根据权利要求1所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述的阴极、输出阴极和阳极筒的材料为钼。
5.根据权利要求1所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述的磁钢为钐钴材料。
6.根据权利要求1所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述的离子源罩和封接环的材料为高导磁材料。
7.根据权利要求1或2所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述的陶瓷绝缘环的材料为99陶瓷材料。
8.根据权利要求1或2所述的防离子溅射的微型潘宁离子源，其特征在于：所述的定位环的材料为无磁不锈钢材料。