硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备的制作方法

文档序号:12129389阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片抓取装置,其特征在于:包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构;所述机架上安装有平移机构,所述平移机构上连接有机械臂安装架,所述第一机械臂和所述第二机械臂均与所述机械臂安装架连接;所述电机用于驱动所述平移机构以使所述第一机械臂和所述第二机械臂沿所述机架的长度方向往复运动;所述第一升降机构与所述第一机械臂相连接,用于驱动所述第一机械臂升起或降落,所述第二升降机构与所述第二机械臂相连接,用于驱动所述第二机械臂升起或降落;所述第一机械臂与所述第二机械臂均设置有吸盘座,所述吸盘座的下表面设置有吸盘;所述吸盘用于吸附硅片;所述第一机械臂的吸盘座与所述第二机械臂的吸盘座之间的距离为所述硅片的边长的两倍。

2.根据权利要求1所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述平移机构包括直线导轨和丝杠;所述直线导轨固定安装于所述机架上,且所述直线导轨的长度方向与所述机架的长度方向相平行;所述丝杠设置在所述直线导轨的内部,所述丝杠上设置有平移滑块,所述平移滑块能够沿所述丝杠的长度方向往复移动;所述平移滑块设置有与所述直线导轨相配合的滑槽,所述电机用于驱动所述丝杠转动;所述机械臂安装架与所述平移滑块固定连接。

3.根据权利要求2所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述机架包括两个平行设置的架梁,所述平移机构为两个,其中,两个所述直线导轨分别固定安装于两个所述架梁上;所述电机通过同步传动装置驱动两个所述丝杠转动。

4.根据权利要求3所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述同步传动装置包括同步轴,所述电机通过所述同步轴驱动所述丝杠转动;所述同步轴固定连接有第一主锥齿轮和第二主锥齿轮;两个所述丝杠分别固定连接有第一从锥齿轮和第二从锥齿轮,所述第一主锥齿轮与所述第一从锥齿轮相啮合,所述第二主锥齿轮与所述第二从锥齿轮相啮合。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述机械臂安装架的与所述机架长度方向相垂直的两个侧面上分别设置有第一升降滑轨和第二升降滑轨;所述第一机械臂包括第一机械臂连接板和吸盘安装架,所述第一机械臂连接板与所述吸盘安装架固定连接,所述第一机械臂连接板上设置有与所述第一升降滑轨相配合的第一滑块;所述第二机械臂包括第二机械臂连接板和所述吸盘安装架,所述第二机械臂连接板与所述吸盘安装架固定连接,所述第二机械臂连接板上设置有与所述第二升降滑轨相配合的第二滑块。

6.根据权利要求5所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述第一升降机构为第一升降气缸,所述第一升降气缸的活塞杆与所述第一机械臂连接板固定连接;所述第二升降机构为第二升降气缸,所述第二升降气缸的活塞杆与所述第二机械臂连接板固定连接。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述机械臂安装架与所述平移滑块之间设置有加强筋板。

8.根据权利要求5所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述吸盘座设置在所述吸盘安装架上。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片抓取装置,其特征在于:所述吸盘为伯努利吸盘。

10.一种太阳能电池生产设备,其特征在于:包括载板和如权利要求1至9中任一项所述的硅片抓取装置,所述硅片抓取装置用于将所述硅片放置于所述载板上或将所述硅片从所述载板上取下。

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