技术总结
本实用新型提供了一种蓝宝石晶片的退火治具，该治具主要包括底座、隔离支柱和隔层结构。本实用新型的退火治具采用耐高温陶瓷材料（如氧化铝、氧化锆等），可有效避免治具对晶片产生的污染；通过采用特殊结构的治具底座和隔离支柱，可有效降低治具与晶片之间的接触面积，降低由于治具与晶片之间因导热系数不一致而导致晶片在退火过程中出现碎裂的几率；通过采用隔层结构，可使晶片的退火效率大幅提升。
技术研发人员：左洪波;杨鑫宏;张学军;袁志勇;罗永森
受保护的技术使用者：哈尔滨秋冠光电科技有限公司
文档号码：201620949997
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.03.22