技术特征：
技术总结
本发明提供一种示教夹具、基板处理装置以及示教方法。根据本发明，提供一种能够进行高质量的基板处理的技术。示教夹具具有：第一板，其决定相对于保持基板的基板保持件的在前后方向上的基板载置位置；第二板，其以相对于所述第一板正交并且沿前后方向自由移动的方式设置，决定相对于所述基板保持件的左右方向上的基板载置位置；以及定位用的目标销，其设置在所述第一板上。
技术研发人员：渡边明人;山口亮;城宝泰宏;高岛克美
受保护的技术使用者：株式会社日立国际电气
技术研发日：2017.07.24
技术公布日：2018.02.09