一种长杆离子源冷却水循环结构的制作方法

文档序号:12537588阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种长杆离子源冷却水循环结构,包括位于长杆离子源筒管(7)一端内的灯丝阳极座(1)和阴极座(2)、以及位于筒管(7)另一端的主支撑箱(9),其特征在于:

所述阳极座(1)和阴极座(2)分别焊接有冷却水第一出水管(4)、第二出水管(6);所述第一出水管(4)、第二出水管(6)内部分别插入有冷却水第一进水管(3)、第二进水管(5),第一出水管(4)和第一进水管(3)套接在一起,第二出水管(6)和第二进水管(5)套接在一起;

所述主支撑箱(9)内安装有底部供水底座(15),该底部供水底座(15)设有进水管路(17)、出水水管(16);

所述冷却水第一出水管(4)、第二出水管(6)另一端与出水水管(16)连通;所述冷却水第一进水管(3)、第二进水管(5)另一端与进水管路(17)连通。

2.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述冷却水第一出水管(4)、第二出水管(6)另一端通过第一压块(11)、第二压块(12)、压板(10)及第一密封圈(13)、第二密封圈(14)固定在底部供水底座(15)上并实现密封;所述冷却水第一进水管(3)、第二进水管(5)另一端和底部供水底座(15)采用粘接方式密封。

3.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述冷却水第一出水管(4)、第二出水管(6)、冷却水第一进水管(3)、第二进水管(5)位于长杆离子源筒管(7)内;筒管(7)通过夹持装置(8)安装在主支撑箱(9)上。

4.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述冷却水由进水管路(17)流入去氧去离子冷却水,通过第一进水管(3)、第二进水管(5)分别对阳极座(1)和阴极座(2)进行冷却,回水通过第一出水管(4)、第二出水管(6)及出水水管(16)流出形成冷却水循环。

5.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述冷却水第一出水管(4)、第二出水管(6)与外部电源连接,给灯丝阳极座(1)和阴极座(2)供电。

6.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述冷却水第一出水管(4)、第二出水管(6)是由两根外径8mm、内径6mm、长度1600mm的铜管制成。

7.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述第一进水管(3)、第二进水管(5)是由两根外径4mm、内径3mm、长度1700mm的铜管制成。

8.根据权利要求1所述的一种长杆离子源冷却水循环结构,其特征在于,所述底部供水底座(15)采用PEEK树脂制成。

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