X技术
首页
登录
注册
利用定向自组装的垂直纳米线晶体管沟道和栅极的图案化的制作方法
文档序号:12888821
阅读:
来源:国知局
导航:
X技术
>
最新专利
>
电气元件制品的制造及其应用技术
>
利用定向自组装的垂直纳米线晶体管沟道和栅极的图案化的制作方法与工艺
技术特征:
技术总结
本发明描述了定向自组装(DSA)材料或二嵌段共聚物,其可能基于一次光刻操作来对最终限定垂直纳米线晶体管的沟道区和栅极电极的特征进行图案化。在实施例中,DSA材料被约束在使用常规光刻技术进行图案化的引导开口内。在实施例中,沟道区和栅极电极材料对准到DSA材料内的分离的区域的边缘。
技术研发人员:
P·A·尼许斯;S·希瓦库马
受保护的技术使用者:
英特尔公司
技术研发日:
2013.06.20
技术公布日:
2017.11.07
完整全部详细技术资料下载
当前第2页
1
2
相关技术
平面型VDMOS器件的制作方...
一种沟槽结势垒肖特基二极管及...
一种脉冲式快速热处理半导体薄...
一种自限制精确刻蚀硅的方法及...
一种磷酸刻蚀工艺中精确控制氧...
一种制作磁性随机存储器反应离...
一种三维自限制精确制造硅纳米...
提高硅晶片外延层表面平整度的...
晶圆控片及其制造方法与流程
一种双台阶T型栅的制作方法与...
网友询问留言
已有
0
条留言
还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1
纳米晶体管相关技术
薄膜晶体管的制作方法
一种超强超高热稳定性块体纳米晶钢的制备方法
薄膜晶体管的制作方法
纳米锡化物多有源层结构高性能晶体管的制作方法
一种改善圆晶片内膜厚均匀性的方法
薄膜晶体管的制作方法
纳米线晶体管元件及其制作方法
用于无级变速器的传动带的设有纳米晶体表面层的柔性钢制环件及制造这种环件的方法
晶体纳米材料的量块加工工艺的制作方法
包括堆叠的纳米片场效应晶体管的装置的制造方法
碳纳米管晶体管相关技术
一种以碳量子点为晶种制备Fe纳米颗粒的方法
纳米锡化物多有源层结构高性能晶体管的制作方法
具有扩展触头的碳纳米管晶体管的制作方法
纳米线晶体管元件及其制作方法
用于无级变速器的传动带的设有纳米晶体表面层的柔性钢制环件及制造这种环件的方法
晶体纳米材料的量块加工工艺的制作方法
包括堆叠的纳米片场效应晶体管的装置的制造方法
一种基于金属碳共晶体或包晶体的高温固定点制备方法和制备装置的制造方法
鳍式碳纳米管场效应晶体管及其制备方法
用于纳米线晶体管的内部间隔体及其制造方法
碳纳米管场效应晶体管相关技术
鳍式场效应晶体管及其形成方法与制造工艺
一种具有挤压和开关效应的纳米药物载体的制备方法与制造工艺
一种稳定的以气体为绝缘层的纳米线场效应晶体管的制作方法
鳍式碳纳米管场效应晶体管的制作方法
一种纳米柱结构有机场效应晶体管存储器及其制备方法
一种纳米晶体气动仪测量头的制作方法
利用碳纳米场效应晶体管实现的三值静态随机存储单元的制作方法
一种超强超高热稳定性块体纳米晶钢的制备方法
一种以碳量子点为晶种制备Fe纳米颗粒的方法
纳米线场效应晶体管(fet)器件及其制造方法
1纳米晶体管相关技术
一种垂直纳米线晶体管的集成方法
利用硬掩模层的纳米线晶体管制造
基于嵌入式金属纳米点的晶体管的制造方法及制造的产品的制作方法
用于纳米线晶体管的漏电减少结构的制作方法
具有底层蚀刻停止的纳米线晶体管的制作方法
一种金属酞菁纳米晶、其制备方法和晶体管应用
用在先进纳米闪速存储器装置中的改进的晶体管设计的制作方法
基于soi衬底的ⅲ-v族纳米线平面晶体管及制备方法
利用定向自组装的垂直纳米线晶体管沟道和栅极的图案化的制作方法
用于输入/输出结构的垂直纳米线晶体管的制作方法
纳米线晶体管相关技术
晶体管内与先进的硅化物形成结合的凹槽式漏极和源极区的制作方法
垂直器件结构的制作方法
利用硬掩模层的纳米线晶体管制造
基于嵌入式金属纳米点的晶体管的制造方法及制造的产品的制作方法
一种围栅无结纳米线晶体管的制备方法
用于纳米线晶体管的漏电减少结构的制作方法
半导体器件的形成方法
具有底层蚀刻停止的纳米线晶体管的制作方法
一种金属酞菁纳米晶、其制备方法和晶体管应用
Ni/Fe双金属面心立方晶体纳米颗粒的制备方法
自组装纳米结构相关技术
组装方法及其结构与制造工艺
用于在透明衬底中制造纳米结构的方法与制造工艺
纳米线片插层结构担载型直接醇类燃料电池催化剂的制备方法与制造工艺
液晶纳米粒前体微粒、自组装液晶纳米粒及其制备方法与制造工艺
一种分级结构的MoS2纳米球双功能氧催化剂及其制备方法和应用与制造工艺
CMOS纳米线结构的制造方法与工艺
一种键盘组装结构的制造方法与工艺
蒸发诱导自组装制备磁性多级孔结构复合材料的方法与制造工艺
一种硬灯条的组装结构的制作方法
一维银链纳米结构、自组装制备方法及sers应用
纳米粒子自组装相关技术
一种具有葡萄糖敏感性和温度敏感性的自组装纳米粒子及其制备方法
一种基于纳米材料自组装的土霉素sers检测方法
暴露高能晶面纳米片自组装的三维网络结构α?Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>的制备方法
一种三氧化钨纳米带自组装成微纳米星的制备方法
一种葡萄糖和温度敏感性的自组装纳米粒子及其制备方法和应用
允许通过嵌段共聚物的自组装产生纳米结构体的方法
一种自组装纳米止血剂、其制备方法及应用
一种纳米片自组装棱台状(NH<sub>4</sub>)<sub>2</sub>V<sub>3</sub>O<sub>8</sub>的制备方法
一种干燥介导金纳米颗粒自组装制备金基底的方法及其应用
一种以杆菌肽为模板自组装合成球状金纳米粒子的方法