一种集成栅电阻并带有检测栅电阻功能的IGBT版图结构的制作方法

文档序号:12653364阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成栅电阻并带有检测栅电阻功能的IGBT版图结构,其特征在于:包括:

有源区连接金属(4);

栅极信号连接金属(3),所述栅极信号连接金属(3)环绕在所述有源区连接金属(4)的外围;

栅极多晶硅(1),所述栅极多晶硅(1)位于所述栅极信号连接金属(3)的上表面且环绕在所述有源区连接金属(4)的外围;

栅极多晶硅连接孔(2),所述栅极多晶硅连接孔(2)位于所述栅极多晶硅(1)的上表面且环绕在所述有源区连接金属(4)的外围,所述栅极多晶硅连接孔(2)和栅极信号连接金属(3)在同一位置断开形成第一断口(5),栅极信号通过中间层的栅极多晶硅(1)连接,第一断口(5)处的栅极多晶硅(1)形成栅电阻。

2.根据权利要求1所述的集成栅电阻并带有检测栅电阻功能的IGBT版图结构,其特征在于:所述IGBT版图结构还包括栅电阻检测区,所述栅电阻检测区包括栅电阻测试金属层(10)、位于栅电阻测试金属层(10)上的环形栅极多晶硅(11)和位于环形栅极多晶硅(11)上的环形多晶硅连接孔(12),所述环形栅极多晶硅(11)与所述栅极多晶硅(1)相连,所述环形多晶硅连接孔(12)和栅极多晶硅连接孔(2)通过延伸孔相连,所述栅电阻测试金属层(10)与栅极信号连接金属(3)通过延伸金属相连,所述延伸孔和延伸金属在同一位置处形成第二断口(6),所述第二断口(6)与所述第一断口(5)的宽度相同。

3.根据权利要求2所述的集成栅电阻并带有检测栅电阻功能的IGBT版图结构,其特征在于:所述栅极信号连接金属(3)、栅极多晶硅(1)和栅极多晶硅连接孔(2)在同一位置处朝向所述有源区连接金属(4)弯曲,弯曲形成的凹陷区内的栅极信号连接金属(3)作为第一测试点(9),所述环形栅极多晶硅(11)内圈的栅电阻测试金属层(10)作为第二测试点(8)。

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