本实用新型属于检验设备技术领域，具体涉及一种硅片脱胶花篮检具。
背景技术：
在硅片生产领域中，硅片切割好后需要插入花篮放入清洗槽进行清洗，但是由于硅片对于平直度要求非常高，因此对盛放硅片的花篮平直度、垂直度以及外形尺寸要求非常高，在初次使用前需要对其进行检测，使用过程中也需要定期进行检测，但是现在市场没有专门的检具对花篮的各个参数进行检测。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种硅片脱胶花篮检具，可以快速便捷地对花篮是否合格进行检测。
本实用新型所采用的技术方案是：硅片脱胶花篮检具，包括本体以及本体两侧相连且相对设置的凹字形测试板，本体相对的两个端面上对称设置有竖向的凹槽，本体端面上设置的凹槽与花篮上的凹槽形状、尺寸以及位置相适应，两个测试板之间的距离与花篮的长度相适应，每个测试板相对应的两个内壁之间的距离与花篮的宽度相适应。
本实用新型的特点还在于：
测试板的内部侧壁与最靠近的本体的凹槽之间的距离和花篮的侧板外壁与最靠近的花篮的凹槽之间的距离相适应。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的硅片脱胶花篮检具针对现有市 场上没有专门检测花篮是否合格检具的问题，提出一种可以快速便捷地对花篮的平直度、垂直度以及外形尺寸进行检测的硅片脱胶花篮检具，只需观测花篮可否通过检具即可测得花篮是否合格。
附图说明
图1是本实用新型的硅片脱胶花篮检具的俯视图。
图中，1.本体，2.测试板，3.凹槽，21.第一侧板，22.第二侧板，23.第三侧板，24.第四侧板，25.第一端板，26.第二端板。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
本实用新型提供的硅片脱胶花篮检具的结构如图1所示，包括本体1以及与本体1两侧相连且相对设置的凹字形测试板2，具体地，如图1及图1中方向所示，左边的测试板2包括相对设置的第一侧板21、第二侧板22以及与第一侧板21、第二侧板22分别相连且相垂直的第一端板25，右边的测试板2包括相对设置的第三侧板23、第四侧板24以及与第三侧板23、第四侧板24分别相连且相垂直的第二端板26。本体1相对的两个端面上对称设置有竖向的凹槽3，多个凹槽3的总距离为图1中所标的B，本体1端面上设置的凹槽3与花篮上的凹槽形状、尺寸以及位置相适应，两个测试板2的端板之间的距离与花篮的长度相适应，每个测试板相对应的两个内壁之间的距离与花篮的宽度相适应。
测试板2的内部侧壁与最靠近的本体1的凹槽3之间的距离为图1中所标的A，其与花篮的侧板外壁与距最靠近的花篮的凹槽之间的距离相适应。
本实用新型的硅片脱胶花篮检具模拟硅片和插片机的使用过程来检测花篮的平面度、垂直度以及外形尺寸是否合格，检测时，将花篮从本体1的 正上方向下运动。第一端板25和第二端板26构成两个平行面，如果花篮可以通过这个平行空间，则说明花篮的两个侧面平面度及长度距离合格；第一侧板21与第二侧板22之间以及第三侧板23与第四侧板24之间的距离均与花篮的宽度距离相适应，且第一侧板21与第三侧板23以及第二侧板22和第四侧板24之间形成两个平行面，如果花篮能通过这两个平面构成的空间且宽度距离与相对的两个侧板距离相同，则花篮的两个端面平面度及宽度距离是合格的；如果花篮能通过A尺寸这个空间，则花篮侧板和第一个卡槽的尺寸是合格的；如果花篮能通过B尺寸这个空间，则花篮第一个卡槽和最后一个卡槽及他们之间的卡槽均合格。以上四个检验项目同时满足，则花篮可以从上向下套入本体1内、且被相对设置的凹字形测试板2包围，即花篮的平面度、垂直度以及外形尺寸是合格的。