半导体装置及方法与流程

文档序号:11592837阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本揭露实施例涉及一种半导体装置及方法。所述半导体装置包含晶体管。所述晶体管包含:有源区,在衬底中;图案化导电层,是互连层的一部分,所述互连层用于路由;和绝缘层,延伸在所述衬底上方且用以将所述有源区与所述图案化导电层绝缘。所述图案化导电层和所述绝缘层充当所述晶体管的栅极。

技术研发人员:陈奕升;郑光茗;范富杰;高荣辉;陈奕寰;林国树
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2017.01.26
技术公布日:2017.08.08
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