技术总结
本实用新型公开了一种晶圆转移装置，其包括支撑台、托盘、第一机械臂和第二机械臂；所述支撑台设置有通孔，所述支撑台可升降地设置；所述托盘固定设置于所述支撑台下方，所述支撑台升降降过程中使所述托盘自所述通孔穿过；所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置，用于共同夹持晶圆；所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方；所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。本实用新型利用托盘固定、支撑台的升降取放晶圆，自动化程度高，可代替人工转移晶圆，劳动强度小且效率高，可适应大规模生产的需要。本实用新型使用导向装置，可确保各部件的运行稳定，防止损坏晶圆。
技术研发人员：王振荣;黄春杰;黄利松
受保护的技术使用者：新阳硅密（上海）半导体技术有限公司
文档号码：201621492448
技术研发日：2016.12.31
技术公布日：2017.10.24